Varian 979 Serie Manual De Funcionamiento página 69

Detector de Fugas Espectrómetro de Masas por Medio de Helio Modelo Serie 979
Tabla 2-5 Detector de Fugas 979 Sensibilidad Estándar
Rango
Recorrido de
EM*
Válvula
Presión de
100 mTorr 100 mTorr
Transferencia
*EM – ETAPA MEDIA
**CF – CONTRA-FLOW
***FB – FUGA BRUTA
Rango –10
Recorrido de
EM
Válvula
Presión de
Transferencia 100 mTorr 100 mTorr
4
1 bomba
Presión de
Transferencia
100 mTorr 100 mTorr
4
2 bombas
1
EM – ETAPA MEDIA
2
CF – CONTRA-FLOW
3
FB – FUGA BRUTA
4
Los ajustes de las transferencias Contra-Flow son como sigue:
❑ Sistemas de bomba simple (sin prueba bruta): 5 Torr máx.
❑ Dos bombas (con prueba bruta): 2 Torr máx.
De precisión
–9 –8
EM EM/CF
100 mTorr /
5 Torr
Tabla 2-6 Detector de Fugas 979 Alta Sensibilidad
De precisión
–9 –8
1
EM EM/CF
100 mTorr /
5 Torr
100 mTorr /
2 Torr
Prueba
–7 –6
EM/CF CF**
100 mTorr /
5 Torr 5 Torr
5 Torr
Prueba
–7 –6
2
EM/CF CF
100 mTorr /
5 Torr
5 Torr
100 mTorr /
2 Torr 2 Torr / atm
2 Torr
Bruta (2 bombas)
–5 –4 –3
CF/FB FB***
atm
Bruta (2 bombas)
–5 –4
CF/FB CF/FB
5 Torr
atm
–2 –1
FB FB
atm atm
–3 –2
3
FB FB
atm atm
2-25