Tabla de contenido
Publicidad
Enlaces rápidos
TPS-mobile
Models:
969-8400
969-8402
969-8404
969-8406
969-8412
969-8416
969-8418
969-8420
969-8422
969-8424
969-8426
969-8428
969-8430
969-8432
87-901-005-01(A)
MARCH 2010
969-8401
969-8403
969-8405
969-8411
969-8413
969-8417
969-8419
969-8421
969-8423
969-8425
969-8427
969-8429
969-8431
969-8433
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Publicidad
Tabla de contenido
Manuales relacionados para Agilent 969-8400
Resumen de contenidos para Agilent 969-8400
- Página 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies TPS-mobile Models: MANUALE DI ISTRUZIONI 969-8400 969-8401 BEDIENUNGSHANDBUCH 969-8402 969-8403 NOTICE DE MODE D’EMPLOI...
- Página 2 TPS-mobile...
-
Página 3: Tabla De Contenido
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................6 MODE D’EMPLOI .............................11 INSTRUCCIONES DE USO ..........................16 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................21 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................26 BRUGSANVISNING ............................31 BRUKSANVISNING............................36 BRUKERVEILEDNING .............................41 KÄYTTÖOHJEET .............................46 PDHGIES CRHSEWS ............................51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................66 NÁVOD K POUŽITIU............................71 NAVODILA ZA UPORABO..........................76 INSTRUCTIONS FOR USE..........................81 TECHNICAL INFORMATION ...........................86 DESCRIPTION OF THE TPS-MOBILE ..................86... - Página 4 PUMPING SYSTEM COMPONENT INFO ................104 ACCESSORIES AND SPARE PARTS ..................105 APPENDIX 1 ..........................A1-1 APPENDIX 2 ..........................A2-1...
-
Página 5: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI ORIGINALI ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 6: Informazioni Generali
ISTRUZIONI ORIGINALI ISTRUZIONI PER L'USO • il tempo di immagazzinamento di una pompa INFORMAZIONI GENERALI turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di Questa apparecchiatura è destinata ad uso spedizione. professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla ATTENZIONE! Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. - Página 7 ISTRUZIONI ORIGINALI ISTRUZIONI PER L'USO dalla specifica pompa turbomolecolare, pompa di Prima di usare il sistema verificare che tutti i foreline o alimentazione elettrica. collegamenti elettrici e pneumatici siano stati realizzati correttamente. Durante l'eventuale riscaldamento della camera vuoto, INSTALLAZIONE temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C.
-
Página 8: Collegamento Dell'alimentazione
ISTRUZIONI ORIGINALI ISTRUZIONI PER L'USO ATTIVAZIONE DEL SISTEMA Interruttore principale Numero di modello (PN) (con protezione termica) Numero di serie (SN) Dati elettrici − L’attivazione del sistema mediante l’Interruttore − Se tensione fornita dall’alimentazione Principale fornisce alimentazione al controller elettrica è compatibile con quella del sistema, si della pompa turbo ma sia la pompa turbo sia la può... -
Página 9: Smaltimento
ISTRUZIONI ORIGINALI ISTRUZIONI PER L'USO In caso di guasto è possibile usufruire del servizio NOTA di riparazione Varian. I modelli 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969- 8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432, 969-8433 NOTA non sono equipaggiati con il selettore denominato Prima di rispedire al costruttore un sistema per “Pumping”;... -
Página 10: Sicherheitshinweise
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Página 11: Allgemeine Informationen
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRAUCHSANLEITUNG • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen ALLGEMEINE INFORMATIONEN nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme Dieser Apparat ist für den fachmännischen Ge- stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. brauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Be- • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe nutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge- beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. - Página 12 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRAUCHSANLEITUNG und das Anwendungsverfahren bei allen TPS- GEBRAUCH mobile gleich sind. In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Be- Die aufgeführten Informationen sind im ganzen triebsvorgänge erläutert. Angebot anwendbar (alle Modelle), unabhängig Bevor das System benützt wird, prüfen, ob alle spezifischen Turbomolekülpumpe, Strom- und Pneumatikanschlüsse korrekt ausge-...
