Inficon UL3000 Fab Manual De Instrucciones página 117

Prueba de fugas de helio con tecnología de sensor ultratest
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• X: Realizar los trabajos de mantenimiento según las horas de servicio o la
duración
• X
: Sin limitación temporal solo horas de servicio
1
• X
: Realizar los trabajos de mantenimiento según la duración
2
• 1: En función del entorno y uso
• 2: En función de la suciedad
Limpieza y mantenimiento | 8
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