Agilent TPS-compact Instrucciones De Uso
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Manuales relacionados para Agilent TPS-compact

Resumen de contenidos para Agilent TPS-compact

  • Página 1 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...

  • Página 3: Tabla De Contenido

    Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l’installazione Set-up Fissaggio del TPS-compact Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Avvio e funzionamento del TPS-compact Soft Start Arresto del TPS-compact Arresto di emergenza Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 4 Warnsymbole Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Anwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TPS-compact Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-compact Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 5 Contents Sanftanlauf Stoppen von Modell TPS-compact Not-Aus Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes Symboles d'avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipements de protection individuelle Consignes de sécurité...
  • Página 6 Contents Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Démarrage et utilisation du TPS-compact Démarrage progressif Arrêt du TPS-compact Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor Nettoyage Élimination Service Instrucciones de uso Acerca del manual Validez Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota...
  • Página 7 Puesta en marcha Montaje de TPS-compact Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-compact Arranque suave Parada del TPS-compact Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor Limpieza Eliminación...
  • Página 8 Contents 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TPS-compact 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 TPS-compact 的启动和运行 慢启动 停止 TPS-compact 紧急停止 维护 转子寿命 清洁 处置 服务 取扱説明書 この説明書について 有効期 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 9 Contents 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 輸送と保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TPS-compact 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け TPS-compact コンパクトの起動と操作 ソフトスタート TPS-compact コンパクトを停止する 非常停止 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 10 Preparation for installation Set-up TPS-compact Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Startup and Operation of the TPS-compact Soft Start Stopping the TPS-compact Emergency stop Maintenance Rotor life Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 11 Contents Cleaning Disposal Service Technical Information Description of the TPS-compact Turbopump Description Controller Description Control Panel Description Scroll Pump Description Technical specification TPS-compact Outline Inlet screen installation High Vacuum Flange Connection Configurations ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware Gas Ballast...
  • Página 12 Window Protocol Description Communication Format Communication Protocol Examples Window Meanings Service Options Tip-Seal Replacement To Remove the Worn Tip-Seals To Install the new Seals and O-Rings To test the Pumping System Troubleshooting Chart Accessories and Spare Parts Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 13: Istruzioni Per L'uso

    Installazione Preparazione per l’installazione Set-up Fissaggio del TPS-compact Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Avvio e funzionamento del TPS-compact Soft Start Arresto del TPS-compact Arresto di emergenza Manutenzione Vita del rotore Pulizia...

  • Página 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti del TPS-compact, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...

  • Página 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 16: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi del TPS-compact. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
  • Página 17 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Pericolo generico Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Marcatura UK CA Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 18: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Página 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio del TPS-compact. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ...

  • Página 20: Attrezzatura Di Protezione

    • Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani. • Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. • Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 21: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni. Il dispositivo TPS-compact non è idoneo all'uso in presenza di gas aggressivi, corrosivi o esplosivi.

  • Página 22: Trasporto & Immagazzinamento

    Istruzioni per l’uso Trasporto & Immagazzinamento Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa. durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non ...

  • Página 23: Descrizione Del Prodotto

    È privo di agenti contaminanti e, quindi, è adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale. Informazioni dettagliate sono fornite nella sezione “Technical Information”.

  • Página 24: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Preparazione per l’installazione Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale; se sono presenti segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul TPS-compact in seguito alla caduta del sistema.

  • Página 25: Set-Up

     TPS-compact umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli componenti del  TPS-compact. In presenza di campi magnetici, il sistema deve essere protetto usando uno schermo per campi magnetici. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 26: Fissaggio Del Tps-Compact

    3 conduttori (Fase+Neutro+Terra). La sezione del cavo deve essere almeno di 0,75 mm (AWG18). Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base, nè tramite altre ATTENZIONE flange che non siano di inlet. Il Sistema deve essere installato in modo da permettere una facile AVVERTENZA interruzione dell’alimentazione.
  • Página 27 (es. Azoto). La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). Non utilizzare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi, AVVERTENZA tossici, infiammabili o radioattivi. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 28: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto

    Se la pompa viene fissata su una camera da vuoto con flange diverse AVVERTENZA da quelle consigliate da Agilent, esiste la possibilità che il TPS ruoti e si distacchi nel caso in cui il rotore si arresti improvvisamente. La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità...

  • Página 29: Installazione Della Flangia Iso-K

    Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 63  4 per la flangia ISO 100  4 per la flangia ISO 160  Stringere i bulloni con una coppia di 22 Nm Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 30: Installazione Della Flangia Conflat

    In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore. Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ATTENZIONE ammaccature sull'involucro della pompa turbomolecolare. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 31: Avvio E Funzionamento Del Tps-Compact

    Verificare la tensione d’ingresso riportata sull’etichetta Agilent incollata allo chassis dell’unità elettronica del sistema. Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa.

  • Página 32: Soft Start

    Fare riferimento ai relativi manuali di istruzioni del controller al fine di AVVERTENZA trovare l'insieme appropriato di istruzioni per attivare la modalità Soft Start (Remoto: Capitolo Informazioni tecniche - Collegamento del controller e significati delle finestre; A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 33: Arresto Del Tps-Compact

    50° C. Arresto di emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare l'interruttore esterno in posizione OFF. Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L'uso AVVERTENZA di questa modalità...

  • Página 34: Manutenzione

    Il TPS-compact non richiede manutenzione (ad eccezione della sostituzione del Tip- seal). Qualsiasi lavoro deve essere eseguito da personale autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent. Se è necessario smaltire un pezzo, assicurarsi che vengano seguite le normative locali per lo smaltimento appropriato.

  • Página 35: Smaltimento

    Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. Figura 5 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 36: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 37: Betriebsanleitung

    Transport und Lagerung Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TPS-compact Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Inbetriebnahme und Betrieb des TPS-compact Sanftanlauf Stoppen von Modell TPS-compact Not-Aus Wartung Rotordauer Reinigung Entsorgung Service Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 38: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der TPS-compact mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Página 39: Definitionen Und Terminologie

    Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein WARNUNG Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 40: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TPS-compact angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Página 41 Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte UK CA-Kennzeichnung Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 42: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Página 43: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TPS-Compact ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als. Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial  Pumpen von ätzenden und oxidierenden Gasen ...

  • Página 44: Schutzausrüstung

    Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem TPS-compact und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen. Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung WARNUNG oder Installation.