-
Página 13: Aktivierung Des Systems
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRAUCHSANLEITUNG − Die Aktivierung des Systems durch den Haupt- schalter liefert dem Controller der Turbopumpe Speisung, aber die Turbopumpe wie die Forelnepumpe bleiben ausgeschaltet. Modellnummer (PN) Die Aktivierung des Systems ermöglicht dem Seriennummer (SN) Controller, das Lesen des Druckwerts über den zusätzlichen Full Range Gauge FRG-700 zu Elektrische Daten beginnen;... - Página 14 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRAUCHSANLEITUNG − Eine alternative Methode zum Abschalten des Systems ist die Anwendung des Hauptschalters GEFAHR! (durch Verstellen auf „0“). Das System schaltet Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker sich vollständig ab und es sind keine Druckab- ziehen, die Pumpe über Öffnung des entspre- lese- noch andere Vorgänge möglich.
-
Página 15: Normes De Sécurité
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à... -
Página 16: Indications Générales
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI MODE D’EMPLOI • A première utilisation, pompes INDICATIONS GÉNÉRALES turbomoléculaires doivent toujours être mises Cet appareillage a été conçu en vue d'une en marche en mode soft-Start utilisation professionnelle. Avant toute utilisation • Le temps stockage d'une pompe de l'appareil, il est conseillé... - Página 17 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI MODE D’EMPLOI procédures d’utilisation sont les mêmes pour tous Avant de sortir vérifiez que tous les raccordements les TPS-mobile. électriques et pneumatiques ont été correctement Les informations données sont applicables à effectués. Pendant le chauffage éventuel de la l’ensemble de la plateforme (tous les modèles) chambre à...
- Página 18 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI MODE D’EMPLOI − La mise marche système avec l’interrupteur principal alimente également le contrôleur de la turbopompe mais la pompe turbo et la pompe primaire restent à l’arrêt. Numéro du modèle (PN) La mise en marche du système permet au Numéro de série (SN) contrôleur de commencer à...
-
Página 19: Unites Speciales
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI MODE D’EMPLOI et il n’est plus possible ni de lire la pression ni NOTE d'effectuer une autre opération. Avant de renvoyer une pompe au constructeur Arrêt d'urgence pour réparation, remplir et faire parvenir au bureau Pour arrêter le TPS-mobile en cas d'urgence il est Varian de votre région la fiche "Sécurité... -
Página 20: Indicaciones De Seguridad
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 21: Información General
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCCIONES DE USO • el cliente deberá activar siempre las bombas INFORMACIÓN GENERAL turbomoleculares en modalidad Soft-Start al Este equipo es para uso profesional. El usuario ha recibirlas y ponerlas en funcionamiento por de leer atentamente el presente manual de primera vez;... -
Página 22: Instalación
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCCIONES DE USO turbomolecular y a la bomba de previo integrada al más detalles véase anexo “Technical modelo específico, como así también a la tensión Information”. aplicable al sistema. NOTA Las diferencias entre los distintos modelos del El TPS-mobile no puede fijarse utilizando su base. - Página 23 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCCIONES DE USO sobrecargas cortocircuitos. Colocar Encendido y Uso del TPS-mobile interruptor en la posición “1” para comenzar a − Después desembalar TPS-móvil, operar con el TPS-móvil. asegurarse de que el sistema no presente signos de daños debidos al transporte, (las ACTIVACIÓN DEL SISTEMA piezas críticas son: la brida de la bomba, los soportes de fijación de la bomba de previo, el...
-
Página 24: Unidades Especiales
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCCIONES DE USO En caso de avería se podrá utilizar el servicio de NOTA reparación Varian. Los modelos 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969- 8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432 y 969-8433 NOTA no están equipados con el selector denominado Antes de enviar al fabricante un sistema para su “Pumping”;... -
Página 25: Indicações De Segurança
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Página 26 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUÇÕES PARA O USO • o tempo máximo de armazenagem de uma INFORMAÇÕES GERAIS bomba turbomolecular é de 10 meses a contar Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O da data da expedição. utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a ATENÇÃO!
