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8270A/8370A
Manual del operador
En la Tabla 17 aparece la máxima incertidumbre de medición de referencia
necesaria para la puesta a cero a fin de mantener las especificaciones
publicadas.
PM500-A120K
PM500-A160K
PM500-A200K
PM500-A350K
PM500-A700K
PM500-A1.4M
PM500-A2M
Escala completa de un PM500
Para poner a cero el PM500:
1. Abra el compartimento del módulo e instale el PMM en cualquier ranura
2. Asegúrese de que el Producto está encendido y a la temperatura correcta.
3. En la pantalla Módulo de Información (Información de
4. Seleccione Módulo Cero en el menú de la ranura.
5. Conecte el sensor de vacío, la fuente de vacío, la válvula de purga y el tubo y
La válvula de bola y la válvula en T del kit PK-PMM-ZERO tienen
una clasificación nominal de solo 20 MPa (3000 psi). No las deje
conectadas al puerto TEST si la presión en el puerto TEST va a
superar los 3000 psi.
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Tabla 17. Máxima incertidumbre de medición de referencia
Modelo
disponible.
Configuración>Módulo de Información), seleccione el número de ranura
correspondiente del módulo de presión que pondrá a cero. Se abrirá el menú
de la ranura seleccionada.
el hardware aplicables al puerto de prueba del Producto. La Figura 10
muestra un ejemplo de configuración. Conecte la válvula de purga lo más
cerca posible de la bomba de vacío y el sensor de vacío de referencia lo más
cerca posible del puerto de prueba.
Se puede instalar una válvula de bola de 3 vías opcional en el puerto de
prueba (Figura 10). Esta configuración mantiene el sensor de vacío en su
posición con la capacidad de aislarlo cuando no se utiliza para poner a cero
los PMM. Cuando el sensor de vacío está aislado, el puerto de prueba se
puede utilizar para otros procesos.
Máxima incertidumbre de medición [±]
0,0035 kPa (26 mTorr)
0,0045 kPa (34 mTorr)
0,0025 kPa (19 mTorr)
0,0100 kPa (75 mTorr)
0,0245 kPa (184 mTorr)
0,050 kPa (0,0073 psi)
0,070 kPa (0,0102 psi)
Puesta a cero de 700 kPa absolutos
W Precaución
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