  • Página 45: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen

    Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent. Das TPS-Compact ist nicht für den Einsatz in Umgebungen mit aggressiven, korrosiven oder explosiven Gasen bestimmt. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 46: Transport Und Lagerung

    Betriebsanleitung Transport und Lagerung Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen  dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten des...

  • Página 47: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe (TwisTorr 74 FS, Twistorr 305 FS) für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht.

  • Página 48: Installation

    Betriebsanleitung Installation Vorbereitung zum Einbau TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den TPS-compact, die durch Herunterfallen verursacht werden können.

  • Página 49: Einrichten

    Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck  Temperatur: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten des TPS  Relative Luftfeuchtigkeit: siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten  des TPS. Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 50: Montage Von Tps-Compact

    Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TPS-compact kann nur in vertikaler Position installiert werden. Befestigen Sie den TPS-compact in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems. Die Turbopumpe mit ConFlat- und ISO K-Einlassflansch muss mit den entsprechenden Agilent-Teilen an der Vakuumkammer befestigt werden.
  • Página 51 Für die Belüftung der Pumpe staub , partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas VORSICHT (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Verwenden Sie das Pumpsystem nicht in der Nähe von explosiven, WARNUNG giftigen, brennbaren oder radioaktiven Gasen. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 52: Anschluss Des Hochvakuumflansches

    Wenn die Pumpe an einer Vakuumkammer mit Flanschen befestigt ist, die WARNUNG von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der TPS-compact dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen.

  • Página 53: Installation Des Iso-K-Flansches

    Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 63 Flansch  4 für ISO 100 Flansch  4 für ISO 160 Flansch  Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 22 Nm an. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 54: Installation Des Conflat-Flansches

    Flansch herausragenden Schraubengewinde aufgetragen werden. In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden. Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Dellen VORSICHT am Turbomolekularpumpengehäuse zu vermeiden. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 55: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Tps-Compact

    Modus. Ausführliche Informationen zu diesem Modus finden Sie im entsprechenden Abschnitt. Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be-triebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb;...

  • Página 56: Sanftanlauf

    Fett wieder richtig verteilt wird. Informationen zum Aktivieren der Softstart-Modalität finden Sie in den WARNUNG entsprechenden Bedienungsanleitungen des Controllers. (Fern: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 57: Stoppen Von Modell Tps-Compact

    Betriebsanleitung Stoppen von Modell TPS-compact Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems. Bevor Sie Arbeiten an der Anlage ausführen, trennen Sie diese von der WARNUNG Stromversorgung, entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil,...

  • Página 58: Wartung

    Betriebsanleitung Wartung Die TPS-compact ist wartungsfrei (außer der Austausch des Tip-seal). Alle Arbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden. Bei Defekten kann der Agilent Service. Wenn ein System verschrottet werden muss, stellen Sie sicher, dass die örtlichen Vorschriften für eine angemessene Entsorgung befolgt werden.

  • Página 59: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 10 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 60: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 61: Mode D'emploi

    Préparation pour l’installation Configuration Montage du TPS-compact Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Démarrage et utilisation du TPS-compact Démarrage progressif Arrêt du TPS-compact Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor Nettoyage Élimination...

  • Página 62: À Propos De Ce Manuel

    À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs du TPS-compact, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à l’utilisateur.

  • Página 63: Définitions Et Terminologie

    Les messages d’avertissement attirent l’attention de l’opérateur sur AVERTISSEMENT une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n’est pas effectuée correctement, peut entraîner de graves blessures. Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 64: Symboles D'avertissement

    Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TPS-compact. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
  • Página 65 étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Marquage UK CA Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 66: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...

  • Página 67: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TPS-compact. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...

  • Página 68: Équipements De Protection Individuelle

    En règle générale, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité pendant la manipulation du TPS-compact et pendant son installation. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.

  • Página 69: Consignes De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires

    En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations. Le TPS-compact n’a pas été conçu pour être utilisé en présence de gaz agressifs, corrosifs ou explosifs. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 70: Transport Et Entreposage

    Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la ATTENTION pompe doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. Faire très attention lors de la manutention de pièces lourdes.

  • Página 71: Description Du Produit

    La pompe est exempte d’agents contaminants et, par conséquent, adaptée aux applications nécessitant un vide « pur ». Le TPS-compact est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle.

  • Página 72: Installation

    Mode d’emploi Installation Préparation pour l’installation TPS-compact est fourni dans un emballage de protection spécial. Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur le TPS-compact qui seraient causés par la chute.

  • Página 73: Configuration

    : 2 bars au-delà de la pression atmosphérique  température : consulter les manuels des composants du TPS-compact  humidité relative : consulter les manuels des composants du TPS-compact  En présence de champs magnétiques, le système de pompage doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.

  • Página 74: Montage Du Tps-Compact

    Câble d’alimentation : le cable destine au raccordement électrique doit avoir trois conducteurs (Phase+Neutre+Terre). La section du cable doit être de 0,75 mm² minimum (AWG18). Le TPS-compact ne peut pas être fixé par sa base ni par des brides autres que ATTENTION celles d’entrée.
  • Página 75 (Ex. azote). La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique). Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz explosifs, AVERTISSEMENT toxiques, inflammables ou radioactifs. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 76: Raccordement De La Bride À Vide Élevé

    AVERTISSEMENT brides différentes de celles recommandées par Agilent, le TPS-compact risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d’une mauvaise fixation.

  • Página 77: Installation De La Bride Iso-K

    Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 63  4 pour la bride ISO 100  4 pour la bride ISO 160  Serrez les boulons au couple de 22 Nm. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 78: Installation De La Bride Conflat

    Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur. Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter ATTENTION de créer des bosselures sur le boitier de la pompe turbomoléculaire. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 79: Démarrage Et Utilisation Du Tps-Compact

    « Démarrage progressif » ; pour plus d’informations sur ce mode, reportez-vous à la section dédiée. La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la base du TPS-compact indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système :...

  • Página 80: Démarrage Progressif

    (À distance : Chapitre Informations techniques – Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques – Interconnexions et significations des fenêtres). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 81: Arrêt Du Tps-Compact

    Mode d’emploi Arrêt du TPS-compact Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement le système de pompage. Avant d’effectuer des travaux sur le système, le mettre hors tension, AVERTISSEMENT purger la pompe avec la valve de purge, attendre que le rotor soit complètement arrêté...