- Página 27 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUÇÕES PARA O USO As informações apresentadas são aplicáveis em UTILIZAÇÃO toda plataforma (todos modelos) Neste parágrafo são descritos os principais independentemente da bomba turbomolecular procedimentos operacionais. específica, bomba foreline Antes de usar o sistema, verificar que todas as alimentação eléctrica.
-
Página 28: Conexão Da Alimentação
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUÇÕES PARA O USO ACTIVAÇÃO DO SISTEMA Interruptor principal (com protecção térmica) Número de modelo (PN) Número de série (SN) Dados eléctricos A activação do sistema por meio do interruptor Se a tensão fornecida pela alimentação −... -
Página 29: Unidade Especial
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUÇÕES PARA O USO NOTA Os modelos 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969- PERIGO! 8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432, 969-8433 Antes de executar qualquer operação no sistema, não são equipados com o selector denominado desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na “Pumping”;... -
Página 30: Veiligheidsinstructies
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. - Página 31 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRUIKSAANWIJZINGEN ontvangen worden en voor de eerste keer in ALGEMENE INFORMATIE werking worden gesteld Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen.
- Página 32 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRUIKSAANWIJZINGEN systeem, terwijl werking Zie “Technical Information” voor installatie van gebruiksprocedures voor alle TPS-mobile accessoires die als optie verkrijgbaar zijn. modellen hetzelfde zijn. GEBRUIK De vermelde informatie is van toepassing op het deze paragraaf worden belangrijkste hele platform (alle modellen), onafhankelijk van de gebruiksprocedures vermeld.
- Página 33 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRUIKSAANWIJZINGEN − Controleer de ingangsspanning op het Varian INSCHAKELING VAN HET SYSTEEM etiket dat op de behuizing van de elektronische unit van het systeem is geplakt. Hoofdschakelaar (met thermische beveiliging) Modelnummer (PN) Serienummer (SN) Elektrische gegevens −...
- Página 34 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GEBRUIKSAANWIJZINGEN OPMERKING De modellen 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969- GEVAAR! 8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432, 969-8433 Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te hebben geen keuzeschakelaar “Pumping”; de voeren, de stekker verwijderen, de pomp met knop “Start/Stop” op de controller heeft dezelfde behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten functie.
-
Página 35: Brugsanvisning
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Página 36 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION VIGTIGT! Dette udstyr beregnet professionel Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund anvendelse. Brugeren bør læse denne længere, nødvendigt sende brugsanvisning og anden yderligere information fra pumpeanlægget tilbage til fabrikken. Yderligere Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke oplysninger fås ved henvendelse til den lokale ansvar for skader helt eller delvis som følge af Varian repræsentant.
- Página 37 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUGSANVISNING INSTALLATION ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen VIGTIGT! ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. turbopumpen tilsluttes systemet. Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, ADVARSEL! der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i...
-
Página 38: Tilslutning Af Strømforsyning
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUGSANVISNING forsyningsledningen til den elektriske stikdåse TILSLUTNING AF MÅLEINSTRUMENT af IEC320 type der sidder på systemets Måleinstrument bagpanel (jf. figuren). Stikdåsen er udstyret port med en låsefjeder der har som formål at undgå utilsigtede frakoblinger af forsyningsledningen; fjederen bruges tilkoble... -
Página 39: Bortskaffelse
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUGSANVISNING Skrotning systemet skal foregå SPECIELLE ENHEDER overensstemmelse med det pågældende lands TPS-mobile serien kan tilpasses afhængigt af særlige love. forskellige krav, med specifikke modelnumre. Med undtagelse af specifikke tilfælde der er ledsaget BORTSKAFFELSE med en specifik dokumentation, kan denne manual anvendes til alle de specielle enheder mærket med Betydningen af "WEEE"... -
Página 40: Bruksanvisning
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Página 41 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION VIKTIGT! Utrustningen är avsedd för yrkesmässig Om lagringstiden av någon anledning är längre användning. Användaren bör läsa denna måste pumpsystemet skickas tillbaka till fabriken. bruksanvisning, samt övrig dokumentation från kontakta lokala Varian- Varian före användning av utrustningen. Varian tar återförsäljaren för ytterligare information.
