Inficon UL6000 Fab Manual De Instrucciones página 123

INFICON
Tipo Notificación
W904 Mantenimiento: Filtro de la
punta de aspiración
W910 Mantenimiento: Bomba de
vacío previo
W920 Mantenimiento: Filtro de
escape
W925 Mantenimiento: Filtro del
aire
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
Posible causa de
error
Intervalo de
mantenimiento del filtro
de la punta de
aspiración
sobrepasado
Intervalo de
mantenimiento de la
bomba de vacío previo
sobrepasado
Intervalo de
mantenimiento del filtro
de escape
Intervalo de
mantenimiento del filtro
del ventilador
Mensajes de advertencia y de error | 7
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