  • Página 82: Entretien

    (nombre de cycles de montée de l'arrêt à la pleine vitesse et retour à l'arrêt). Par mesure de précaution, compte tenu de l'utilisation typique de la pompe et des limites de sécurité, Agilent recommande de la remettre en service après 17 ans d’utilisation pour l’entretien.

  • Página 83: Élimination

    Figure 15 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 84: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 85: Instrucciones De Uso

    Puesta en marcha Montaje de TPS-compact Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-compact Arranque suave Parada del TPS-compact Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor Limpieza Eliminación...

  • Página 86: Acerca Del Manual

    Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba TPS-compact, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Página 87: Definiciones Y Terminología

    Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 88: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba TPS-compact. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Página 89 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Peligro genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca UK CA Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 90: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Página 91: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto del TPS-compact. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ...

  • Página 92: Equipo De Protección

    Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo. En general, el operador debe usar zapatos antiaccidentes durante la instalación y manipulación de la bomba TPS-compact. Peligro para la salud debido a la presencia de sustancias peligrosas ADVERTENCIA durante el mantenimiento o la instalación.

  • Página 93: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    En caso de que surja la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información. El dispositivo TPS-compact no es adecuado al uso en presencia de gases agresivos, corrosivos o explosivos. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 94: Transporte Y Almacenamiento

    Instrucciones de uso Transporte y almacenamiento Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación. durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no ...

  • Página 95: Descripción Del Producto

    Está libra de agentes contaminantes y, por tanto, es adecuada para aplicaciones que requieran un vacío "limpio". El TPS-compact posee conectores auxiliares con los que se puede pilotearlo a distancia mediante un ordenador host conectado a través de línea serial.

  • Página 96: Instalación

    Utilice guantes u otra protección adecuada siempre. Figure 16 La exposición normal al ambiente no puede dañar el TPS-compact. Sin embargo, es NOTA aconsejable mantenerla sellada en su bolsa de plástico hasta que esté instalada en el sistema, evitando así...

  • Página 97: Puesta En Marcha

    Durante el funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica  temperatura: consultar los manuales de cada componente del TPS-compact  humedad relativa: consultar los manuales de cada componente del ...

  • Página 98: Montaje De Tps-Compact

    El TPS-compact solo se puede instalar en posición vertical. Fije el TPS-compact en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida.
  • Página 99 (por ej.: nitrógeno). La presión de entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares (por encima de la presión atmosférica). No utilice el sistema de bombeo en presencia de gases explosivos, ADVERTENCIA tóxicos, inflamables o radiactivos. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 100: Conexión De La Brida De Alto Vaciado

    Si la bomba está fijada a una cámara de vacío con bridas diferentes a ADVERTENCIA las recomendadas por Agilent, es posible que el TPS-compact se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará...

  • Página 101: Instalación De La Brida Iso-K

    Figura 18 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 63  4 para brida ISO 100  4 para brida ISO 160  Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 102: Instalación De La Brida Conflat

    En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior. Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la PRECAUCIÓN carcasa de la bomba turbomolecular Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 103: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Tps-Compact

    Instrucciones de uso Puesta en marcha y funcionamiento de TPS-compact Controlar la tensión de entrada presente en la etiqueta Agilent fijada al chasis de la unidad electrónica del sistema. Para encender el TPS-compact a través de los controladores abordo o los mandos a distancia, conecte la bomba al controlador, proporcione la tensión de...

  • Página 104: Arranque Suave

    Consulte los manuales de instrucción correspondientes del controlador ADVERTENCIA para encontrar las instrucciones adecuadas para activar el modo de arranque suave (Remote: Chapter Technical Information – Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 105: Parada Del Tps-Compact

    Instrucciones de uso Parada del TPS-compact Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene inmediatamente el sistema de bombeo. Antes de realizar cualquier trabajo en el sistema, desconecte de la ADVERTENCIA fuente de alimentación, descargue la bomba con la válvula de descarga, espere hasta que el rotor esté...

  • Página 106: Mantenimiento

    Agilent recomienda devolver el sistema después de 17 años de uso para mantenimiento. Limpieza La superficie exterior de la superficie exterior del TPS-compact puede ser limpiada con detergente suave solamente puede ser limpiada con detergente suave solamente. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 107: Eliminación

    Se invita al usuario final a comunicarse con el proveedor del dispositivo, ya sea directamente con la Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 20 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 108: Servicio

    Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 109: 使用说明

    使用说明 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护设备 涡轮分子泵安全指南 运输及存储 产品描述 安装 安装准备 设置 TPS-compact 的安装 高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装 TPS-compact 的启动和运行 慢启动 停止 TPS-compact 紧急停止 维护 转子寿命 清洁 处置 服务 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 110: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 TPS-compact用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意 事项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 TPS-compact 的人员可以安全操作，在 设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 111: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 112: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 TPS-compact 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的 危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 欧洲符合性声明 请勿触摸 保护接地端子 表示危险电压 表面较热 一般危险 电源关闭 电源开启 生产现场 有害物质认证限制 UK CA 打標 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 113 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。. 一般危险 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 UK CA 打標 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 114: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2006/42/EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 115: 使用不当

    (Agilent Technologies)不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装泵  泵送氧化性、腐蚀性气体，但没有适当的废液排空  泵送爆炸气体  泵送冷凝蒸汽  泵送液体  泵送粉尘  气体产量过高的情况下作业  前真空压力过高的情况下作业  使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作  高热输入运行  磁场过高的情况下作业  使用过高的通⻛速率进行通⻛  使用真空泵来产生压力  在电离辐射区域运行设备  在潜在爆炸区作业  明知系统会受其影响，依然在应力和振动导致周期性重复出现冲击和力作用的  环境中使用系统. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 116: 防护设备

    使用说明 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作TPS-compact时和安装过程中必须穿防事故鞋。 警告 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 117: 涡轮分子泵安全指南

    使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 涡轮分子泵安全指南 以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有 特定质量。 在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置 （見段落“ConFlat 法兰的安装” “ISO-K 法兰的安装”）。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说 警告 明！ 当使用泵抽吸有毒、易燃或放射性气体时，请遵循每种气体处理所需的程 警告 序。该泵旨在泵送高吞吐量的 N2 Ar 和较轻的气体. 如果您需要泵送比氩气 Ar 重的气体，请联系安捷伦技术支持以获取信息。 TPS-compact 不适用于存在侵略性、腐蚀性或爆炸性气体的环境. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 118: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷 凝的情况. 运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件:  温度范围：参考单个TPS-compact组件手册  相对湿度范围：参考单个TPS-compact组件手册  涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动.  涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动.  如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷伦真空销 小心 售和服务代表以了解相关信息。 处理重部件时要格外小心。建议两人一起将其抬起。 警告 如果未在两人一起抬起的情况下进行操作，可能会导致人身伤害。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 119: 产品描述