- Página 42 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKSANVISNING INSTALLATION VARNING! Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under VIKTIGT! uppvärmningen för att undvika brännskador. Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till systemet. Installera och/eller använd inte pumpsystemet i VARNING! miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen...
- Página 43 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKSANVISNING ANSLUTNING AV MÄTAREN ANSLUTNING AV FÖRSÖRJNINGEN Mätarens port Fästklämma Serieport Elkabel OBSERVERA − Det går att starta systemet med väljaren som Modellen 989-8433 som erhålls levereras kallas “Pumping”. Efter att väljaren ”Pumping” med en integrerad elkabel och därmed behövs inte denna åtgärd utföras ställts på...
- Página 44 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKSANVISNING Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning. SPECIELLA ENHETER Plattformen TPS-mobile kan anpassas i funktion till BORTSKAFFNING olika krav och få specifika modellnummer. Med undantag av särskilda fall som ges i en specifik Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. dokumentation, gäller denna handbok för alla Symbolen som visas nedan har tillämpats i speciella enheter som markerats med MXXXX (t.
-
Página 45: Brukerveiledning
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Página 46 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORSIKTIG! Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er brukere. Brukeren bør lese denne lenger må pumpesystemet returneres til fabrikken. brukerveiledningen og all annen informasjon fra Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren Varian før utstyret tas i bruk.
- Página 47 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON ADVARSEL! Ikke berør turbopumpen eller FORSIKTIG! tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først temperaturene kan føre til brannskader. når turbopumpen koples til systemet. Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer ...
- Página 48 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKERVEILEDNING GAUGE-TILKOBLING TILKOBLING AV TILFØRSEL Gauge-port Holdefjær Seriell port Tilførsels- ledning MERK Den leverte modellen 989-8433 er − Det er mulig å sette systemet i gang ved hjelp utstyrt integrert av valgbryteren kalt “Pumping”. Etter å ha satt tilførselsledning, dermed er det ikke nødvendig å...
- Página 49 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI BRUKERVEILEDNING Dersom et system skal kasseres, må dette skje i SPESIALENHETER henhold til nasjonale bestemmelser. Plattformen TPS-mobile kan brukertilpasses i henhold til de enkelte behov, og dermed oppnå KASSERING spesifikke modellnummere. unntak spesifikkke tilfeller utstyrt spesifikk Betydningen av symbolet på...
-
Página 50: Käyttöohjeet
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä... - Página 51 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI KÄYTTÖOHJEET • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on YLEISIÄ TIETOJA 10 kuukautta toimituspäivästä. Tämä laite tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut HUOMIO! Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen pumppausjärjestelmä...
- Página 52 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei HUOMIO! sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun pumppua suljettu sulkulaipalla. turbopumppu kytketään järjestelmään. Pumppausjärjestelmää tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä joutuu VAARA! kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), Älkää...
- Página 53 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI KÄYTTÖOHJEET turbopumpun ohjaimelle mutta sekä turbopumppu että foreline pumppu pysyvät pois päältä. Järjestelmän aktivoinnin myötä ohjain aloittaa Mallin numero (PN) painearvon luennan valinnaisen Full Range Sarjanumero (SN) Gaugen FRG-700 avulla jos se on kytketty mittauslaitteen liitäntäporttiin järjestelmän Sähkötiedot takaosassa.
- Página 54 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI KÄYTTÖOHJEET Hätäpysäytys HUOM Hätätilanteessa TPS-mobile voidaan pysäyttää Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle kytkemällä virtajohto irti verkosta, joka saa aikaa korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti pumpun ja ohjaimen sammumisen. täytettävä toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus Terveys” ERITYISYKSIKÖT kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen TPS-mobile arkkitehtuuri voidaan...
-
Página 55: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 56 ODHGIES CRHSHS TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ PROSOCH crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj tij odhg∂ej tou parèntoj egceir∂diou kai opoiadˇpote e∂nai megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin sto ergost£sio.
- Página 57 ODHGIES CRHSHS TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI την ειδική τουρμπομοριακή αντλία, την αντλία foreline kenoÚ, h qermokras∂a sth fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C. ή την ηλεκτρική τροφοδοσία. EGKATASTASH KINDUNOS Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ το σύστημα PROSOCH άντλησης...
