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Agilent IDP-10 Manual Del Usuario

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IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump
Agilent
User Manual

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Manuales relacionados para Agilent IDP-10

Resumen de contenidos para Agilent IDP-10

  • Página 1 IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Agilent User Manual...
  • Página 2 FAR 12.211 (Technical Data) and 12.212 (Computer Software) and, for the Department of Defense, DFARS 252.227-7015 (Technical Data - Commercial Items) and DFARS 227.7202-3 (Rights in Commercial Computer Software or Computer Software Documentation). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 3 Descrizione del prodotto Trasporto e immagazzinamento Installazione Preparazione per l’installazione Disimballaggio e ispezione Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-10 Dry Scroll Procedura di avvio Procedura di arresto Utilizzo Interfaccia utente Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 4 Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud ICES/NMB-001 Betriebsanleitung Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warning Symbols Sicherheit EMV-Warnungen EN 55011 Klasse A Warnung Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 5 Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-10 Inbetriebnahmeverfahren Ausschaltvorgang Benutzerschnittstelle Beschreibung der Pin-Funktionen Instandhaltung Reinigung Außenflächen Innenseite Entsorgung Service Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der Versorgungsbetriebe Raumbedingungen Elektromagnetische Verträglichkeit EN55011/CISPR11 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung ICES/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 6 Information du produit Transport et entreposage Installation Préparation pour l’installation Déballage et inspection Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-10 Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Utilisation Interface de l'utilisateur Description des fonctions de la broche...
  • Página 7 Definición de Precaución, Advertencia y Nota Símbolos de advertencia Seguridad Advertencias CEM EN 55011 Clase A Advertencia Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas de vacío de desplazamiento en seco Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 8 Descripción de las funciones de los pines Mantenimiento Limpieza Exterior Interior Eliminación Servicio Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad Condiciones ambientales Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 9 Contents 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全性 EMC 警告 EN 55011 A类警告 美国联邦通信委员会(FCC) 正确使用 不当使用 防护设备 干式涡旋真空泵的安全指南 产品说明 运输与储存 安装 安装准备 开箱验货 IDP-10 干式涡旋真空泵的启动和运行 启动程序 关闭程序 使用 用户界面 引脚功能说明 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 10 Contents 维护 清洁 外部 内部 处置 服务 环境条件、合规性和公用事业要求 环境条件 电磁兼容 EN55011/CISPR11 韩国 A 类 EMC 声明 ICES/NMB-001 取扱説明書 この説明書について 有効期 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 EMC 警告 EN 55011 クラスA警告 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 11 Contents ドライスクロール真空ポンプ用 安全のガイドライン 製品説明 輸送＆保管 設置 設置の準備 開梱と検品 IDP-10 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について 起動時の手順 停止の手順 使用 ユーザーインターフェース ピン機能の説明 メンテナンス クリーニング 外面 内側 処分 サービス 環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件 環境条件 電磁両立性 EN55011/CISPR11 ICES/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 12 Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps Product Description Transport & Storage Installation Preparation for Installation Unpacking and Inspection Start-up and Operation of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Shutdown Procedure User Interface Description of Pin Functions Maintenance...
  • Página 13 Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements Environmental Conditions Electromagnetic Compatibility EN55011/CISPR11 South Korean Class A EMC declaration ICES/NMB-001 Technical Information Description of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Technical Specifications IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing Electrical Connections Power Cord Grounding Instructions Extension Cords...
  • Página 14 Contents Pump Operations Mounting of the IDP-10 Scroll Vacuum Pump Protection Features Troubleshooting Kits and Service Options Tip Seal Replacement Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 15 Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll Descrizione del prodotto Trasporto e immagazzinamento Installazione Preparazione per l’installazione Disimballaggio e ispezione Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-10 Dry Scroll Procedura di avvio Procedura di arresto Utilizzo Interfaccia utente Descrizione delle funzioni dei pin...
  • Página 16 Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della IDP-10, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...
  • Página 17 I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 18 Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della IDP-10. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
  • Página 19 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Marchio di conformità alle normative (RCM) Sito di produzione Presenza di tensioni pericolose Pericolo generico Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 20 La pompa IDP-10 è stata testata con un cavo I/O (per il controllo da remoto) che impiega schermature a treccia di lamina combinate con perline di ferrite a morsetto e connettori a guscio metallico con schermi collegati al telaio della pompa IDP-10.
  • Página 21 Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati.
  • Página 22 (LEL) ufficialmente pubblicati per i gas in qualsiasi condizione di guasto del sistema o della pompa per vuoto. Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio della pompa IDP-10. L'uso improprio comporta la perdita di tutti i diritti a reclami per responsabilità e garanzie.
  • Página 23 • Trasportare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani. • Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. • Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 24 Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 25 La pompa IDP-10 è una pompa per vuoto ermetica a spirale. Questa pompa è adatta per il pompaggio di aria o gas inerti. Questa pompa non è progettata per pompare gas corrosivi, piroforici, che formano particolato o miscele di gas nel rispettivo campo di infiammabilità...
  • Página 26 La pompa viene fornita in uno speciale imballaggio protettivo. Se la confezione mostrasse segni di danni che possono essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Il peso totale dell'imballaggio, pompa IDP-10 inclusa, è di circa 28,1 kg (62 lb). La pompa IDP-10 pesa 24,7 kg (55 lb). AVVERTENZA Per evitare infortuni, utilizzare ausili di sollevamento e tecniche di sollevamento adeguate quando si sposta la pompa.
  • Página 27 Istruzioni per l’uso La pompa IDP-10 è progettata e certificata per il funzionamento in ambienti interni (categoria di installazione II), relativamente puliti e asciutti (grado di inquinamento 2). Fare riferimento alla Tabella 15 per le specifiche. Non è progettata né certificata per il funzionamento all'aperto.
  • Página 28 Sebbene la pompa sia in grado di pompare tracce di particolato normalmente ATTENZIONE presenti nell'atmosfera, non è progettata per processare solidi, prodotti chimici, polveri, solventi, condensati o altre particelle. Questi elementi possono danneggiare l'apparecchiatura, degradarne le prestazioni o ridurne la durata utile. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 29 L'interruttore ON/OFF della pompa è un interruttore a scorrimento che riporta NOTA simboli in conformità alla pubblicazione IEC 417 per rappresentare le posizioni ON e OFF. La figura seguente mostra un interruttore in posizione ON. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 30 Per arrestare la pompa: Spegnere la pompa. Se la pompa è dotata di una valvola di ingresso opzionale,  la valvola di isolamento si chiude molto rapidamente per isolare la camera del vuoto dalla pompa. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 31 Istruzioni per l’uso Utilizzo La pompa IDP-10 utilizza un motore a 3 fasi azionato da inverter in modo che la velocità della pompa sia indipendente dalla frequenza di rete CA. La pompa ha la seguente struttura: Comando ON/OFF locale tramite un interruttore a scorrimento accessibile ...
  • Página 32 Tabella 2 Collegamenti pin DSUB9 Pin # Funzione Tensione di ingresso del controllo analogico di velocità 0-10 V CC Ingresso pompa esterna On/Off, attivo LO TERRA +10VDC output Riservato per uso in fabbrica TERRA Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 33 Pin#8: non effettuare alcun collegamento a questo pin.  Pin#9: guscio: massa del telaio. (Il guscio NON è collegato ai pin di massa del segnale).  Figura 3 Giri/min rispetto al segnale di controllo velocità 0-10 V Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 34 Pulizia della pompa A differenza delle pompe a olio tradizionali, le pompe a spirale a secco Agilent non contengono liquidi per la pulizia della polvere e dei detriti accumulati. Fare funzionare la pompa periodicamente in atmosfera per uno o due minuti per risciacquarla.