    使用说明 产品描述 TPS-compact 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够泵送任何类 型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。 TPS-compact 是一個帶有渦輪分子泵的集成系統 （TwisTorr 74 FS、Twistorr 305 FS） 適用於與其相關控制器及其主泵相關的高真空和超高真空應用。該系統可以泵送任何 類型的氣體或氣體化合物。不適用於泵送液體或固體顆粒. 泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 70000 rpm）获得。它不含污染 剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。 TPS-compact 还具有辅助连接器，通过它可以 通过主机远程驱动它 通过串行线 连接。 详细信息可参考"技术信息"章节。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 120: 安装准备

    使用说明 安装 安装准备 TPS-compact 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹 象，请联系您当地的销售办事处。 避免因放下 TPS-compact造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以便在存放时间过 ⻓或运输时重复使用。 请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令 94/62号和随后颁布的修正案。. 为防止出现脱气问题，请勿赤手操作 会暴露在真空中的组件。始终使用手套或 其 小心 他适当的保护措施. 图 21 正常暴露于环境中不会损坏 TPS-compact。不过，还是建议将其密封在塑料袋 注意 中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 121 使用说明 设置 在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。 小心 图 22 仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气 体或爆炸性环境或高火灾⻛险的环境中使用泵。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝： 最大压力：高于大气压 2 bar  温度：参考单个TPS-compact组件手册  湿度范围：参考单个TPS-compact组件手册.  在存在磁场的情况下，必须使用 铁磁屏蔽来保护泵送系统. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 122: Tps-Compact 的安装

    使用说明 TPS-compact 的安装 如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离，从而 警告 导致财产损失或严重伤害或死亡。 TPS-compact 只能安装在垂直位置。 TPS-compact可安装在任何位置。将TPS-compact固定在稳定位置，将涡轮泵的进 气法兰安装到系统对接法兰上。 带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室 上。 有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 电源线：正确的电线电缆是三芯 (Ph+N+Earth) 电缆。电线截面必须至少为 0.75 mm (AWG18). TPS-compact 不能通过其底座或其他非入口法兰固定。 小心 警告 系统必须以能够轻松中断线路电压的方式进行安装 确保系统周围至少有 20 厘米的自由空间，以允许适当的空气流通. 小心 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 123 使用说明 有关可选附件的安装，请参见“技术信息”章节。 本段详细介绍了基本操作程序。 在使用系统之前，进行所有电气和气动连接。在加热真空室时，入口法兰的温度不 得超过 120°C（使用 ConFlat 法兰）和 80°C（使用 ISO 法兰） 警告 当涡轮进气法兰未连接到真空室或未封闭时，切勿使用泵系统。 警告 请勿在加热过程中接触涡轮分子泵或其任何附件。高温可能会导致灼伤 警告 避免泵在运行时受到冲击或发生剧烈运动。轴承可能会损坏，并可能对人体或物 品造成损害. 使用不含灰尘、颗粒或湿气的惰性气体（如氮气）为泵排气。排气口的压力必须 小心 小于 2 bar（高于大气压） 警告 不要在存在爆炸性、有毒、易燃或放射性氣體的情況下使用泵系統。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 124: 高真空法兰的连接

    使用说明 高真空法兰的连接 如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。 螺栓或硬件必须符合以下规格。. 必須以能夠承受“TPS-compact 的安装”部分中指定的扭矩的方式連接泵。 警告 特別注意卡箍的設計、卡箍和螺栓的材料和螺栓固定扭矩 仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。 如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然停止 警告 时，TPS-compact 将会有 扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组 合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 125: Iso-K 法兰的安装

    使用说明 ISO-K 法兰的安装 对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个 法兰（可选使用保护屏）。 图 23 使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 63 法兰  4 表示 ISO 100 法兰  4 表示 ISO 160 法兰  用22 Nm的扭矩拧紧螺栓 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 126 使用说明 ConFlat 法兰的安装 对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使用保护屏）。 图 24 使用所需数量的螺钉： 16 表示CFF 6”  20 表示 CFF 8”  连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭 矩拧紧螺钉。 对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。 为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上以 及螺母与法兰之间的螺纹上。 在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。 擰緊螺母和螺栓時要小心，以免在渦輪分子泵殼上產生凹痕。 小心 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 127 使用说明 TPS-compact 的启动和运行 检查粘贴在 Agilent 标签上的输入电压 到系统电子单元的底盘。 如要启动TPS-compact，只需提供主电源、再将外部开关移到ON位置就可以了。集 成控制器会自动识别主电源并启动泵. 警告 TwisTorr 305 FS 泵的初始启动将处于“软启动”模式； 有关此模式的详细信 息，请参阅其专用章节. 位于TPS-compact底座后面板上的蓝色LED灯“STATUS”以其闪烁频率指示系统运行 状况: 无闪烁：泵正常旋转;  慢闪（周期约400 ms）：系统处于斜坡、制动、停止或“等待联锁”的状态;  快速闪烁（周期约200 ms）：错误状态.  有关TPS-compact控制面板的详细说明，请参见附录的“技术信息”章节. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 128 使用说明 慢启动 为确保泵轴承的正确润滑，在第一次加速时，泵必须在"慢启动"模式下启 动。 警告 这种启动方式（慢启动）可确保泵平稳地达到转速，并对轴承进行适当的 润滑。 连接到泵的控制单元具有运行泵的默认设置 （仅在第一次启动控制单元时）。 如果将新泵与使用过的控制单元一起使用，请记住手动设置慢启动模式。 与标准启动相比，慢启动模式需要更⻓的时间;用户必须等待泵完全达到转 速，然后才能停止泵。 第一次启动后，控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵。 长时间不活动（60 天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂， 注意 有必要通过慢启动模式再次启动泵。 请参阅控制器的相关说明手册，以找到激活"慢启动"模式的适当说明集（远 警告 程：技术信息-控制器连接和窗口含义的章节;板载：技术信息-互连和窗口含 义的章节）。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 129: 停止 Tps-Compact

