Agilent TwisTorr 305 FS Manual Del Usuario página 126

使用说明
表 5 错误消息
SYSTEM OVERRIDE
OVERVOLTAGE
RUN UP TIME
126
通过远程触点提供的紧急停止信号来停止
泵。
控制器电源电路有故障，或控制器收到尖峰
信号。
超时
Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual
拆下控制器电源线并检查紧急情况。然后重
新连接电源线，然后按"开始"按钮两次以
启动泵。
按下"开始"按钮两次以启动泵。如果消息仍
然存在，请致电安捷伦服务。
检查运行时间的设置。 必须根据客户流程
对其进行调整。 检查泵内流动的气体负荷
量