  • Página 35 Figura 4 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 36 È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 37 Questo dispositivo è conforme ai requisiti di CISPR11, Gruppo 1, Classe A come apparecchiatura radioterapica professionale. Pertanto possono sussistere potenziali difficoltà per garantire la compatibilità elettromagnetica in altri ambienti a causa di disturbi condotti e irradiati. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 38  periferiche variazioni o modifiche non espressamente approvate da Agilent Technologies  potrebbero inficiare l'autorizzazione dell'utente a utilizzare la presente apparecchiatura.
  • Página 39 Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-10 Inbetriebnahmeverfahren Ausschaltvorgang Benutzerschnittstelle Beschreibung der Pin-Funktionen Instandhaltung Reinigung Außenflächen Innenseite Entsorgung Service Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der Versorgungsbetriebe Raumbedingungen Elektromagnetische Verträglichkeit EN55011/CISPR11 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung ICES/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 40 Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der IDP-10 mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.
  • Página 41 Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 42 Warning Symbols Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem IDP-10 angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Página 43 Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung China RoHS-Zertifizierung Abfälle elektrischer und elektronischer Geräte Prüfzeichen für die Einhaltung geltender Vorschriften (RCM) Herstellungsbetrieb Vorhandensein gefährlicher Spannungen Allgemeine Gefahr Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 44 Das ist ein Klasse A Produkt. In einer Haushaltsumgebung kann dieses Produkt Funkstörungen verursachen; dann könnte der Benutzer aufgefordert werden, angemessene Maßnahmen zu ergreifen. Die IDP-10 wurde mit einem E/A-Kabel (für die Fernbedienung) getestet, bei dem eine angeklemmte Ferrit-Verstärkung in Verbindung mit Foliengeflecht- Abschirmungen und Metallsteckern verwendet wurde, wobei die Abschirmungen mit dem Gehäuse IDP-10 verbunden waren.
  • Página 45 Das Produkt darf nur von qualifiziertem Personal verwendet werden, das in der Lage ist, die erforderlichen Sicherheitsmaßnahmen unter Bedingungen zu treffen, die keine Schäden oder Verletzungen verursachen. Alle mit dem Produkt verwendeten Zubehörteile und Geräte müssen von Agilent Technologies geliefert oder genehmigt werden. Einstellungs- oder Wartungsarbeiten müssen von einem Fachmann durchgeführt werden, der über die Risiken informiert ist.
  • Página 46 Explosionsgrenzwerte (UEG) unter jeglichen Anlagen- oder Vakuumpumpen- Störungsbedingungen beibehalten werden. Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies übernimmt keine Haftung für Schäden, die durch unsachgemäßen Gebrauch des IDP-10 entstanden sind. Unsachgemäßer Gebrauch führt zum Verlust aller Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Das für den Betrieb und die Wartung der Pumpe zuständige Personal muss gut ausgebildet sein und mit den Unfallverhütungsvorschriften vertraut sein.
  • Página 47 Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem IDP-10 und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation WARNUNG •...
  • Página 48 • Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben. • Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen Zur Vermeidung von Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals WARNUNG sind die Installationshinweise in dieser Anleitung strikt zu befolgen! Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 49 Eingriffe in die Geräte oder auf Handlungen zurückzuführen sind, die im Widerspruch zu spezifischen landesweiten Normen stehen. Die IDP-10 ist eine luftdichte Trockenlauf-Vakuumpumpen. Diese Pumpe ist für das Pumpen von Luft oder Inertgasen geeignet. Diese Pumpe ist nicht für das Pumpen von korrosiven, pyrophoren, partikelbildenden Gasen oder Gasgemischen in deren entzündlichem und/oder brennbarem Spektrum bestimmt.
  • Página 50 Beschädigungen aufweisen sollte, die während des Transports entstanden sein könnten, wenden Sie sich an Ihr örtliches Vertriebsbüro. Das Gesamtgewicht der Pumpe IDP-10 beläuft sich einschließlich Verpackung auf ca. 28,1 kg (62 lbs). Die Pumpe IDP-10 selbst wiegt 24,7 kg (55 lbs).
  • Página 51 Betriebsanleitung Die IDP-10 ist für den Betrieb in geschlossenen Räumen (Einbauklasse II) in relativ sauberen, trockenen Umgebungen (Verschmutzungsgrad 2) ausgelegt und zertifiziert. Die technischen Daten entnehmen Sie bitte Tabelle 15. Sie ist nicht für den Betrieb im Freien ausgelegt und zertifiziert.
  • Página 52 VORSICHT Luft vorkommen, ist sie nicht für die Verarbeitung von Feststoffen, Chemikalien, Pulvern, Lösungsmitteln, Kondensaten oder anderen Partikeln ausgelegt. Dadurch kann das Gerät beschädigt werden, seine Leistung beeinträchtigen oder seine Lebensdauer verkürzen. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 53 Der ON/OFF-Schalter der Pumpe ist ein Schiebeschalter, der mit den HINWEIS entsprechenden Symbolen gemäß IEC-Veröffentlichung 417 versehen ist, um die ON- und OFF-Stellungen darzustellen. Auf der folgenden Abbildung ist ein Schalter in der ON-Stellung dargestellt. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 54 Ausschaltvorgang Zum Ausschalten der Pumpe: Pumpe ausschalten (OFF). Ist die Pumpe mit einem optional erhältlichen  Einlassventil ausgestattet, schließt sich das Absperrventil sehr schnell, um die Vakuumkammer von der Pumpe zu trennen. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 55 Betriebsanleitung Die IDP-10 verfügt über einen umrichtergesteuerten Drehstrommotor, so dass die Pumpendrehzahl unabhängig von der Netzfrequenz ist. Die Pumpe weist die folgenden Merkmale auf: Lokale Ein/Aus-Steuerung über einen vom Benutzer zugänglichen  Schiebeschalter Ein/Aus-Fernsteuerung durch Abschalten des Schalters zum Erden über den ...
  • Página 56 Regelung der Pumpendrehzahl. Die Pinbelegung ist in Tabelle 4 aufgeführt. Abbildung 6 DSUB9 Pinbelegung Tabelle 4 DSUB9 Pinbelegung Pin # Funktion Eingangsspannung für analoge Drehzahlregelung 0-10 VDC Ein/Aus für externe Pumpe, aktiv LO Masse +10VDC Ausgang Dem Werk vorbehalten Masse Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 57 Pin#8: Zu diesem Pin darf keine Verbindung hergestellt werden.  Pin#9: Gehäuse: Masse des Gehäuses. (Das Gehäuse ist NICHT mit den Signal-  Erdungsstiften verbunden). Abbildung 7 RPM. vs. 0-10 V Drehzahlsteuersignal Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 58 • Unterbrechen Sie immer die Stromversorgung der Pumpe, bevor Sie mit den Wartungsarbeiten beginnen. Reinigung Außenflächen Die Außenflächen der IDP-10 können mit einem leicht mit Wasser angefeuchteten Tuch gereinigt werden. Bei Bedarf kann stattdessen auch Alkohol oder ein mildes Reinigungsmittel verwendet werden. Keine Flüssigkeiten auf die Pumpe gießen oder spritzen.
  • Página 59 Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 8 Logo "WEEE" Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 60 Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 61 Dieses Gerät erfüllt die Anforderungen von CISPR11, Gruppe 1, Klasse A als professionelles Strahlungsgerät. Daher kann es in anderen Umgebungen aufgrund von leiter- und strahlungsgebundenen Störungen zu möglichen Schwierigkeiten bei der Sicherstellung der elektromagnetischen Verträglichkeit kommen. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 62 Maßnahmen zu ergreifen: Sicherstellen, dass geeignete Kabel für den Anschluss des Gerätes an  Zusatzgeräte verwendet werden. Änderungen oder Umbauten, die nicht ausdrücklich von Agilent Technologies  genehmigt wurden, können dazu führen, dass der Benutzer die Berechtigung zum Betrieb des Geräts verliert.
