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Turbo-V 2000HT
969-9084 series
969-9059 series
87-900-969-01(B)
OCTOBER 2004
pumps
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
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Manuales relacionados para Varian Turbo-V 2000HT 969-9084 Serie
Resumen de contenidos para Varian Turbo-V 2000HT 969-9084 Serie
- Página 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Turbo-V 2000HT MANUAL DE INSTRUÇÕES pumps BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING 969-9084 series INSTRUKSJON MANUAL 969-9059 series OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA 87-900-969-01(B) INSTRUCTION MANUAL OCTOBER 2004...
- Página 2 Turbo-V 2000HT...
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Página 5: Tabla De Contenido
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ..................52 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53... -
Página 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L’USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 7: Informazioni Generali
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe- riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio- ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si pre- sentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. - Página 8 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- contattare la Varian. ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia guasta.
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Página 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Página 10: Vor Der Installation
Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Text hervorgehoben werden. Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubver- schmutzungen zu vermeiden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian INSTALLATION Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden An- weisungen zu beachten: ... - Página 11 Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge- Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad- vanced exchange service" in Anspruch genommen werden. genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm um seine eigene Achse aushält.
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Página 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Página 13: Indications Generales
85/399 en matière de protection de l'environnement. sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication sup- plémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian ATTENTION ! décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobserva- En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas tou-... - Página 14 8.8 ( = 800 N/mm ). Il est conseillé venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" de serrer à un couple de 22 Nm. annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette La turbopompe à...
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Página 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 16: Información General
Varian los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre antes de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier los guantes u otra protección apropiada. responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las... -
Página 17: Utilización
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados MANTENIMIENTO Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una bomba primaria (véase esquema en "Technical Information". Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún La turbobomba se puede instalar en cualquier posición. -
Página 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Página 19: Preparação Para A Instalação
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre aparelhagem. - Página 20 “limpo”. Para quaisquer outros tipos de Ler atentamente este manual antes da utilização. aplicação, contacte a Varian Vacuum Technologies ou o seu Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o fornecedor de confiança.
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Página 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Página 22: Installatie
EEG milieurichtlijn 85/399. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet ATTENTIE aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in... - Página 23 “schoon” vacuüm in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig is vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere uw leverancier voor andere toepassingen.
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Página 24: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Página 25 For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun...
- Página 26 Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie VEDLIGEHOLDELSE 969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen (se skemaet i "Technical Information").
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Página 27: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. - Página 28 Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
- Página 29 Turbomolekylärpumparna i serien V2000HT måste användas för varje enskild gas. med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9462, 969- Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 9562), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical information ").
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Página 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... - Página 31 Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
- Página 32 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede “Teknisk informasjon”). skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V2000HT serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969- 9462, 969-9562), og må koples til hovedpumpen (se skjema i ADVARSEL! "Teknisk informasjon ").
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Página 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-969-01(B) -
Página 34: Yleisiä Tietoja
Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä... - Página 35 Information“-liitteestä. Sarjan Turbo-V2000HT pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Sarjan V2000HT turbomolekyylipumppuja tulee käyttää Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969- henkilö. 9462, 969-9562) niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
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Página 36: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 37 Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. aer∂ou, mhn agg∂zete me gumn£ c◊ria ta tmÿmata pou prÒkeitai na H Varian den f◊rei kam∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ ekteqoÚn sto kenÒ. Na crhsimopoie∂te p£nta g£ntia ÿ £llh aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj...
- Página 38 Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto s◊rbij fl£ntza eisÒdou me m∂a staqerÿ kÒntrofl£ntza ikanÿ na na episkeuèn Varian ÿ sto “Varian advanced exchange service”, antistaqe∂ se ◊na zeÚgoj 30000 Nm gÚrw apÒ ton £xon£ thj. pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastÿsete thn Η...
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Página 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Página 40 FIGYELEM A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
- Página 41 HASZNÁLAT tiszta általános vákuumalkalmazásokhoz tervezték. Lépjen A turbószivattyú helyes használatához az összes utasítás kapcsolatba a Varian Vacuum Technologies céggel vagy a benne van a vezérlőegység kézikönyvében. szállítójával, ha bármely más alkalmazáson akarja használni a Gondosan olvassa el a kézikönyvet a szivattyú használata előtt.
