Métodos De Detección De Fugas; Pieza De Prueba Evacuada (Figura C-1A Y Figura C-1B) - Varian 979 Serie Manual De Funcionamiento

Detector de Fugas Espectrómetro de Masas por Medio de Helio Modelo Serie 979
C.6 Métodos de Detección de Fugas
La mayoría de métodos de detección dependen del uso de un gas de traza que pase por la
fuga y sea detectado en el otro lado (por ejemplo, detección visual de burbujas de aire en
agua).
El detector de fugas con espectrómetro de masas opera con helio como gas de traza, y es
muy usado porque combina una alta sensibilidad con capacidad de prueba de producción.
Los tres métodos básicos de uso común están descritos más adelante.
C.6.1 Pieza de Prueba Evacuada (Figura C-1a y Figura C-1b)
El objeto a ser probado es vaciado por la bomba de pre-vacío del detector de fugas, y
después pasa por medio de válvulas al sistema de vacío del espectrómetro. Luego, la
superficie del objeto de prueba es sondeada con un pequeño chorro de helio para localizar
las fugas individuales, o rodeada de helio (cubierta) para una verificación de fugas general.
Fuga
Detector
Figure C-1a Pieza de Pruebas Vaciada: Sonda de Traza Usada para Localizar la Fuga
Fuga
Detector
Figure C-1b Pieza de Pruebas Vaciada y Cubierta con Atmósfera de Helio para
C-6
Prueba
Pieza
Pieza de Prueba
Determinar la Tasa de Fugas General
H
e
Fuga
1
i
u
m
Cubrimiento
Fuga
H
e
1
i
u
m