  • Página 63 Information du produit Transport et entreposage Installation Préparation pour l’installation Déballage et inspection Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-10 Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Utilisation Interface de l'utilisateur Description des fonctions de la broche...
  • Página 64 À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs de la IDP-10, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à...
  • Página 65 Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 66 Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur la IDP-10. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
  • Página 67 Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Marque de conformité réglementaire Date de fabrication Tensions dangereuses Danger générique Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 68 L’IDP-10 a été testée avec un câble E/S (pour la commande distante), en employant une perle ferrite à pince, des blindages feuille-tresse et des connecteurs en métal combinés à...
  • Página 69 être adoptées pour garantir un fonctionnement régulier. Agilent Technologies ne fournit aucune garantie ou n’assume aucune responsabilité pour des applications autres que celles décrites dans le présent manuel ou dans lesquelles les exigences...
  • Página 70 Utilisation incorrecte Agilent Technologies décline toute responsabilité liée à une utilisation incorrecte de l’IDP-10. Une utilisation incorrecte provoquera une annulation de la garantie et des droits de recours en responsabilité.
  • Página 71 En général, l’opérateur doit porter des chaussures de sécurité au cours de la manutention et de l’installation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-10. Danger pour la santé en raison de la présence de substances AVERTISSEMENT dangereuses pendant la maintenance ou l’installation.
  • Página 72 Consignes de sécurité relatives aux pompes à vide à spirales à sec Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 73 à ce qui est énoncé par les normes nationales spécifiques. L'IDP-10 est une pompe à vide à spirales à sec hermétique. Cette pompe est adaptée au pompage de l'air ou des gaz inertes. La pompe n'est pas conçue pour pomper les gaz corrosifs, explosifs, ou à...
  • Página 74 Le poids total de l’emballage, pompe IDP-10 incluse, est d’environ 28,1 kg (62 lb). La pompe IDP-10 pèse à elle seule 24,7 kg (55 lb).
  • Página 75 L’IDP-10 a été conçue et est homologuée pour fonctionner en intérieur (catégorie d’installation II) dans des environnements relativement propres et secs (degré de pollution 2).
  • Página 76 Ces substances peuvent endommager l’équipement, compromettre ses performances ou réduire sa durée de vie. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 77 L’interrupteur ON/OFF de la pompe est du type coulissant et présente des symboles NOTE conformes à la Publication IEC 417 correspondant aux positions ON et OFF. La figure suivante illustre un interrupteur sur la position ON. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 78 Mettez l’interrupteur de la pompe sur OFF. Si la pompe est équipée d’une vanne  d’entrée en option, la vanne d’isolement se fermera très rapidement afin d’isoler la chambre de vide de la pompe. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 79 Mode d’emploi Utilisation L'IDP-10 emploie un moteur triphasé entraîné par onduleur pour que la vitesse de la pompe soit indépendante de la fréquence des distributions CA. La pompe dispose des caractéristiques suivantes : Commande On/Off locale via un interrupteur coulissant accessible par ...
  • Página 80 Tableau 6 Raccordements des broches DSUB9 Pin # Function Tension d'entrée de commande de vitesse analogique 0-10 Vcc Entrée On/Off de la pompe externe, CHR active Sortie +10Vcc Réservé pour une utilisation à l'usine Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 81 Broche n°8 : n'effectuez pas de raccordement à cette broche.  Broche n°9 : enveloppe : masse du châssis.  Figure 11 Tr/min par rapport au signal de commande de vitesse 0-10 V Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 82 Nettoyage Extérieur Les surfaces externes de l’IDP-10 peuvent être nettoyées avec un chiffon légèrement imbibé d’eau. Si nécessaire, il est possible d’utiliser à la place de l’alcool ou un détergent doux. Ne versez/pulvérisez aucun liquide sur la pompe.
  • Página 83 Figure 12 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 84 à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 85 Ce dispositif est conforme aux exigences de CISPR11, Groupe 1, Classe A en tant qu’équipement professionnel de radiation. Par conséquent, il est possible que la compatibilité électromagnétique soit difficile à garantir dans d’autres environnements en raison des perturbations conduites et rayonnées. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 86 Tout changement ou modification n’ayant pas été expressément approuvé par  Agilent Technologies risque d’annuler l'autorisation de l'utilisateur à exploiter l'équipement. Déclaration CEM Classe A Corée du Sud Cet équipement de la Classe A est adapté à un usage professionnel et est conçu pour être utilisé...
  • Página 87 Descripción de las funciones de los pines Mantenimiento Limpieza Exterior Interior Eliminación Servicio Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad Condiciones ambientales Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 88 Acerca del manual Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba IDP-10, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.
  • Página 89 Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 90 Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba IDP-10. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Página 91 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca de conformidad normativa (RCM) Lugar de fabricación Voltajes peligrosos Peligro genérico Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 92 Este es un producto Clase A. En un entorno doméstico, este producto puede causar radiointerferencias, en cuyo caso el usuario deberá tomar las medidas necesarias. El IDP-10 ha sido probado con un cable de E/S (para control remoto) utilizando una perla de ferrita con abrazadera combinada con protectores de lámina trenzada y conectores de carcasa de metal con los protectores conectados al chasis del IDP-10.
  • Página 93 Agilent Technilogies no proporciona ninguna garantía ni asume ninguna responsabilidad por aplicaciones que no sean las descritas en el presente manual, o en las que no se respeten los requisitos y medidas de seguridad esenciales.
  • Página 94 (LEL) publicados de los gases en cualquier condición de falla del sistema o de la bomba de vacío. Uso incorrecto Agilent Technologies declina toda responsabilidad derivada del uso indebido del IDP-10. El uso inapropiado hará que se pierdan todas las reclamaciones de responsabilidad y garantías.
  • Página 95 • Todo equipo de más de 20 kilos de peso debe ser transportado con un dispositivo de elevación adecuado. • Use zapatos de seguridad con puntera de acero que cumplan con la Directiva EN 347. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 96 Pautas de seguridad para bombas de vacío de desplazamiento en seco Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 97 La IDP-10 es una bomba de desplazamiento en seco hermética. Esta bomba es adecuada para bombear aire o gases inertes. Esta bomba no ha sido diseñada para bombear gases corrosivos, pirofóricos, formadores de partículas o mezclas de...
  • Página 98 El peso total del paquete, incluida la bomba IDP-10, es de aproximadamente 28,1 kg (62 libras). La bomba IDP-10 en sí pesa 24,7 kg (55 libras).
  • Página 99 El IDP-10 nunca debe usarse en entornos ambientales que contengan materiales explosivos o combustibles. El IDP-10 NO es intrínsecamente seguro y nunca debe usarse con gases corrosivos, pirofóricos, que forman partículas o mezclas de gases en sus rangos inflamables y/o combustibles.
  • Página 100 PRECAUCIÓN encuentran en la atmósfera, no ha sido diseñada para procesar sólidos, productos químicos, polvos, solventes, condensados u otras partículas. Pueden dañar el equipo, degradar su rendimiento o acortar su vida útil. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 101 El interruptor de ON/OFF de la bomba es un interruptor de tipo deslizante que tiene NOTA símbolos de acuerdo con la Publicación 417 de IEC para representar las posiciones de ON/OFF. La siguiente figura muestra un interruptor en la posición ON. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 102 Para apagar la bomba: Apagar la bomba OFF. Si la bomba está equipada con una válvula de entrada  opcional, la válvula de aislamiento se cerrará muy rápidamente para aislar la cámara de la bomba. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 103 Instrucciones de uso El IDP-10 emplea un motor trifásico accionado por inversor para que la velocidad de la bomba sea independiente de la frecuencia de la red de CA. La bomba tiene las siguientes características: Control local On/Off a través de un interruptor deslizante accesible para el ...