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Página 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Página 43 Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. dotyczącej ochrony środowiska. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed UWAGA ! użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od jakiejkolwiek Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać...
- Página 44 Pompa została zaprojektowana dla użytku w systemach „Informacje Techniczne”. pompowania dla próżni PVD lub ogólnie dla zastosowania gdzie jest wymagana tzw. próżnia „czysta”. W celu innych UŻYTKOWANIE zastosowań należy skontaktować się z firmą Varian Vacuum Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego działania Technologies lub z waszym dostawcą.
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Página 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Página 46 Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení...
- Página 47 Pomocí regulátoru lze zvolit AIR (VZDUCH) nebo ARGON (viz příslušný návod k použití). Spojte se prosím POZNÁMKA s firmou Varian, chcete-li používat tuto vývěvu pro jiné druhy plynů. Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus, musíte list "Health and Safety"...
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Página 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Página 49 UPOZORNENIE Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, používajte rukavice alebo inú...
- Página 50 POUŽITIE vákuové systémy. Ak chcete vývevu použiť na niečo iné, Všetky pokyny pre správne používanie turbovývevy nájdete obráťte sa na firmu Varian Vacuum Technologies, alebo na návode pre použitie kontrolného modulu. vášho dodávateľa. Pred použitím vývevy starostlivo preštudujte návod na použitie.
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Página 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Página 52 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
- Página 53 črpalke pade pod 50 °C. OPOZORILO! V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. The power level to the pump must be set according to the pumped gas. S pomočjo upravljalca lahko izberete AIR ali OPOMBA ARGON (glej navodila za uporabo).
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Página 54: Safety Guideline
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 55: General Information
Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. Al- Varian will not be held responsible for any events occurring due ways use gloves or other appropriate protection. to non-compliance, even partial, with these instructions, im-... - Página 56 See the appendix "Technical In- by authorized personnel. formation" for detailed information.The Turbo - V 2000HT series pumps must only be used with one of the special Varian con- trollers (series 969-9462, 969-9562) and must be connected to WARNING! a primary pump (see "Technical Information").
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Página 57: Description Of The Turbopump
TECHNICAL INFORMATION The Turbo-V2000HT pump consists of a high fre- DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP quency motor driving a turbine fitted with 8 bladed The Turbo-V2000HT pump is available in two ver- stages and 4 Macrotorr stages. The turbine rotates sions which differ only in their inlet flange. in an anticlockwise direction when viewed from the They are: high vacuum flange end. -
Página 58: Technical Specification
TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION The following figure shows the Turbo-V2000HT pump outline drawing. Dimensions are in inches [mm]. Pumping speed : 1950 l/s Coolant water minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) He: 2000 l/s temperature: + 10° C to + 20° C : 1500 l/s pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 Psi) Compression ratio... - Página 59 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-969-01(B)
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Página 60: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9338 (metallic model), and 969-9348 (plastic model). - Página 61 TECHNICAL INFORMATION Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. NOTE These hoses must be held on the respective noz- zles using hose clips to avoid that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
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Página 62: Vent Device Installation
TECHNICAL INFORMATION VENT DEVICE INSTALLATION VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 allows to avoid un- desired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an The vent device mod. 969-9831 allows to avoid automatic vent operation. -
Página 63: Gas Purge Valve Installation
CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests the following purge gas flow rates: 10 sccm (0.17 mbar l/s) for a mild purge process, or 20 sccm (0.34 mbar l/s) for an heavy process. -
Página 64: Typical Layout Diagram
TECHNICAL INFORMATION The recommended procedure to vent the system TYPICAL LAYOUT DIAGRAM and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points: Close the corrosive gas flow into the system. Leaving the Turbo-V pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas... -
Página 65: Connection B - Fore-Vacuum Pump
TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend Connection C - ELECTRICAL using Varian hardware. Other hardware can be used if it satisfies to this specifications: − stainless steel screws − minimum strength point of 500 N/mm − length: 63.5 mm (2.5 inches). -
Página 66: Moving The Gas Purge Valve And Forevacuum Pump Connections
Dual stage rotary vane pump DS 949-9335 602 with single phase motor Dual stage rotary vane pump DS 949-9336 602 with 3 phase motor For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 87-900-969-01(B) -
Página 67: Customer Information
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. - Página 68 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
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Página 69: Sales And Service Offices
Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.