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INFICON
8.8 Plan de mantenimiento
Grupo
Trabajos de
constructivo
mantenimiento
Sistema de vacío
Bomba de
Comprobar el rendimiento
vacío previo
Sustituir la bomba en caso
NeoDry
necesario
TMP SplitFlow
Sustituir el depósito de
80
lubricante
Cambio de cojinete y
sustituir el depósito de
lubricante
Bloque de
Limpiar las válvulas
válvulas
Sustituir las juntas de las
válvulas
Desarmar y limpiar el
bloque de válvulas
Conducto del
Sustituir el filtro
flujo del gas de
barrido
Eléctrico
Grupos
Soplar el chasis del
constructivos
ventilador y el TMP
ventilador
Comprobar el kit de filtros
del ventilador y sustituirlo
si fuera necesario
Subconjuntos y accesorios
Conducto de
Sustituir el filtro
aspiración
SL3000
Fuga calibrada Volver a calibrar o
reemplazar
Leyenda del plan de
mantenimiento
UL3000-Fab-ULTRA-Manual-de-instrucciones-iinb73es1-09-(2109)
Horas de servicio/años
1500
1/4
X
3
X
3
X
- Conecte el modo de aspiración
3
cada 1000 horas
X
- Realícese en función de la fecha de
2
caducidad
• I Cliente o nivel superior
• II Cliente con formación o nivel superior
• III Técnico de mantenimiento de INFICON
4000
8000
16 000 24 000
1
2
3
X
X
X
X
X
X
3
3
X
3
X
X
X
3
X
X
X
3
X
X
3
X
X
X
3
1
1
X
X
X
1
1
1
X
X
X
1
1
1
Limpieza y mantenimiento | 8
Nivel
Número de
pieza de
recambio
4
X
II
X
III
200009420
3
200009420R
II
200003801
X
III
2
X
III
X
III
200007630
X
III
3
X
II
200000683
1
200001095
X
II
1
X
I
200007656
1
I
200001116
20003500
III
14030
129 / 162
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