  • Página 104 Pin # Función Voltaje de entrada de control de velocidad analógico 0-10 VDC Entrada On/Off bomba externa, LO activo Conectar a tierra Salida +10VDC Reservado para uso en fábrica Conectar a tierra Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 105  Pin n.9: Carcasa: Piso del chasis. (La carcasa NO está conectada a los pines de  señal a tierra). Figura 15 RPM. vs. señal de control de velocidad de 0-10 V Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 106 Limpieza Exterior Las superficies exteriores del IDP-10 se pueden limpiar con un paño ligeramente humedecido con agua. Si es necesario, se puede utilizar alcohol o un detergente suave en su lugar. No vierta ni rocíe ningún líquido sobre la bomba.
  • Página 107 Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 16 Logo "WEEE" Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 108 Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 109 Este dispositivo cumple con los requisitos de CISPR11, Grupo 1, Clase A como equipo profesional de radiación. Por lo tanto, puede haber dificultades potenciales para garantizar la compatibilidad electromagnética en otros entornos, debido tanto a las perturbaciones conducidas como a las radiadas. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 110 Asegúrese de utilizar los cables apropiados para conectar el dispositivo al  equipo periférico. Los cambios o modificaciones no aprobados expresamente por Agilent  Technologies podrían anular la autorización del usuario para operar el equipo. Declaración EMC Clase A de Corea del Sur Este equipo es Clase A apto para uso profesional y ha sido diseñado para su uso en...
  • Página 111 正确使用 不当使用 防护设备 干式涡旋真空泵的安全指南 产品说明 运输与储存 安装 安装准备 开箱验货 IDP-10 干式涡旋真空泵的启动和运行 启动程序 关闭程序 使用 用户界面 引脚功能说明 维护 清洁 外部 内部 处置 服务 环境条件、合规性和公用事业要求 环境条件 电磁兼容 EN55011/CISPR11 韩国 A 类 EMC 声明 ICES/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 112 使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 IDP-10用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意事项， 受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 IDP-10 的人员可以安全操作，在设备整个 注意 寿命期内发挥完美效率。 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 113 使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 114 使用说明 警告符号 以下是在 IDP-10 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下 表示危险电压 一般危险 保护接地端子 电源开启 交流电 (AC) 电源关闭 欧洲符合性声明 废弃电气和电子设备 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 115 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 合规标志 (RCM) 生产现场 表示危险电压 一般危险 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 116 EN 55011 A 类警告 此为 A 级产品。 在家庭环境中，本产品可能会造成无线电干扰，在这种情况下， 用户可能需要采取适当的措施。 IDP-10 使用输入/输出电缆（用于远程控制）进行了测试，该电缆采用夹紧式铁氧 体磁珠组合箔编织屏蔽器和金属外壳连接器，屏蔽器连接到 IDP-10 底盘。除非使 用此类 输入/输出电缆和铁氧体磁珠，否则不能保证符合 FCC 第15章节规则和欧 盟的 EMI 要求。 不以这种方式安装设备可能会导致无法满足辐射发射和敏感性的要求。 铁氧体磁珠必须具有以下特性： 铁氧体类型：宽带  阻抗特性（表9）。  尺寸足够大，可以套在正在使用的电缆上。  表 9 阻抗特性 频率(Mhz) 标称阻抗(Z) Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 117 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 118 使用说明 易燃材料: 警告 为确保泵内的气体不进入易燃/可燃范围，您必须遵守说明并注意以下预防措 施。当设备内存在易燃或可燃材料时，您必须： • 确保系统不漏气，以保证只有预期气体通过真空泵。 • 确保进入泵（入口和气镇端口）、泵内部和排气管道中的任何易燃气体或蒸汽 的浓度保持在气体公布的爆炸下限值 (LEL) 的四分之一以下。 • 任何系统或真空泵故障条件下，确保安全系统到位，以保持进入泵（入口和气 镇端口）、泵内部和排气管道中的任何易燃气体或蒸汽的浓度保持在气体公布 的爆炸下限值(LEL)的四分之一以下。 不当使用 Agilent Technologies 拒绝承担因IDP-10的不当使用而产生的所有责任。 不当使用将会导致责任索赔以及保证书失效的情况。 负责泵操作和维护的人员必须经过良好培训，并且必须了解事故预防规则。在对泵 进行操作和维护的期间，必须始终遵守本节中包含的事故预防措施，以避免对操作 员和泵造成伤害。这些预防措施通过警告和注意事项的形式进行标注。 如果不遵守和/或正确执行操作程序、技术信息和预防措施，可能会对操作员 警告 造成身体伤害。 如果不遵守和/或正确执行操作程序、技术信息和预防措施，可能会损坏泵。 小心 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 119 使用说明 防护设备 进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。 此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。 通常，操作员在操作IDP-10时和安装过程中必须穿防事故鞋。 维护或安装时危险物质导致的健康危险。 警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污 染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。 掉落物体导致受伤的风险 警告 手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 120 使用说明 小心 锋利边缘导致受伤的风险 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 不要直接在高真空法兰内操作。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 干式涡旋真空泵的安全指南 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说明！ 警告 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 121 使用说明 产品说明 本设备专供经过培训的人员使用。在操作设备之前，用户应阅读本说明手册和安捷 伦提供的任何其他附加信息。对于因不遵守这些说明、未经培训的人员使用不当、 未经授权干扰设备或任何违反特定国家标准规定的行为而导致的任何事件，安捷伦 概不负责。 IDP-10是一款密封的干式涡旋真空泵。该泵适用于泵送空气或惰性气体。该泵不适 用于泵送易燃和/或可燃范围内的具腐蚀性、自燃性、颗粒性的气体或气体混合 物。 以下段落包含所有必要信息，以确保操作员在使用设备时的安全。“技术信息”章 节中提供了详细信息。 运输与储存 运输和存放泵时，不得违反以下环境要求： -20℃ 至 +60℃ (-4℉ 至 140℉) 温度:  相对湿度: 0 至 95% (非冷凝)  Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 122 使用说明 安装 安装准备 如果表面有损坏迹象，这可能是在运输过程中发生的，请联系您当地的销售办事 处。 