Tabla de contenido
Publicidad
Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.
La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio
per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un
vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vo-
stro fornitore per altre applicazioni.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
NO!
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d'ingresso della
turbopompa. Si consiglia l'uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni
oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d'ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
−
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
−
temperatura: da + 5 °C a +35 °C
−
umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000HT devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9462, 969-9562) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
PERICOLO!
Il livello di potenza fornito alla pompa va adattato al tipo di gas
pompato. Agendo attraverso il controller (vedere il manuale del
controller) è possibile selezionare ARIA o ARGON (default:
ARGON). Per utilizzare la pompa con gas diversi si prega di
contattare la Varian.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 30000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISOF deve essere fissa-
ta alla camera da vuoto per mezzo di 12 viti M10 di acciaio di
classe non inferiore a 8.8 (
s
r
coppia di chiusura di 22 Nm.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-
chnical Information".
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
2
= 800 N/mm
). Si suggerisce una
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten-
tamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori
pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa uti-
lizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscalda-
mento della camera da vuoto, le temperature della flangia di
ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Uti-
lizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni
di riscaldamento.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas
esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V2000HT non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella
guasta.
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o a-
dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-
venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve
essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-
che.
3
ISTRUZIONI PER L'USO
PERICOLO!
ATTENZIONE!
ATTENZIONE!
PERICOLO!
PERICOLO!
NOTA
87-900-969-01(B)
Publicidad
Tabla de contenido
