Tabla de contenido
Publicidad
Ověřte si, jestli je tato vývěva vhodná pro vaši aplikaci. Tato
vývěva je určená pro čerpací aplikace systému PVD nebo pro
všeobecné „čisté" vakuové aplikace. Spojte se s firmou Contact
Varian Vacuum Technologies nebo vašim dodavatelem, pokud
chcete tuto vývěvu použít pro jiné účely.
Vývěvu
neinstalujte
v prostředí,
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru.
NE!
Aby nedocházelo k úrazům, nestrkejte nikdy prsty nebo
jakékoli předměty do přívodního otvoru turbovývěvy.
Důrazně doporučujeme ochranné síto (doplněk zvlášť).
Pokud se na přívodním otvoru použije tlumič vibrací nebo
pružné kovové skládací manžety, zajistěte přišroubování
vývěvy k základně.
Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané
prostředím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota: od +5 °C do +35 °C
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace". Vývěvy řady Turbo - V 2000HT se musí
používat pouze s některým speciálním regulátorem fimy Varian
(řady 969-9462, 969-9562) a musí se připojit k primárnímu
čerpadlu (viz "Technické informace").
Tuto vývěvu lze instalovat v libovolné poloze.
VÝSTRAHA!
Hladina výkonu vývěvy se musí stanovit podle odčerpávaného
plynu. Pomocí regulátoru lze zvolit AIR (VZDUCH) nebo
ARGON
(viz příslušný návod k použití). Spojte se prosím
s firmou Varian, chcete-li používat tuto vývěvu pro jiné druhy
plynů.
Vývěvu upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu
turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní
moment 30000 Nm kolem své osy.
Turbovývěva s přírubou ISOF musí být připevněna k vakuové
komoře 12 šrouby M10 o pevnosti alespoň 8,8 (?
2
N/mm
). Doporučujeme utahovací moment 22 Nm.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
které
je
vystaveno
VÝSTRAHA!
= 800
r
POUŽITÍ
Všechny pokyny ke správnému používání turbovývěvy jsou
uvedeny v manuálu pro ovládací jednotku.
Před použitím vývěvy si pečlivě prostudujte tento návod.
Aby bylo možné docílit lepší (nižší) základní tlak, můžete použít
doplňkový ohřívač a zahřát plášť vývěvy. Při ohřevu vývěvy
nesmí teplota její přívodní příruby překročit 120 °C. Během
zahřívání používejte vždy vodní chlazení.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
!
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
ÚDRŽBA
Vývěva řady Turbo-V 200HT nevyžaduje žádnou údržbu.
Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné
osoby.
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VÝSTRAHA!
VAROVÁNÍ
VAROVÁNÍ
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety" (Zdraví a
87-900-969-01(B)
Publicidad
Tabla de contenido