包括IDP-10泵在内的包装总重量约为28.1千克（62磅）。 IDP-10 泵本身重 24.7 千克（55 磅）。 警告 为避免受伤，移动泵时请使用起重辅助工具和适合的起重技巧。 打开水泵的包装时，请轻拿轻放，避免任何形式的突然撞击或冲击振动。 警告 正常暴露在环境中不会损坏泵。 注意 尽管如此，还是建议在将泵安装到系统中之前保持泵入口关闭。 开箱验货 定位装运容器，使“This End Up”的字样朝上。 打开包装箱，小心地将 IDP-10 从包装箱中取出。 保存纸箱和所有包装材料。 检查泵是否损坏。如果有运输损坏，请立即联系货运公司和您当地的安捷伦销 售办事处。 泵是一个重物。为避免肌肉拉伤或背部受伤，请在拆卸或更换时使用起重辅助 警告 工具和适合的起重技巧。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 123 IDP-10 不能在含有易爆或易燃材料的周围环境中使用。IDP-10 本质上不安全，切 勿与易燃和/或可燃范围内的具腐蚀性、自燃性、微粒性的气体或气体混合物一起 使用。 使用IEC-320型电源线将泵连接到电源。 操作期间必须遵守以下环境条件： 小心 • 温度: +5℃ 至 +40℃ (41℉ 至 104℉) • 相对湿度: 0 至 95% (非冷凝) 使用容量至少为 10 A 的 IEC-320 型电源线将泵连接到电源（参见表 16）。 在安装真空泵时，建议将泵放置在用户可以轻松触及电源开关和电源线连接的位 小心 置，以便在需要时可以快速断开泵的电源。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 124 使用说明 不要拆除或改装泵上的任何安全或绝缘设备。 这样做可能会造成严重的安全隐患，并可能导致保修失效 • 该泵只能抽吸和排出空气和惰性气体。该泵不适用于泵送易燃和/或可燃范围内 警告 的具腐蚀性、自燃性、颗粒性的气体或气体混合物。 • 安装在没有雨水、蒸汽或过度潮湿的地方。水分会导致触电、短路和严重的身 体伤害。 • 在重新配置泵电压、检查或维修泵之前，确保电源已断开。 • 每当泵送任何不打算排放到大气中的气体时，必须密封气镇。 • 排气消音器选项适用于希望降低泵产生的声级的那些应用。 • 为防止身体受伤，请避免将人体的任何部位暴露在真空中。 尽管该泵可以泵送通常存在于大气中的微量颗粒物，但它并非设计用于处理固体、 小心 化学品、粉末、溶剂、冷凝物或其他颗粒物。它们会损坏设备、降低其性能或缩短 其使用寿命。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 125 启动程序 在开始操作前检查入口滤网是否安装。 请勿将手指或任何异物插入风扇路径；可能导致严重的人身伤害或损坏泵。 警告 在 5℃ 至 40℃（41℉ 至 104℉）的环境温度下运行泵，否则可能会损坏泵或 缩短使用寿命。 不要阻塞风扇管道。阻塞这些管道会导致泵过热。 小心 如果泵表面温度超过 65℃ (150℉) 可能会造成损坏。如果观察到此类情况，请关闭 泵并使其冷却。对其进行拆卸和检查，并在必要时进行维修。 确保为泵所连接的电源电压配置了泵。 该泵采用滑动式开关，其符号符合 IEC 出版物 417，用于表示 ON 和 OFF 位 注意 置。 下图显示了一个处于 ON 位置的开关。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 126 使用说明 电源开关 ON/OFF 图 17 将泵的开关调到ON的位置来启动. 如果泵配备可选的入口阀，阀门将在启动泵后 30 秒自动打开。 关闭程序 如果想要关闭泵: 将泵的开关调到OFF位置。如果泵配备可选的入口阀，隔离阀将很快关闭以将真  空室与泵隔离。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 127 使用说明 使用 IDP-10 采用逆变器驱动的三相电机，因此泵速与交流电源频率无关。 该泵具有以下特点: 通过用户可访问的滑动开关进行本地开/关控制  通过 Dsub9 I/O 连接器的开关闭合接地进行远程开/关控制。  LED 计时器，以小时为单位显示运行时间  用户通过 Dsub9 I/O 连接器的模拟输入来远程控制泵速。  全球应用的自动交流电源电压感应和选择。  针对温度过高的自动热感应和关机。  高泵负载下的自动功率控制。  一个可选的入口阀可防止真空系统在泵意外关闭时发生意外排气。  有关完整说明，请参见第 186 页。 注意 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 128 将关闭。 开关必须处于此位置以允许远程开/关操作。 I: 这是ON位置，泵和风扇在该位置处于运行状态。  DSUB9 连接器（图 18）具有用于远程开/关控制和改变泵速的引脚。 引脚分配如表 10 所示。 图 18 DSUB9 引脚连接 表 10 DSUB9 引脚连接 引脚 # 功能 模拟速度控制输入电压 0-10 VDC 外部泵开/关输入，LO 激活 接地 +10VDC 输出 预留给工厂使用 接地 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 129 LO（参考信号接地）允许泵运行。开路或逻辑 HI 关闭泵。提供一个达+5 V 的内 部上拉电阻。注意：使用此输入时，滑动开关必须处于 0 位置。 引脚#5和引脚#9: 这两个引脚连接到接地信号。  引脚#7: 当使用电位器进行速度控制时，此引脚输出 10 VDC 信号。将电位器的顶  部连接到该引脚，将滑动器连接到引脚#1，将电位器的另一侧连接到其中一个接 地引脚时，您可以轻松改变泵的速度。建议使用5 Kohm电位器。 引脚#8: 不要与该引脚建立任何连接。  引脚#9: 外壳：底盘接地。 （外壳未连接到接地信号的引脚）。  转速与 0-10 V 速度控制信号 图 19 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 130 使用说明 维护 负责泵操作和维护的人员必须经过良好培训并了解事故预防规则。 • 接触高压可能导致死亡。始终格外小心并遵守现行的事故预防规定。 警告 • 机器通电时，小心移动部件和高压。 • 如果在运行相当长一段时间后必须对泵进行维护，请使其冷却，因为外表面的温 度可能超过 60℃。 • 在开始维护工作之前，请务必断开泵的电源。 清洁 外部 IDP-10 的外表面可以用稍微蘸水的布清洁。如有必要，可以使用酒精或温和的清洁 剂代替。请勿将任何液体倒入或喷洒到泵上。 内部 定期在大气中运行泵一两分钟以将其冲洗干净。 注意 泵的清洁 与传统的油封泵不同，安捷伦干式涡旋泵不包含用于清除积聚的灰尘和碎屑的液 体。定期在大气中运行泵一两分钟以将其冲洗干净。在您具备特定程序的操作经验 之前，请定期冲洗泵并根据您的具体情况调整此计划。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 131 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 20 Logo "WEEE" 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 132 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 133 设备等级 1  污染水平描述了降低介电强度的固体、液体或气体的附着程度。2 适用于正常的室 注意 内环境。 安装类别隐含冲击耐受电压的规定。它也被称为过电压类别。II 适用于电气设备。 该设备需要以下空间用于通风、维护和方便接触主电源断路器开关。设备四周必须 留有至少 60 cm (24") 的净空间。您实验室的工作台必须能够支撑整个系统和其他 实验室设备。 电磁兼容 EN55011/CISPR11 第1组 ISM 设备: 第1组包含所有 ISM 设备，其中包含有意生成和/或使用设备本身 内部功能所必需的传导耦合射频能量。 A类设备是适用于除住宅和直接连接到为民用建筑物供电的低压供电网络的场所之 外的所有场所的设备。 本设备符合 CISPR11第 1 组 A类辐射专业设备的要求。因此，由于传导干扰和辐 射干扰，在其他环境中确保电磁兼容性可能存在潜在困难。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 134 使用说明 操作需满足以下两个条件: 该设备不会造成有害干扰。  该设备必须能够接受任何收到的干扰，其中包括可能导致意外操作的干扰。  如果此设备确实对无线电或电视接收造成有害干扰（可以通过关闭和打开设备来确 定），建议用户尝试以下一种或多种措施： 确保使用合适的电缆将设备连接到外围设备。  未经 Agilent Technologies 明确批准的更改或修改可能会使用户操作该设备的授  权无效。 韩国 A 类 EMC 声明 本设备为适合专业用途的 A 类设备，适用于家庭以外的电磁环境。 ICES/NMB-001 此 ISM 设备符合加拿大 ICES-001/NMB-001标准。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 135 EMC 警告 EN 55011 クラスA警告 適切な使用 不適切な使用 保護用装備 ドライスクロール真空ポンプ用 安全のガイドライン 製品説明 輸送＆保管 設置 設置の準備 開梱と検品 IDP-10 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について 起動時の手順 停止の手順 使用 ユーザーインターフェース ピン機能の説明 メンテナンス クリーニング 外面 内側 処分 サービス 環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件 環境条件 電磁両立性 EN55011/CISPR11 ICES/NMB-001 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 136 取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、IDP-10 の使用方法をユーザー に説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 注 IDP-10 を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命中に効率 よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナンス 要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 137 取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能性 注意 を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害に 警告 つながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示して います。