    使用说明 停止 TPS-compact 如要关闭TPS-compact，将外部开关移到OFF位置就可以了。集成控制器会立即停 止泵送系统。。 在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，在转子 警告 完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。 紧急停止 如要在紧急情况下立即停止TPS-compact，必须从电源插头上拔下电源线或将外部 开关移至OFF位置。 此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/或损 警告 坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 130: 转子寿命

    使用说明 维护 TPS-compact 不需要任何维护（除了更换尖端密封件）。任何工作必须由授权人员 进行。 如果出现故障，请联系您当地的安捷伦服务中心. 如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置. 转子寿命 渦輪分子泵轉子的抗疲勞性在很大程度上取決於泵的尺寸。有關正確值（從停止到 全速再到停止的加速循環數），請參閱特定的泵手冊。 考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年 后退回泵以进行维护。 清洁 TPS-compact的外表面只能用温和的清洁剂清洁. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 131 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 25 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 132 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 133: 取扱説明書

    取扱説明書 取扱説明書 この説明書について 有効期 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 輸送と保管 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ TPS-compact 実装 高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付け TPS-compact コンパクトの起動と操作 ソフトスタート TPS-compact コンパクトを停止する 非常停止 メンテナンス ローターの寿命 クリーニング 処分 サービス Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 134: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、TPS-compact の使用方法を ユーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認ください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 TPS-compact を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命 注 中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 135: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能 注意 性を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害 警告 につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示 しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を 注 提供しています。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 136: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、TPS-compact上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の 説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： CE適合宣言書 保護接地端子 触らないでください 危険な電圧 高温の表面 包括的な危険 製造所 電源オフ 電源オン EU RoHS指令認証 UK CAマーキング Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 137 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。. 包括的な危険 CE認証 CSA 認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 UK CAマーキング Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 138: 安全性

    取扱説明書 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監 督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みま す。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 139: 不適切な使用

    を負いません。 不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切 な使用は下記の通り定義されます： 不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け  適切な廃棄フローの排出なしに、酸化性ガス、腐食性ガスを汲み上げること.  爆発性のガスをポンプすること  凝縮した蒸気をポンプすること  液体をポンプすること  粉末をポンプすること  不適切な高ガス量での操作  不適切な高圧補助真空での操作  実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操作  高レベルの入熱での操作  不適切な高い磁界での操作  不敵な高い通気率での通気  圧力を生じさせるための真空ポンプの使用  電離放射線の範囲内での機器の操作  潜在的に爆発性がある範囲での操作  圧力と振動が、システムに影響を与える定期的に繰り返される衝撃と力につ  ながる環境でシステムを使用すること. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 140: 保護用装備

    取扱説明書 保護用装備 ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、 実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。 更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従う ものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は TPS-compact を操作している時や取り付けの時に事故防止 の靴を着用しなくてはなりません。 警告 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 装置の落下による損傷のリスク。 警告 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ ればなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 141: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン

    • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定 の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。 ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されて いるどの部分へも放出されています （セクションを参照 “ConFlatフランジの取 り付け” と “SO-K フランジの取り付け” （セクションを参照 “ConFlatフラン ジの取り付け” と “ISO-K フランジの取り付け”）。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された 警告 取り付けの指示に厳密に従ってください！ 有毒ガス、可燃性ガス、または放射性ガスをポンプするためにポンプを使 警告 用する場合は、各ガス処理に必要な手順に従ってください。ポンプは、 N2 Ar とより軽いガスの高スループットをポンプするように設計されてい ます. Ar より重いガスをポンプする必要がある場合は、詳細情報に関して Agilent の技術サポートへお問い合わせください. TPS-compact コンパクトは、侵襲性、腐食性、または爆発性のガスが存 在する環境での使用を想定していません。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 142: 輸送と保管

    取扱説明書 輸送と保管 アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮 を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません： ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過してはいけません：  温度範囲： 単一TPS-compactコンポーネントのマニュアルを参照してく  ださい 相対湿度範囲：単一TPS-compactコンポーネントのマニュアルを参照し  てください お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ分子ポンプ  は常にゆっくりと開始されなければなりません. ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは常にゆっく  りと開始されなければなりません. もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場へ返送さ 注意 れなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報を お問い合わせください。 重い部品の取り扱いには細心の注意を払ってください。 持ち上げる場合 警告 は、2 人で行うことを推奨します。 2 人で持ち上げない場合、怪我をする可能性があります。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 143: 製品説明

    取扱説明書 製品説明 この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TPS-compactは、ターボ分子ポンプを備えた統合システムです（TwisTorr 74 FS、 Twistorr 305 FS）関連するコントローラーとプライマリポンプに関連する高真空お よび超高真空アプリケーション用。このシステムは、あらゆるタイプのガスまたは ガス化合物をポンプで送ることができます。液体や固体粒子のポンピングには適し ていません. ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大70000 rpm） により得られます。 汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。 TPS-compactには、シリアル回線を介して接続されたホストコンピュータを使用 してリモートサイトから制御される補助コネクタが装備されています。 より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 144: 取り付け

    取扱説明書 取り付け 取り付けの準備 TPS-compactは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこれに輸送中 に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお問い合わせ ください。 落下等によるTPS-compactへの突然の衝撃は避けてください。長期間の保存また は輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意ください。 許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は100% リサイ クルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。. ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取り扱わな 注意 いでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。ガス放出 の問題を防ぐために、真空にさらされるコンポーネントを素手で取り扱わない でください。 常に手袋やその他の適切な保護具を使用してください. 图 26 通常環境への露出は、TPS-compact を損傷しません。しかしながら、ちり・ホコ 注 リによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるまでビニール の袋に密閉して保管することが推奨されます。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 145: セットアップ

    取扱説明書 セットアップ システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保護キャッ 注意 プを取り外さないでください。 图 27 この機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、 雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性があ る環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください. 操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません： 最大圧力： 大気圧より2バール上  温度： 単一TPS-compactコンポーネントのマニュアルを参照してください  相対湿度：単一TPS-compactコンポーネントのマニュアルを参照してください  磁場が存在する環境下では、 ポンプシステムは強磁性シールドを使用して保護す る必要があります. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 146: Tps-Compact 実装

    これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際にシ 警告 ステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受 けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。 TPS-compactは、垂直位置にのみ取り付けることができます。 TPS-compactを安定した位置に固定し、ターボポンプのインレットフランジをシ ステムのカウンターフランジに取り付けます。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウ ェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。 更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。 電源コード： 電気配線用の正しいケーブルは、3線（Ph + N + Earth）ケーブルで す。 線の部分は、少なくとも0.75 mm (AWG18) ある必要があります。 TPS-compact は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して固 注意 定することはできません。 警告 システムは、線間電圧を簡単に遮断できるように設置する必要があります. TPS-compact は、その基部またはインレットではない他のフランジを介して固 注意 定することはできません。 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 147 取扱説明書 オプションの付属品の取り付けについては、「技術情報」を参照してください。 この段落では、基本的な操作手順について詳しく説明します。 システムを使用する前には、すべての電気空気圧接続を行ってください。真空チ ャンバーを加熱している間、インレットフランジの温度は、ConFlatフランジで 120 °C、ISOフランジで80 °Cを超えてはいけません。 ターボインレットフランジが真空チャンバーに接続されていないか、また 警告 は空になっていない場合は、ポンプシステムを使用しないでください。 加熱プロセス中は、ターボポンプまたはその付属品に触れないでくださ 警告 い。 高温により火傷する可能性があります。 操作中のポンプは、衝撃や激しい動きを避けてください。 ベアリングが破 警告 損したり、人への損傷や物が破損したりする可能性があります。 ポンプに放出するには、ほこり、粒子、または湿気（窒素など）のない不活性 注意 ガスを使用してください。ベントポートの圧力は 2 バール未満（大気圧以上） でなければいけません. 爆発性、有毒、可燃性、または放射性ガスの存在下でポンプシステムを使 警告 用しないでください。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 148: 高真空フランジの接続

    取扱説明書 高真空フランジの接続 もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを 留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。 ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません. 必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法でポ 警告 ンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、材料、ボ ルト、ボルトの固定トルクに注意してください。 “TPS-compact 実装”のセクションで指定されたトルクに耐えられるよう にポンプを接続する必要があります。特にクランプの設計、クランプとボ ルトの材質、ボルトの固定トルクに注意してください。 高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。 もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空チェ 警告 ンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に TPS-compact がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なる フランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切な 締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いません。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 149: Iso-K フランジの取り付け

    取扱説明書 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデル IC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプションとし て保護スクリーンを使用できます）。 图 28 必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 63 フランジ – 4個  ISO 100 フランジ – 4個  ISO 160 フランジ – 4個  22 Nmのトルクでボルトを締めます。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 150: Conflat フランジの取り付け

    取扱説明書 ConFlat フランジの取り付け ConFlat フランジの接続には、 下記の図に示される通り、2つのフランジをネジで固 定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。 图 29 必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個  CFF 8” – 20個  ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合うまで引き続き 締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締めます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨 します。 組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温潤滑剤をフ ランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間へ注入できます。 場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。 ターボ分子ポンプのケーシングにへこみが生じないように、ナットとボルトを 注意 締めるときは注意してください。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 151: Tps-Compact コンパクトの起動と操作

    取扱説明書 TPS-compact コンパクトの起動と操作 システム電子ユニットのケースに貼られているAgilentラベルのシステム電圧を確 認します。 TPS-compactコンパクトをオンに切り替えるには、主電源を供給してから、外部 のスイッチをオンの位置に動かすだけで十分です。 統合コントローラーは、主電 源の存在を自動的に認識し、ポンプを起動します。 TwisTorr 305 FS ポンプの最初の起動は「ソフトスタート」モードになり 警告 ます； このモードの詳細については、該当するセクションを参照してくだ さい。 TPS-compactコンパクトベースのリアパネルに表示される青色のLED「状態」 は、点滅する頻度でシステムの動作状態を示します： 点滅がない： ポンプは正常に回転しています；  ゆっくりと点滅 (約400ミリ秒の間隔)：システムがランプ中、ブレーキ中、停  止中、または「インターロックを待機中」の状態です; 速く点滅 (約200 ミリ秒の間隔)： エラー状態.  TPS-compact コンパクトのコントロールパネルの詳細説明については、付録「技 術情報」を参照してください。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 152: ソフトスタート

    ソフトスタート 最初のランプアップの際に、ポンプの軸受の適切な潤滑油を確保するに 警告 は、ポンプは「ソフトモード」で開始されなければなりません。 この開始モダリティ（ソフトスタート）は、ポンプの速度を円滑にし、 軸受の適切な潤滑を可能にします。 ポンプに接続されているコントロールユニットは、既にデフォルトによ りポンプを作動するようセットアップされています。 （初回コントロールユニットの起動のみ）。 使用済みのコントロールユニットで新しいポンプを使用する場合には、 手動でソフトスタートモードを設定することを忘れないでください。 ソフトスタートモードは、標準の起動開始よりも時間がかかります；使 用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなけ ればなりません。 初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタ ートモードにはなりません。 長期間の不稼働状態（60 日間またはそれ以上）の後、軸受に残存している潤滑 注 油の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモードでポンプを開始 する必要があります。 ソフトスタート」モダリティを有効にする一連の適切な使用方法を探すに 警告 は、コントローラーの関連する説明マニュアルを参照してください（リモ ートについて： 技術的情報の章 – コントローラー接続 & ウィンドウの意 味；搭載について ；技術的情報の章 – 相互接続 & ウィンドウの意味）。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 153: Tps-Compact コンパクトを停止する

    取扱説明書 TPS-compact コンパクトを停止する TPS-compactコンパクトをオフにするには、外部のスイッチをオフの位置に動かす だけで十分です。 統合コントローラーは、ポンプシステムを即座に停止します. システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気弁でポ 警告 ンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。 非常停止 緊急時にTPS-compactコンパクトをただちに停止するには、電源ケーブルを主電源 プラグから抜くか、または外部のスイッチをオフの位置に動かす必要があります. これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使用 警告 は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モ ードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 154: メンテナンス

    取扱説明書 メンテナンス TPS-compact はいかなるメンテナンスも必要ではありません （チップシールの 交換を除く）。いかなる作業も有資格者によって実施されなければなりません もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従う ようご確認ください. ローターの寿命 ターボ分子ポンプローターの耐疲労性は、ポンプのサイズに強く依存します。正 しい値（停止から全速力へのランプアップおよび停止への復帰のサイクル数）に ついては、特定のポンプのマニュアルを参照してください。 予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレン トは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します。 クリーニング TPS-compactコンパクトの外面は、中性洗剤のみ使用して掃除できます。. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 155 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 30 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 156: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されていま す）。 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 157: Instructions For Use

    Product description Installation Preparation for installation Set-up TPS-compact Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Startup and Operation of the TPS-compact Soft Start Stopping the TPS-compact Emergency stop Maintenance Rotor life Cleaning Disposal...