- Página 58 ODHGIES CRHSHS TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI ΕΒΕΡΓΟΠΟΙΗΣΗ ΤΟΥ ΣΥΣΤΗΜΑΤΟΣ Γενικός Διακόπτης Αριθμός μοντέλου (PN) (με θερμική προστασία) Σειριακός αριθμός (SN) Ηλεκτρικά δεδομένα − − Η ενεργοποίηση του συστήματος διαμέσου του Αν η χορηγούμενη ηλεκτρική τάση τροφοδοσίας Γενικού διακόπτη προκαλεί την ηλεκτρική...
- Página 59 ODHGIES CRHSHS TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto ΣΗΜΕΙΩΣΗ service thj Varian. Τα μοντέλα 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969-8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432, 969-8433 δεν είναι SHMEIWSH εφοδιασμένα με τον επιλογέα που ονομάζεται Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia “Pumping”.
-
Página 60: Biztonsági Útmutató
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Página 61 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI HASZNÁLATI UTASÍTÁS • ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és berendezést professzionális felhasználók először üzemelteti. számára tervezték. felhasználónak • Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt ideje 10 hónap a szállítás dátumától.
- Página 62 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI HASZNÁLATI UTASÍTÁS vonatkozik, a működés és a használati mód Mielőtt a rendszert használja, ellenőrizze, hogy azonos minden TPS-típusnál. valamennyi elektromos és hidraulikus csatlakozás ismertetett információk teljes skálára megfelelően készült. A vákuumkamra melegítése alkalmazhatók (valamennyi típusra) közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem turbomolekuláris szivattyú, foreline szivattyú...
-
Página 63: A Rendszer Bekapcsolása
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI HASZNÁLATI UTASÍTÁS − A rendszer főkapcsolóval történő bekapcsolása tápot biztosít a turbószivattyú vezérlőjének, de turbószivattyú és Foreline szivattyú Típusszám (PN) kikapcsolva maradnak. A rendszer bekapcsolásával a vezérlő elkezdi a Sorozatszám (SN) nyomásadatok olvasását a választható Full Range Gauge FRG-700 segítségével, ha ez Elektromos adatok utóbbi rá... -
Página 64: Karbantartás
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI HASZNÁLATI UTASÍTÁS nem lehet sem a nyomást leolvasni, sem más MEGJEGYZÉS műveletet végezni. Mielőtt javításra visszaküldi rendszert gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt Vészleállítás „Egészség és biztonság” lapot ki kell tölteni és el Vész esetén a TPS-mobilet úgy lehet leállítani, kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. -
Página 65: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Página 66 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE • klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je aparatura jest przeznaczona użytku zawsze uruchomić w sposób Soft-Start zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo • czas magazynowania danej pompy uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty informację...
- Página 67 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Różnice pomiędzy modelami TPS-mobile dotyczą Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy tylko parametrów systemu, natomiast działanie zapoznać się z „Technical Information”. i procedury obsługi są takie same dla wszystkich UŻYTKOWANIE TPS-mobile. W tym paragrafie zostały przedstawione główne Podane informacje mają zastosowanie dla całej procedury operacyjne.
- Página 68 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA − Sprawdzić napięcie wejściowe podane na URUCHOMIENIE SYSTEMU etykiecie Varian naklejonej podstawie jednostki elektronicznej systemu. Wyłącznik główny (z zabezpieczeniem termicznym) Numer modelu (PN) Numer seryjny (SN) Dane elektryczne Uruchomienie systemu za pomocą wyłącznika − głównego powoduje doprowadzenie zasilania sterownika turbopompy, zarówno...
-
Página 69: Przetworstwo Odpadow
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA przypadku uszkodzenia możliwe jest INFORMACJA skorzystanie z serwisu naprawczego firmy Varian. Modele 969-8404, 969-8405, 969-8406, 969-8419, 969-8430, 969-8431, 969-8432, 969-8433 nie są INFORMACJA wyposażone w przełącznik “Pumping”; ta sama Przed wysyłką do konstruktora systemu do funkcja jest realizowana przez przycisk naprawy,... -
Página 70: Příručka K Použití
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Página 71: Všeobecné Informace
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE VAROVÁNÍ! Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a skladovací lhůty, čerpací systém musíte vrátit všechny další... - Página 72 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI PŘÍRUČKA K POUŽITÍ INSTALACE VÝSTRAHA! VAROVÁNÍ! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může Před připojením turbomolekulární vývěvy do způsobit popáleniny. systému nesundávejte adhezní a ochranné víko. Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je ...
