Prueba Inicial De Vacío - Varian HS-16 Manual De Instrucciones

Prueba inicial de vacío
Antes de cargar la bomba con fluido, realice esta prueba
inicial de vacío para establecer la hermeticidad del
sistema y de sus conexiones de vacío.
Las bombas y sus componentes están diseñados para
servicio de vacío, y no para ser presurizados. Esto podría
hacer que explotasen, posiblemente expeliendo metralla
a velocidades letales. La presurización intencionada de
sistemas de vacío y sus componentes han sido causa de
accidentes muy graves.
❑
Nunca presurice ninguna parte de un
ADVERTENCIAS
sistema de vacío con objeto de
realizar una prueba, ni por cualquier
otro motivo.
❑
Reduzca siempre la presión al
diseñar bombas de vacío
incorporadas en sistemas, y asegure
que el movimiento de reducción de
presión está limitado a envolventes
seguros.
Bombas de difusión de alto rendimiento
Para realizar la prueba inicial de vacío:
1. Confirme las características de la presión final de
vacío de la bomba principal. Este valor debe ser muy
cercano al valor indicado en los datos del fabricante,
si la bomba mecánica se encuentra correctamente
instalada, ajustada y cargada con fluido limpio.
2. Mida la presión con un indicador que marque de
forma continua la presión total, como un manómetro
de capacitancia o un calibre termopar.
3. Conecte la salida (o la línea frontal) de la bomba de
difusión a la entrada de la bomba principal mediante
el uso de conexiones herméticas de vacío.
4. El procedimiento varía para los sistemas con válvulas
o sin ellas.
❑
Para sistemas con válvulas: cierre la válvula de
pre-vacío y la válvula de aislamiento principal
situadas delante de la bomba de difusión.
❑
Para los sistemas sin válvulas: incluya en la
prueba la totalidad del volumen de la cámara de
trabajo.
5. Evacue el sistema utilizando sólo la bomba principal.
Permita que la bomba alcance una presión final en el
sistema. La lectura debe aproximarse al valor
obtenido en el paso 2 anterior (generalmente entre
10 y 50 micrones, de 0,013 mbar a 0,067 mbar).
6. Si la bomba no alcanza este nivel, examine el sistema
para detectar fugas siguiendo el procedimiento
estándar para pruebas de fugas. Estos procedimientos
dependen del tipo de indicadores de vacío y del
equipo de detección de fugas disponibles.
NOTA Solicite a su representante de Vacuum
Technologies información acerca de la
línea exclusiva de detectores de fuga
por medio de helio de Vacuum
Technologies.
33