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INFICON
6.12.1 Cambio al monitor interno
6.13 Ver el diagrama de vacío
1 Bomba turbomolecular 2 (TMP amplificadora)
2 Brida de entrada
3 p1 ... p4: puntos de medición de presión
4 Fuga calibrada interna
5 V2a, V2b ... V15: Válvulas magnéticas para
controlar los flujos de gas
UL6000-Fab,-PLUS-Manual-de-instrucciones-iinc75es1-02-(2207)
INDICACIÓN
Desconexión del monitor externo
► Si el aparato está encendido, antes de desconectar las conexiones de un monitor
externo, cambie al monitor interno desde el menú.
Con el aparato encendido, puede cambiar al monitor interno en cualquier momento.
1
> Pantalla > Monitor de interruptores
2
Pulse el botón «Monitor interno».
Para comprobar el funcionamiento y el estado operativo del sistema de medición de
un vistazo, acceda a la representación simplificada del esquema de vacío.
►
> Diagrama de vacío
2
1
V15
V14
V13
V12
Fig. 13: Los componentes más importantes del diagrama de vacío en los aparatos UL6000
4
3
TL
p3
V4c
p1
V11
V2b
10
6 Espectrómetro de masas
7 Bomba turbomolecular 1
8 Punto de medición de presión para el control de
flujo
9 Conducto de aspiración
10 Bomba de vacío previo
Funcionamiento | 6
5
V7
MS
V8
V9
p4
p2
V10
V2a
V5
9
6
7
8
99 / 164
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