- Página 73 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI PŘÍRUČKA K POUŽITÍ PŘIPOJENÍ MĚŘICÍHO PŘÍSTROJE NAPÁJECÍ PŘÍVOD Port měřícího přístroje Přidržovací pružina Sériový port Napájecí kabel POZNÁMKA Dodaný model 989-8433 je vybaven Systém je možné spustit prostřednictvím voliče napájecím kabelem, který je jeho − součástí, a proto tato operace není nazvaného „Pumping“.
- Página 74 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami. SPECIÁLNÍ JEDNOTKY Platforma TPS-mobile může být uživatelsky LIKVIDACE přizpůsobena závislosti specifických potřebách, kdy bude modelu přiděleno speciální Význam loga "WEEE" nacházejícího se na číslo.
-
Página 75: Návod K Použitiu
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... -
Página 76: Všeobecné Informácie
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NÁVOD K POUŽITIU • VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky UPOZORNENIE! ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť z akéhokoľvek dôvodu vyprší... - Página 77 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NÁVOD K POUŽITIU INŠTALÁCIA VAROVANIE! UPOZORNENIE! Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore, alebo Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, nie je zablendovaná. než pripojíte turbovývevu k systému. Čerpací...
-
Página 78: Aktivácia Systému
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NÁVOD K POUŽITIU Po zapnutí systému prostredníctvom hlavného − vypínača bude riadiace zariadenie vývevy turbo napájané, ale výveva turbo ako aj výveva Číslo modelu (PN) foreline zostanú vypnuté. Aktivácia systému umožňuje riadiacemu Výrobné číslo (SN) zariadeniu zahájiť... -
Página 79: Likvidácia
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NÁVOD K POUŽITIU Núdzové zastavenie POZNÁMKA TPS-mobile je možné bezpečné núdzovo zastaviť Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť vytiahnutím napájacieho kábla zo zástrčky, čo dotazník „Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k spôsobí vypnutie vývevy a riadiaceho zariadenia. návodu použitie odoslať... -
Página 80: Varnostna Navodila
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. - Página 81 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE PRIPRAVA ZA MONTAŽO Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. TPS-mobile je dobavljen v posebni zaščitni Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za embalaži. Če embalaža poškodovana, uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
- Página 82 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NAVODILA ZA UPORABO − Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom POZOR! atmosfere − temperatura: od +5 °C od +35 °C Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, − Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza) brez prahu, delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara (nad V prisotnosti magnetnih polje zaščite črpalni pritiskom atmosfere).
- Página 83 TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NAVODILA ZA UPORABO PRIKLOP MERILNIKA PRIKLOP NAPAJANJA Priključek za merilnik Zaporna vzmet Serijski priključek Napajalni kabel Sistem je mogoče zagnati s pomočjo izbirnega − OPOMBA Model 989-8433 ima vgrajen napajalni stikala, poimenovanega »Pumping«. Po obratu kabel, zato ta postopek ni potreben. stikala »Pumping«...
-
Página 84: Odlaganje Opadkov
TRADUZIONE DELLE ISTRUZIONI ORIGINALI NAVODILA ZA UPORABO Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi. POSEBNE ENOTE Platformo TPS-mobile lahko prikrojite lastnim ODLAGANJE OPADKOV potrebam in željam z izdelavo posebnih številk modelov. Z izjemo posebnih primerov s priloženo Pomen znamke "WEEE"... -
Página 85: Safety Guideline
ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 86: General Information
ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION CAUTION This equipment destined If for any reason the shelf life time is exceeded, the professionals. The user should read this instruction pumping system has to be returned to the factory. manual and any other additional information Please contact the local Varian Vacuum Sales and supplied Varian... - Página 87 ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! Never use the pumping system when the turboinlet CAUTION flange is not connected to the vacuum chamber or Do not remove the adhesive and protective cap is not blanked. before connecting the turbopump to the system. Do not install or use the pumping system in an ...