  • Página 158: About This Manual

    Instructions for Use About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TPS-compact, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.

  • Página 159: Definitions And Terminology

    Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 160: Warning Symbols

    Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TPS-compact. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
  • Página 161 When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information. Generic hazard CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 162: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Página 163: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TPS-compact. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ...

  • Página 164: Protective Equipment

    In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the TPS-compact and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.

  • Página 165: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    The pump is designed to pump high throughput of N2, Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for informations. The TPS-compact is not intended to be used in presence of aggressive, corrosive or explosive gases. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 166: Transport & Storage

    Instructions for Use Transport & Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation. when shipping, moving and storing pumps, the following environmental ...

  • Página 167: Product Description

    It is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The TPS-compact is equipped with auxiliary connectors to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line.

  • Página 168: Installation

    Installation Preparation for installation The TPS-compact is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the TPS-compact that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.

  • Página 169: Set-Up

     temperature: refer to the manuals of the single TPS-compact components  relative humidity: refer to the manuals of the single TPS-compact components.  In the presence of magnetic fields the pumping system must be protected using a ferromagnetic shield.

  • Página 170: Tps-Compact Mounting

    Power supply cord: The correct cable for electrical wiring is a three wires (Ph+N+Earth) cable. The wire section has to be at least 0.75 mm (AWG18). The TPS-compact cannot be fixed by means of its base or through other flanges CAUTION that are not inlet.
  • Página 171 Use inert gas free from dust, particles or humidity (like Nitrogen) for CAUTION! venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). Do not use the pumping system in presence of explosive, toxic, WARNING! fiammable or radioactive gases. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 172: Connection Of The High Vacuum Flange

    Agilent, there is the chance of the TPS-compact twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening.

  • Página 173: Installation Of Iso-K Flange

    Figure 33 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 63 flange  4 for ISO 100 flange  4 for ISO 160 flange  Tighten the bolts with a torque of 22 Nm. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 174: Installation Of Conflat Flange

    In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Be careful when tightening nuts and bolts to avoid creating dents on the CAUTION! turbomolecular pump casing. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 175: Startup And Operation Of The Tps-Compact

    Check the system voltage on the Agilent label stuck on the system electronic units case. To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position. The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump.

  • Página 176: Soft Start

    Please refer to the controller’s relevant instruction manuals in order to find WARNING the appropriate set of instructions to activate the “soft start” modality (Remote: Chapter Technical Information – Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information – Interconnections & Window Meanings). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 177: Stopping The Tps-Compact

    Instructions for Use Stopping the TPS-compact To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the external switch to OFF position. The integrated controller immediately stops the pumping system. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the power...

  • Página 178: Maintenance

    Agilent recommends to return the system after 17 years of use for maintenance. Cleaning The exterior surface of the TPS-compact may be cleaned with mild detergent only. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 179: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 35 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 180: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 181: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TPS-compact Turbopump Description Controller Description Control Panel Description Scroll Pump Description Technical specification TPS-compact Outline Inlet screen installation High Vacuum Flange Connection Configurations ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware Gas Ballast Interconnections Input Power Connector P3 –...

  • Página 182: Description Of The Tps-Compact

    Technical Information Description of the TPS-compact The TPS-compact pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in twenty-four models which differ in the TPM size, high vacuum flange and voltage. The models are:...
  • Página 183 TwisTorr 74 FS or Integrated electronic Scroll pump TwisTorr 305 FS pump controller Integrate air cooling turbopump Scroll pump exhaust Pressure display indicator Figure 36 System venting Main switch & RS-232 - I/O interface Main socket Figure 37 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 184: Turbopump Description

    The controller recognizes the mains presence and converts the single phase AC mains supply into a 3-phase, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 185: Control Panel Description

    Technical Information Control Panel Description The following picture shows the TPS-compact control panel; the associated table lists the available commands. For a detailed description see the following paragraphs. Figure 38 Table 2 Control name Description J5 IN-OUT Input-output connector to remote control the TPS-compact...

  • Página 186: Scroll Pump Description

    Technical Information Scroll Pump Description The TPS-compact internal scroll creates vacuum using a simple dual scroll mechanism in which one of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas. Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted.

  • Página 187: Technical Specification

    Technical Information Technical specification The following tables list the main technical data of the TPS-compact. Table 3 TPS-compact Technical Specification Characteristic 305 FS 74 FS Pumping speed : 250 l/s : 48 l/s (with inlet screen) He 255 l/s He: 44 l/s (with inlet screen)
  • Página 188 -20°C to + 60°C Weight kg (lbs) 20.1 (44.3) 16.7 (36.8) When the TPS-compact has been stored at a temperature less than 5 °C, wait until NOTE the TPS-compact has reached the above mentioned temperature before switch the system on.

  • Página 189: Tps-Compact Outline

    Technical Information TPS-compact Outline The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. 74 FS 305 FS Dimensions: millimeters (inches) Figure 40 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 190 Technical Information TPS-compact equipped with 305 FS: Pumping speed for Nitrogen. Figure 41 Graph of pumping speed vs inlet pressure at full speed (1010Hz driving freq.) Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 191 Technical Information Figure 42 Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact 305 FS: 15l pumpdown Figure 43 Graph of pressure vs time (w/o soft start)* * Measurement obtained using both capacitive and UHV gauges Shape of curve in the range 1.0E-3 mbar – 1.0E-5 mbar is strongly affected by the type of gauge used and its accuracy.

  • Página 192: Inlet Screen Installation

    Inlet screen installation Installing the inlet screen will reduce the pumping speed of heavy gases (i.e. Argon, Nitrogen) of about 25% while for lighter gases (i.e. Helium and Hydrogen) the amount is of about 10%. Figure 45 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 193 The inlet screens mod. 9699300, 9699309, 9699302 and 9699303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 47 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 194 Technical Information The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 48 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 195: High Vacuum Flange Connection Configurations

    Technical Information High Vacuum Flange Connection Configurations Figure 49 Figure 50 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 196: Asdf - Adaptive Scroll Driving Firmware

    Technical Information ASDF – Adaptive Scroll Driving Firmware TPS-compact implements a function that safeguards the life of the scroll pump Tip- seal. The function is described in the diagram below where P is the turbomolecular pump power. Inlet gas load is monitored measuring the turbomolecular absorbed power. A power...
  • Página 197 Technical Information Figure 51 Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 198: Gas Ballast

    Technical Information Gas Ballast The TPS-compact packaging includes a standard gas ballast kit (P/N IDP3GBKIT) that can be used to prevent water and other condensates from accumulating within the foreline pump. The standard configuration has a seal screw installed in the 1/4-20 thread in the top of the exhaust manifold.
  • Página 199 Do not exceed 2.8 Nm of torque when installing the adapter into the manifold. CAUTION For more details about gas ballast refer to the manuals of the single TPS-compact components. Use the provided adapter and 1/8" NPT sintered filter plug in order to avoid CAUTION dust entrance.

