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Análisis de muestras
La sonda de 45 grados es óptima para el análisis de películas
delgadas de más de 1 micrón de espesor. La sonda de ángulo
rasante es óptima para el análisis de películas súper delgadas
inferiores a 1 micrón de espesor. La reflectancia difusa se ha
diseñado específicamente para la medición de superficies rugosas
que se dispersan en vez de reflejar la luz. La reflectancia especular es
un método ideal para el análisis de la contaminación de la superficie.
La sonda de ángulo rasante se debe utilizar al analizar un nivel de
contaminación muy bajo (niveles de espesor nanómetros).
Cada interfaz de muestreo de reflectancia requiere el uso de una
muestra de referencia para realizar la medición de fondo antes
de analizar la muestra. La muestra de referencia se incorpora
en el FTIR FlexScan serie 4200 por medio de un disco de metal
montado en una tapa que encaja en la punta de la sonda de
reflectancia. El sistema FlexScan serie 4200 ofrece dos tapas
de referencia diseñadas para este fin: una tapa de referencia
de oro difusa con un acabado áspero, y una tapa de referencia
de espejo de acero inoxidable con un acabado muy liso.
La tapa de referencia difusa de oro se debe utilizar con la sonda de
reflectancia de 45° al medir muestras de baja reflectancia. La tapa de
referencia de espejo se debe utilizar con la sonda de reflectancia de 45°
al medir muestras de películas finas u otras muestras de reflectancia alta.
La tapa de referencia de espejo se debe utilizar siempre con la sonda de
muestreo de ángulo rasante. La tapa difusa siempre debe utilizarse con la
interfaz de muestreo de reflectancia difusa.
Asegúrese de que la muestra entre en contacto sólido con la totalidad de
PRECAUCIÓN
la superficie de la punta de la sonda de reflectancia externa y que no está
sostenida un ángulo contra la muestra. Además, asegúrese que no se produzca
ningún movimiento entre la muestra y la sonda durante la medición.
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FTIR FlexScan serie 4200 de Agilent Manual de operación
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