-
Página 88: System Activation
ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCTIONS FOR USE IEC320 electrical socket on the rear side of the GAUGE CONNECTION system (see picture). The socket is provided Gauge port with a retention spring to avoid accidental disconnection of power cord plug – use the spring to fasten the power cord plug. - Página 89 ISTRUZIONI ORIGINALI INSTRUCTIONS FOR USE If a system is to be scrapped, it must be disposed MODIFIED STANDARD of in accordance with the specific national TPS-mobile platform is suited to be tailored in standards. according to many different needs so special TPS- mobile PNs can be released.
-
Página 90: Technical Information
969-8422 TV81M ISO63 IDP3 969-8412 TV81M ISO63 SH110 969-8423 TV81M ISO63 SH110 969-8403 TV301 ISO100 DS102 969-8424 TV301 ISO100 DS102 969-8400 TV301 ISO100 DS302 969-8425 TV301 ISO100 DS302 969-8417 TV301 ISO100 DS402 969-8426 TV301 ISO100 DS402 969-8418 TV301 ISO100 IDP3... -
Página 91: Turbopump Description
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION − Pumping Selector 1 - Turbopump Description TPS-mobile versions equipped with TV81M or The turbopump consists of a high frequency motor TV301 include an electrical selector named driving a turbine fitted with many bladed stages “Pumping” on the left side of the front panel. and Macrotorr stages. - Página 92 Scroll pump creates vacuum using a simple dual TPS-mobile versions equipped with RVPs are: scroll mechanism in which one of the nested 969-8413, 969-8411, 969-8403, 969-8400, 969- scrolls orbits about the other, creating moving 8417, 969-8405, 969-8419, 969-8420, 969-8421, zones of captured gas.
-
Página 93: Technical Specification
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Characteristic 969-8412 969-8416 969-8411 969-8413 TV81M TV81M TV81M TV81M Turbo Pump ISO63 ISO63 ISO63 ISO63 TMP Flange SH110 IDP3 DS102 DS42 Forepump 220V / 50Hz Voltage 1x10-8mbar (7.5x10-9Torr) Base Pressure * N2 Pumping Speed (L/s) He Pumping Speed (L/s) H2 Pumping Speed (L/s) 80000 rpm... - Página 94 ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION Characteristic 969-8406 969-8404 969-8419 969-8405 TV551 TV551 TV551 TV551 Turbo Pump CFF8 CFF8 CFF8 CFF8 TMP Flange TS600 TS300 DS402 DS302 Forepump 220V / 50Hz Voltage 1x10-9mbar (7.5x10-10Torr) Base Pressure * N2 Pumping Speed (L/s) He Pumping Speed (L/s) H2 Pumping Speed (L/s) 40000 rpm TMP Rotational Speed...
- Página 95 80°C on Inlet Flange Bakeout Temperature Protection Breaker SEE “CE” CERTIFICATE OF CONFORMITY Compliance with Installation category Pollution Degree T-Plus Serial Communication kit -20°C to +70°C Storage Temperature Characteristic 969-8400 969-8403 969-8429 969-8428 TV301 TV301 TV301 TV301 Turbo Pump ISO100 ISO100 ISO100...