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を提 注 供しています。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 138 取扱説明書 警告の記号 下記は、IDP-10上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説明も 記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： 危険な電圧 包括的な危険 保護接地端子 交流電流 (AC) 電源オン 電源オフ CE適合宣言書 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 139 When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information. CE認証 CSA 認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 法規制遵守マーク (RCM) 製造所 危険な電圧 包括的な危険 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 140 シェル コネクタを組み合わせたクランプオン フェライト ビーズを採用した I/O ケーブル (リモート コントロール用) でテストされました。このタイプの I/O ケー ブルとフェライト ビーズが使用されていない限り、FCC 第15部の 規則と EU の EMI 要件への準拠は保証されません。 この方法でユニットを設置しない場合、放射エミッションと感受性の要件を満た さない可能性があります。 フェライトビーズは以下の特性を持っている必要があります： フェライトの種類：ブロードバンド：  インピーダンス特性（表11）  使用中のケーブルにかぶせられる十分な大きさ。  表 11 インピーダンス特性 周波数 (Mhz) 公称インピーダンス (Z) Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 141 したすべての干渉を受け入れる必要があります. FCC 規則の第 15 部に従い、この機器はテストされ、クラス A デジタル機器の制 注 限に準拠していることが確認されています。これらの制限は、この装置が商用環 境で使用される場合に、有害な干渉から適切に保護されるように設計されていま す。この装置は、無線周波数エネルギーを生成、使用、および放射する可能性が あり、取扱説明書に従って設置および使用されない場合、無線通信に有害な干渉 を引き起こす可能性があります。また、この装置を住宅地で操作すると、有害な 無線通信の干渉を引き起こす可能性があり、その場合には、使用者は自己負担で 干渉を修正する必要があります。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 142 (LEL) の 4 分の 1 未満であることを確認してください。 • ポンプ (吸入口およびガスバラストポート)、ポンプ内部、および排気管内に 流入する可燃性ガスまたは蒸気の濃度を、システムまたは真空ポンプに障害 が発生した場合でも、ガスの公表されている爆発下限界（LEL）の 4 分の 1 未 満に維持する安全システムが設定されていることを確認してください。 不適切な使用 Agilent Technologiesは、IDP-10 の不適切な使用に起因するすべての責任を負いま せん。 不適切な使用は、責任および保証に対するすべての請求が無効になる原因となり ます。 ポンプの操作とメンテナンスをする担当者は、十分な訓練を受け、事故防止規則 を認識している必要があります。このセクションに記載されている事故防止のた めの注意事項は、ポンプの操作およびメンテナンス中は、操作者およびポンプへ の損傷を避けるために継続的に厳守する必要があります。これらの注意事項は、 警告および注意の注記の形で記載されています。 操作手順、技術情報、および注意事項は、遵守および/または正しく実行さ 警告 れない場合、操作者の身体に危害を及ぼす可能性があります。 操作手順、技術情報、および注意事項は、遵守および/または正しく実行されな 注意 い場合、ポンプに損害を及ぼす可能性があります。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 143 保護用装備 ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、 実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。 更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従う ものでなければなりません。一般的に。 一般的に、操作者は IDP-10 を操作している時や取り付けの時に事故防止の靴を 着用しなくてはなりません。 警告 メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物 質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を 着用してください。 装置の落下による損傷のリスク。 警告 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなけ ればなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 144 取扱説明書 注意 鋭い縁による損傷のリスク。 • ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り外 しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 ドライスクロール真空ポンプ用 安全のガイドライン 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された取 警告 り付けの指示に厳密に従ってください！ Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 145 製品説明 この装置は訓練を受けた担当者が使用するように設計されています。使用者は、 装置を操作する前に、この取扱説明書とAgilent が提供するその他の追加情報を読 む必要があります。Agilentは、これらの説明書の指示に従わないこと、訓練を受 けていない者による不適切な使用、装置に対する許可されていない干渉、または 特定の国家規格で規定されていることに反する行為によって発生した事象につい て、責任を負いません。 IDP-10は、密閉型ドライスクロール真空ポンプです。このポンプは、空気や不活 性ガスのポンピングに適しています。このポンプは、可燃性および/または燃焼性 の範囲内にある腐食性ガス、自然発火性ガス、粒子形成性ガスまたはガス混合物 をポンピングすることを目的としていません。 以下の段落には、装置を使用する際の操作者の安全を保証するために必要なすべ ての情報が含まれています。詳細情報は、「技術情報」内に記載されています。 輸送＆保管 このポンプを輸送や保管するときは、以下の環境要件を超えないようにしてくだ さい。 摂氏 -20℃ ～ +60℃ (華氏 -4 °F ～ 140 °F) 温度：  相対湿度： 0～95%（結露なし）  Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 146 IDP-10 ポンプを含む梱包の総重量は、約 28.1kg (62 ポンド) です。 IDP-10 ポンプ自体の重量は 24.7 kg (55 ポンド) です。 警告 怪我を避けるために、ポンプを移動するときは、リフト補助具の使用と適切 なリフト方法で行ってください。 ポンプを開梱するときは、ポンプを落とさないように注意し、突然の衝撃や 警告 衝撃による振動を避けてください。 通常の環境下では、ポンプを損傷することはありません。 注 しかし、ポンプがシステム内に設置されるまでポンプの吸入口を閉じておくこと を推奨します。 開梱と検品 この面を上に」を上にして輸送用コンテナの向きを合わせます。 箱を開けて、IDP-10を慎重に持ち上げて箱から出してください。 ダンボール箱と梱包材はすべて保管してください。 ポンプが損傷していないか点検してください。もし輸送による損傷がある場 合、すぐに運送業者と最寄りのAgilentの営業所に連絡してください。 ポンプは重量物です。筋肉を痛めたり背中の怪我を避けるため、取り外しや 警告 交換するときは、リフト補助具の使用と適切なリフト方法で行ってくださ い。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 147 取扱説明書 IDP-10 は、比較的清潔で乾燥した環境 (汚染度 2) での屋内 (設置カテゴリ II) での 操作用に設計・認定されています。 仕様については、表15を参照してください。屋外での操作用には設計・認定され ていません。 IDP-10 は、爆発性または可燃性物質を含む周囲環境では絶対に使用しないでくだ さい。IDP-10は本質的に安全防爆構造ではないので、可燃性および/または燃焼性 の範囲内の腐食性ガス、発火性ガス、粒子状ガス、可燃性ガスまたは混合ガスと 一緒に絶対に使用しないでください。 IEC-320スタイルの電源コードを使用してポンプを電源に接続します。. 操作中は、以下の環境条件を遵守してください 注意 • 温度：摂氏 +5 ℃ ～ +40℃ (華氏 41 °F ～ 104°F) • 相対湿度：0 ～ 95% (結露なし) 少なくとも 10A 容量の IEC-320 スタイルの電源コードを使用して、ポンプを電...