  • Página 200: Interconnections

    Figure 55 P3 – Vent Figure 56 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 201: Gauge Connector

    Technical Information Figure 57 Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge). FRG-700 measure from 5x10-9 mbar to atmosphere (3.8x10-9 Torr to atmosphere) and its temperature range goes from 5 °C to 55 °C [41 °-131 °F].

  • Página 202: Pressure Display Module

    Technical Information Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-compact during normal operation Figure 58 Gauge Connector Pressure Display Module PRESSURE mBar Torr Figure 59 Pressure display module Figure 60 FRG-700 gauge dimension Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 203: J5 - In-Out

    +24 Vdc Imax = 30 mA NORMAL OUTPUT (relay contact) Vmax = 125V Imax = 200 mA PROGRAMMABLE SET POINT NORMAL OUTPUT (relay contact) FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) • GROUND • PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 204: Signal Description

    100 Hz +/-20 %  amplitude: 24 V max  duty cycle range: from 25 % to 75 %  corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1167Hz (see the  following diagram). Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 205 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The de-fault setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 63 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 206 Technical Information Output: Power setting Voltage (V) Figure 64 Output: Temperature setting Voltage (V) Figure 65 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 207 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency  threshold: 867 Hz  hysteresis: 2 %  activation type: "high level"  Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 208  thereshold: 867 Hz  hysteresis: 2 %  activation type: high level  delay time: 0 second  The A-Plus Software (optional) allows the operator to set all the programmable NOTE feature. Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 209: How To Connect The Open Collector Input Of The Controller

    24 Vdc. the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 30 mA, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 68 Case 1 Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 210 Technical Information Figure 69 Case 2 with relay utilisation Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 211 Technical Information Figure 70 Case 2 with transistor utilisation Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 212: How To Connect The Outputs Of The Controller

    11 and 9. Figure 71 Typical output connection 1 J6 – Serial Figure 72 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-compact. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 213 Signal name +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Not used A + (RS485) Not used B - (RS485) Not used A serial communication kit with a serial cable and the A-Plus Software is available (optional). Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 214: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    Communication Format 8 data bit  no parity  1 stop bit  baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable.  Figure 73 RS 232 Connection Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 215 Technical Information Ω ½ W PC HOST TPS-compact TPS-compact Ω ½ W Figure 74 RS 485 Connection Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 216: Serial Communication Descriptions

    (pin 2) and vice versa. Consult the host computer’s instruction manual for its serial port connections Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions NOTE unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shround on the 0-subconnector.

  • Página 217: Window Protocol

    ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data NOTE is the corresponding ASCII character. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 218 MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 219 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 220: Examples

    Technical Information Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 221 Technical Information Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 222 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 223: Window Meanings

    Analog output type: output voltage signal proportional 0 = frequency to frequency or power 1 = power (default = 1) 2 = Pump temperature 3 = Pressure Low Speed frequency (Hz) 1100 to “Maximum rotational frequency” (win 120) (default = 1100) Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 224 Cycle time in minutes (zeroed by the reset 0 to 999999 command) Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 9999 Pump life in hours (zeroed by the reset 0 to 999999 command) 310 to 347 Reserved to Agilent service Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 225 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. Figure 75 Windows N. 206 Bit Description Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 226: Service Options

    “TIP-SEAL SERV” appears on the TPS-compact front side display. The warning message appears after 5000 h of operation. If your TPS-compact exhibits humming or grinding noises from the scroll pump, a major overhaul should be done by Agilent Vacuum Technologies.

  • Página 227: Tip-Seal Replacement

    The parts and tools required to replace Tip-Seals are listed below: Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS  4 mm Allen wrench  Razor blade or side-cutting pliers  Compressed air (optional)  Figure 76 Tip-Seal replacement - Figure A Figure 77 Tip-Seal replacement - Figure B Agilent TPS-compact User Manual...

  • Página 228: To Remove The Worn Tip-Seals

    Unlock the scroll pump support by unscrewing the screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”) Lift the TPS-compact in order to access the Scroll pump site (you’ll hear a “click” noise as soon as the upper part of TPS-compact is locked).

  • Página 229: To Install The New Seals And O-Rings

    Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4) M5 bolts to 5.6 Nm (50 in-lb). Unlock the upper part of TPS-compact by sliding the small lever you can find on the bottom side of TPS-compact.

  • Página 230: To Test The Pumping System

    Tip Seal Life Reset using A-plus To test the Pumping System Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running. If you hear loud noises from the Scroll pump this indicates that the tip seal or main O-ring are possibly out of place.

  • Página 231: Troubleshooting Chart

    Poor conductance to Replumb with shorter and/or larger diameter TPS-compact. tubing. Hammering noise Scroll pump overheated. Check ventilation to TPS-compact. Check ambient temperature. Debris in Scroll pump. Flush the TPS-compact. Disassemble pump and inspect. Internal Scroll Pump Motor thermal protector is Allow the scroll motor to cool.

  • Página 232: Accessories And Spare Parts

    9699883 Tip-seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS Vent Valve N.O. 0.5 mm 9699844M005 9699844M005 9699844M005 9699844M005 orifice Mains Cable 8121-0723 8121-0723 8121-0723 8121-0723 China Plug Power cable IEC320 9499399 9499399 9499399 9499399 (3 m long) Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 233 IDP3GBKIT IDP3GBKIT IDP3GBKIT Vent Valve N.O. 9699844M005 9699844M005 9699844M005 9699844M005 0.5 mm orifice Mains Cable China Plug 8121-0723 8121-0723 8121-0723 8121-0723 For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please refer to the Agilent catalog. Agilent TPS-compact User Manual...
  • Página 239 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Página 240 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2021 Edition I.00, 11/21 *87-901-010-01* *87-901-010-01* 87-901-010-01...

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