-
Página 96: Conformity Certificate
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION Characteristic 969-8427 969-8426 969-8425 969-8424 TV301 TV301 TV301 TV301 Turbo Pump ISO100 ISO100 ISO100 ISO100 TMP Flange IDP3 DS402 DS302 DS102 Forepump 110V / 60Hz Voltage 1x10-8mbar (7.5x10-9Torr) Base Pressure * N2 Pumping Speed (L/s) He Pumping Speed (L/s) H2 Pumping Speed (L/s) 56000 rpm TMP Rotational Speed... -
Página 97: Tps-Mobile Outline
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION TPS-MOBILE OUTLINE The following figure shows the TPS-mobile outline. Elevation Width: 395 [15,5] Dimensions: mm [inches] The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, TURBO PUMPING SYSTEM CONNECTION 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than Vacuum Inlet Flange 0.7 mm diameter. -
Página 98: High Vacuum Flange Connection
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5 2.76 [70.00] KF 40 2.09 [53.00] Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. CFF 8" ISO 160 For ConFlat flange connections we recommend CFF 6"... -
Página 99: High Vacuum Flange Connection Configurations
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION High Vacuum Flange Connection Configurations 95/105 87-901-005-01(A) -
Página 100: Electrical Connections
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION TMP controller display. ELECTRICAL CONNECTIONS Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-mobile during normal operation. Input Power Connector The following figure shows the input power con- nector. CONNECTION TO MAIN Gauge Connector Retention Spring Power cord plug NOTE PN 969-8433 is already supplied with an... -
Página 101: Connector Examples
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION ternal wiring is shielded, with the shield being ter- minated metal shroud PIN N. SIGNAL NAME subconnector. The cable should be secured to the +5 V (OUT) (Reserved) connector with screws. TX (RS232 RX (RS232 Serial Communication Descriptions This unit can comunicate by two different protocol: A + (RS485) −... - Página 102 ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION • "D" = Low Speed OFF • Message • "E" = Request for operational parameters • "F" = Pump times zeroing When the Request is "A, "B”, "C", "D", "F", the • "G" = Parameters reading Turbo-V 301 controller will Answer the ACK or •...
-
Página 103: Window Protocol
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION When the configuration parameters have to be changed, send a Request string a string with 9 BYTES MEANING characters of the following type: Cycle time Pump life "H" + ..data ..+ CRC 9-10 Cycle number The following parameters can be changed: On request a sample program in QBasic language BYTES... - Página 104 ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION The field length is variable according to the The addressed SLAVE will respond with an data type as per the following table: ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. DATA TYPE FIELD VALID LENGTH CHARACTERS When the MESSAGE is a reading command, the Logic (L) ‘0’...
- Página 105 ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION Source: Controller Examples: Destination: PC Command: START Source: PC Destination: Controller STX ADDR ACK ETX 30 30 30 31 STX ADDR WINDOW WR ON ETX Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) Source: Controller Destination: PC 32 30...
-
Página 106: Window Meanings
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Analog output 0 = frequency Write Type Values type: output 1 = power voltage signal Start/Stop Start = 1 (default = 1) proportional to (in remote/ Stop = 0 frequency or... - Página 107 ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Stop speed 0 = disable Controller Air reading 1 = enable Temperature Activates / (°C). deactivates Pressure the pump reading speed reading Format = X.X after Stop E XX...
-
Página 108: Pumping System Component Info
TPS-mobile will be showed beside the picture. For each component PN, component name and user manual reference are reported. For specific information about one of integrated components, please contact Varian Service department ask- ing for the specific user manual. 969-8400 969-8401 969-8402 969-8403... -
Página 109: Accessories And Spare Parts
ISTRUZIONI ORIGINALI TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES AND SPARE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957 Serial cable and Navigator Software 969-9883 Inlet screen, ISO 100 969-9302 Inlet screen, ISO 160 969-9303 Heater band, 120 V 969-9804... -
Página 110: Appendix 1
These pages are intended as a separate document and, if needed, can be printed separately and attached in paper format to the TPS-mobile for a quick reference work in the field. The “Appendix 1” is applicable to following models: 969-8400 969-8401 969-8420... - Página 111 APPENDIX 1 • Provide the correct voltage to the system through the power cord. • The system is equipped with a main switch (thermal breaker) able to protect the system components against overload or short-circuits. Move the breaker switch to the position “1” to start operating with the TPS-mobile.
- Página 112 APPENDIX 1 TPS-mobile switching off: • You can switch the pumps off by using the “pumping” selector (moving it to position “0”) – the TMP con- troller will remain ON and if a gauge is connected to the system it will be possible to continue reading the pressure even if pumps are off.
-
Página 113: Troubleshooting Table
APPENDIX 2 APPENDIX 2 TROUBLESHOOTING TABLE Symptom Possible cause Action Check the connection of main plug. Problems on main connection System doesn’t start Check possible fuses on main line Move the Main Switch on position Main switch placed on position “0” “1”...