  • Página 148 取扱説明書 ポンプから安全装置または絶縁装置を取り外したり、改造したりしないでくださ い。 これを行うと、重大な安全上の問題を引き起こす可能性があり、保証が無効にな る場合があります。 • このポンプは、空気と不活性ガスのみをポンピングおよび排気することが可 警告 能です。このポンプは、可燃性および/または燃焼性の範囲内にある腐食性ガ ス、自然発火性ガス、粒子形成性ガスまたはガス混合物をポンピングするこ とを目的としていません。 • 雨、蒸気、または過度の湿気にさらされない場所に設置してください。それ らは、感電、短絡、および重傷の原因となる可能性があります。 • ポンプ電圧の再設定やポンプの点検・整備を行う前に、電源が切断されてい ることを確認してください。 • 大気中に放出されることを意図していないガスをポンプで送り込む場合は、 常にガスバラストを密閉する必要があります。 • ポンプから発生する騒音を低減したい場合は、排気サイレンサーのオプショ ンが利用可能です。 • 怪我を防ぐために、人体のどの部分も真空にさらさないようにしてくださ い。 ポンプは大気中に通常見られる微量の微粒子を排出できますが、固体物、化学物 注意 質、粉末、溶剤、凝縮物、またはその他の微粒子を処理するようには設計されて いません。そられは装置を損傷する可能性があり、 性能が低下したり、耐用年数が短くなったりします。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 149 警告 損傷したりする可能性があります。 ポンプは 5℃ ～ 40 ℃ (41 °F ～ 104 °F) の周囲温度で操作してください。そ うしないと、ポンプが損傷したり、運転寿命が短くなる可能性があります。 ファンダクトを塞がないでください。これらのダクトを塞ぐと、ポンプのオーバ 注意 ーヒートの原因になります。 ポンプの表面温度が 65℃ (150 °F)を超えると、損傷を与える可能性がありま す。そのような状態が見られたら、ポンプの電源を切り、冷却してください。 分解し、損傷がないか点検し、必要に応じて修理してください。 ポンプが接続されている電源電圧に合わせてポンプが設定されていることを 確認してください。 ポンプのオン/オフのスイッチはスライド式のスイッチで、IEC Publication 417 に 注 準拠した記号で、オンとオフの位置を表します。下図は、スイッチがオンの状態 を示しています。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 150 取扱説明書 図 21 オン/オフ 電源スイッチ ポンプのスイッチをオンにします。 ポンプにオプションの吸入口バルブが装備されている場合、バルブはポンプ を起動してから 30 秒後に自動的に開きます。 停止の手順 ポンプを停止するには： ポンプのスイッチをオフにします。ポンプにオプションの吸入口バルブが装  備されている場合、隔離バルブは非常に迅速に閉じて、真空チャンバーをポ ンプから隔離します。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 151 IDP-10 はインバーター駆動の3相モーターを採用しているため、ポンプの速度は AC主電源の周波数に依存しません。 ポンプは以下の特徴があります： 使用者がアクセス可能なスライド スイッチによるローカル オン/オフ コント  ロール。 Dsub9 I/Oコネクターを使用し、グランドへのスイッチ閉鎖によるリモートオ  ン/オフのコントロールが可能です。 稼働時間を時間単位で表示するLED時間メーター。  Dsub9 I/O コネクターを使用したアナログ入力によるポンプ速度のリモートユ  ーザーコントロール。 全世界で使用可能なAC電源電圧の自動検出と選択機能。  温度超過時の自動熱感知と停止。  ポンプ高負荷時の自動電源コントロール。  ポンプが予期せず停止した場合に、真空システムを偶発的な通気から保護す  るためのオプションの吸入口バルブ。 詳細な説明については、188 ページを参照してください。. 注 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 152 I: これはオンの位置です、ポンプとファンはこの位置の時に作動します。  DSUB9 コネクター (图 22) には、リモートのオン/オフコントロールとポンプ速度 を変更するためのピンがあります。ピン配置は表12の通りです。 図 22 DSUB9 ピン 接続 表 12 DSUB9 ピン 接続 ピン♯ 機能 アナログ速度コントロール入力電圧 0 ～ 10 VDC 外部ポンプのオン/オフ入力、アクティブ LO グランド +10VDC output 工場における使用 グランド Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 153 ンプを動作させることができます。オープンまたはロジックHIでポンプがオフに なります。5Vへのプルアップ抵抗器が装備されています。 注: この入力を使用 する時は、スライドスイッチは 0 の位置にある必要があります。 ピン#5 と ピン#9：これら2つのピンは、信号グランドに接続されています。  ピン#7：このピンは、速度制御にポテンショメータを使用する場合に使用され  る10 VDC信号を出力します。ポテンショメータの上部をこのピンに接続する と、ワイパーをピン#1へ、ポテンショメータの反対側をグランドピンの1つへ 接続すると、ポンプの速度を簡単に変えることができます。5 Kohm のポテン ショメータを推奨します。 ピン#8：このピンへ何も接続しないでください。  ピン#9：シェル：シャーシグラウンド(シェルは信号グランドピンに接続され  ていません)。 図 23 RPM. vs. 0-10 V 速度制御信号 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 154 を熟知している必要があります。 • 高電圧に触れると、死亡する恐れがあります。常に細心の注意を払い、施行 警告 されている事故防止規則を遵守してください。 • 機械の電源を入れるときは、可動部品と高電圧に注意してください。 • 運転開始から相当時間が経過したポンプをメンテナンスする場合は、外面の 温度が 60℃を超えている場合があるため、ポンプが冷えるのを待ってくださ い。 • メンテナンス作業を開始する前には、必ずポンプの電源を切断してくださ い。 クリーニング 外面 IDP-10の外面は、水で少し湿らせた布で拭いてきれいにしてください。必要であ れば、代わりにアルコールまたは中性洗剤を使用することができます。ポンプに 液体をかけたり、スプレーしたりしないでください。 内側 定期的にポンプを大気中で 1～2 分間作動させて、ポンプを洗い流します。 注 ポンプのクリーニング Agilentのドライスクロールポンプには、従来の油密封式ポンプとは異なり、蓄積 した埃やゴミを洗浄するための液体が含まれていません。定期的にポンプを大気 中で1～2 分間作動させて、ポンプを洗い流します。使用者の特定のプロセスで経 験を積むまでは、定期的にポンプをきれいにし、使用者の特定の条件に従ってこ のスケジュールを調整してください。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 155 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 24 Logo "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 156 取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return” の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されています）。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 157  汚染度とは、絶縁耐力を劣化させる固体、液体、気体が付着している度合いを表 注 します。2 は、通常の室内環境に適用されます。 設置カテゴリーは、インパルス耐電圧の規定を意味します。過電圧カテゴリーと も呼ばれます。II は電気機器に適用されます。 この装置は、換気、メンテナンス点検のためのアクセス、および主電源ブレーカ ースイッチへのアクセスを容易にするために、以下のようなスペースが必要で す。装置の四方に 60cm（24 インチ）以上の空間を確保する必要があります。作 業室のベンチは、システム全体と他のラボ装置をサポート可能である必要があり ます。 電磁両立性 EN55011/CISPR11 グループ 1 ISM 装置：グループ 1 には、装置自体の内部機能に必要な伝導結合無 線周波数エネルギーが意図的に生成および/または使用されるすべての ISM 装置 が含まれます。 クラスAの装置は、家庭用以外のすべての施設、および家庭用の建物に供給する 低電圧電源網に直接接続されている装置の使用に適している装置です。 この機器は、放射線業務用機器としてCISPR11、グループ1、クラスAの要件に適 合しています。したがって、伝導および放射妨害により、他の環境での電磁両立 性を確保することが困難な場合があります。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 158 取扱説明書 操作は以下2つの条件に従います： この機器は、有害な干渉を引き起こすことはありません。  この機器は、望ましくない動作を引き起こす可能性のある干渉を含め、受信  したすべての干渉を受け入れる必要があります。 この装置がラジオやテレビの受信に有害な干渉を引き起こす場合には（装置の電 源を切ったり入れたりすることで判断できます）、使用者は以下の対策を1つ以 上試すことを推奨します： 周辺機器との接続には、必ず適切なケーブルを使用してください。  Agilent Technologies によって明示的に承認されていない変更または修正は、  装置を操作する使用者の権限を無効にする可能性があります。 ICES/NMB-001 この ISM 機器は、カナダの ICES-001/NMB-001に準拠しています。 Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 159 Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps Product Description Transport & Storage Installation Preparation for Installation Unpacking and Inspection Start-up and Operation of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Shutdown Procedure User Interface Description of Pin Functions Maintenance...
  • Página 160 Instructions for Use About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the IDP-10, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.
  • Página 161 Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 162 Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the IDP-10. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
  • Página 163 The following symbols appear on the instrument for your information. CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment Regulatory Compliance Mark (RCM) Manufacturing site Dangerous Voltages Generic Hazard Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 164 This is a Class A product. In a domestic environment this product may cause radio interference in which case the user may be required to take adequate measures. The IDP-10 was tested with an I/O cable (for remote control) employing a clamp-on ferrite bead combined foil-braid shields and metal shell connectors with the shields connected to the IDP-10 chassis.
  • Página 165 Agilent Technologies. Any adjustment or maintenance operation must be performed by a professional technician informed about the risks. Repairs on the product must be carried out exclusively by Agilent authorized personnel. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 166 (LEL) in any system or vacuum pump fault conditions. Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the IDP-10. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited.
  • Página 167 In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump and during installation. Danger to health by hazardous substances during maintenance or WARNING installation.
  • Página 168 Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 169 The IDP-10 is a hermetic, dry scroll vacuum pump. This pump is suitable for pumping air or inert gases. This pump is not intended to pump corrosive, pyrophoric, particulate-forming gases or gas mixtures in their flammable and/or combustible range.
  • Página 170 The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage, which may have occurred during transport, contact your local sales office. Total weight of the packing, IDP-10 pump included, is approximately 28.1 kg (62 lbs). The IDP-10 pump itself weighs 24.7 kg (55 lbs).
  • Página 171 Refer to Table 15 for specifications. It is not designed nor certified for operation outdoors. The IDP-10 should never be used in ambient environments that contain explosive or combustible materials. The IDP-10 is NOT intrinsically safe and should never be used with corrosive, pyrophoric, particulate-forming gases or gas mixtures in their flammable and/or combustible range.
  • Página 172 Although the pump can pump trace particulates normally found in the CAUTION atmosphere, it is not designed to process solids, chemicals, powders, solvents, condensates, or other particulates. They can damage the equipment, degrade its performance, or shorten its useful life. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 173 Instructions for Use Start-up and Operation of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Check that the inlet screen is installed before beginning operation. Do not insert a finger or any foreign object in the path of the fan; serious WARNING personal injury may result or the pump may be damaged.
  • Página 174 To shutdown the pump: Switch the pump OFF. If the pump is equipped with an optional inlet valve, the  isolation valve will close very quickly to isolate the vacuum chamber from the pump. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 175 Instructions for Use The IDP-10 employs an inverter driven 3-phase motor so that pump speed is independent of AC mains frequency. The pump has the following features: Local On/Off control via a user accessible slide switch  Remote On/Off control via switch closure to ground though the Dsub9 ...
  • Página 176 Figure 26 DSUB9 Pin Connections Table 14 DSUB9 Pin Connections Pin # Function Analog speed control input voltage 0-10 VDC External pump On/Off input, active LO Ground +10VDC output Reserved for Factory use Ground Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 177 Pin#8: Do not make any connection to this pin.  Pin#9: Shell: Chassis ground. (The shell is NOT connected to the signal ground pins).  Figure 27 RPM. vs. 0-10 V Speed Control Signal Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 178 Cleaning Exterior The exterior surfaces of the IDP-10 may be cleaned with a cloth slightly moistened with water. If is necessary alcohol or a mild detergent may be used instead. Do not pour or spray any liquids onto the pump.
  • Página 179 Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 28 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 180 Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 181 This device complies with the requirements of CISPR11, Group 1, Class A as radiation professional equipment. Therefore, there may be potential difficulties in ensuring electromagnetic compatibility in other environments, due to conducted as well as radiated disturbance. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 182 Make sure that appropriate cables are used to connect the device to peripheral  equipment. Changes or modifications not expressly approved by Agilent Technologies  could void the user's authority to operate the equipment. South Korean Class A EMC declaration This equipment is Class A suitable for professional use and is for use in electromagnetic environments outside of the home.
  • Página 183 Technical Information Technical Information Description of the IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Technical Specifications IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing Electrical Connections Power Cord Grounding Instructions Extension Cords Inrush Current Mechanical Connections Isolation Valve Pump Inlet Pump Exhaust Gas Ballast...
  • Página 184 X3810-64010 IDP-10 dry scroll vacuum pump, with integral inlet valve The Agilent IDP-10 dry scroll pump is an oil-free, compact, quiet, isolated vacuum pump with remote speed control. The IDP-10 uses an inverter-driven motor, providing uniform vacuum performance at all global frequencies and input voltages.
  • Página 185 Factory setting for X3810-64000 and X3810-64010 is 1900 rpm, there is optional default setting at 1800 rpm available. Cooling system Air-cooled Weight Pump only: 24.7 kg (55 lbs) Shipping weight: 28.1 kg (62 lbs) Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 186 GB1 for 15 minutes and/or flush with dry nitrogen. Ultimate pressure will varies for different configuration and RPM setting. **Mains supply voltage fluctuations shall not exceed 10% of the nominal voltage. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 187 Technical Information IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing Figure 29 Outline Drawing with Dimensions Figure 30 Pumping Speed Curves Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 188 Figure 31 Outline Drawing and Principal Items To mount from the 1/4" through hole mounting holes suitable for 1/4" or M6 hardware, first remove rubber feet secured by M3 hardware. Figure 32 Feet Label Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 189 Technical Information Electrical Connections Power Cord Several power cord options are available from your Agilent dealer. Descriptions of the available power cords and their ordering numbers are given in the following table. Table 16 IDP-10 Power Cord Selection Country Power Cord Specification...
  • Página 190 Extension Cords If you must use an extension cord with this product: For this product, Agilent recommends using only extension cords with a  minimum of 16-gage wire and a maximum length of 25 feet (7.6 m).
  • Página 191 Mechanical Connections Isolation Valve The IDP-10 has an optional integral automatic isolation valve. If the IDP-10 is equipped with this valve, an internal timer opens the valve 30 seconds after the pump is switched ON. If power is lost or the pump is switched OFF, the isolation valve will immediately close.
  • Página 192 CAUTION surfaces of the pump. Pumping water vapor loads in excess of the water vapor handling capability of the gas ballast can cause reduced time between tip seal replacements. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 193 IDP-10. A cable with both foil and braid shielding is recommended and must be attached per the connector manufacturer’s instructions to backshells that are either metal or metalized.
  • Página 194 This pump is designed for operation with neutral or noncorrosive materials. WARNING The IDP-10 is NOT intrinsically safe and should never be used with potentially explosive or flammable substances or in potentially explosive or flammable environments. It is the customer’s responsibility to ensure safety, even including in the case of pump failure.
  • Página 195 See Table 9 and Table 10. Replacement * The IDP-10 is equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector will automatically shut down the pump when it detects an overload condition, and will automatically restart the pump when the motor has cooled to within an acceptable temperature range.
  • Página 196 Agilent or an authorized rebuild center. Advance exchange pumps are available to minimize downtime. The parts needed for tip seal replacement on the IDP-10 are available in the kit described in Table 9. This kit contains seals and O-rings, and can be obtained from your Agilent dealer.
  • Página 197 If available use a vacuum cleaner to collect tip seal dust and debris. If seal debris is attached to the sides, use a razor or Exactor knife to scrape the debris off. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 198 5. Scroll Housing 6. Main O-ring; Parker 2-265 Viton 7. Tip Seal for Scroll Housing 8. Tip Seal for Orbiting Scroll 9. Orbiting Scroll 10. Frame Figure 34 Exploded View of Pump Bod Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 199 The pump is now ready to return to service. Newly installed Tip Seals may require several hours of run time to seat properly and NOTE enable the pump to meet speed and base pressure specifications. Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
  • Página 205 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Página 206 ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  This information is subject to change without notice. © Agilent Technologies, Inc. 2022 Agilent Technologies LDA Malaysia *X3810-90000* Edition 11/22 Sdn Bhd Bayan Lepas *X3810-90000* Issue C.00 Free Industrial Zone 11900 Bayan Lepas,...