Installation - Relyon plasma Piezobrush PZ2-i Manual De Instrucciones

Installation

5 Installation
Zur Installation des Geräts führen Sie die folgenden Punkte in der angegebenen
Reihenfolge durch:
1. Montieren Sie den Plasmaerzeuger über die zwei M4-
Gewindebohrungen sicher an einer stabilen
Aufnahmefläche. Das Gerät kann in jeder
Raumrichtung positioniert werden.
2. Konfektionieren Sie die Anschlussleitung wie unter
Punkt 2.4 beschrieben und verbinden Sie die Leitung
mit dem beiliegenden Netzteil sowie Ihrer
Anlagensteuerung.
3. Schließen Sie die Anschlussleitung an die
entsprechende Buchse des Plasmaerzeugers an und
ziehen Sie die Überwurfmutter handfest an.
4. Schließen Sie einen geeigneten Gasschlauch mit
Außendurchmesser Ø 4 mm an den entsprechenden
Gasanschluss am Plasmaerzeuger an und prüfen Sie
den festen Sitz des Gasschlauches.
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Der Plasmaerzeuger ist installiert.
Achtung – Geräteschaden!
Der Plasmaerzeuger kann beschädigt werden, wenn er ohne Gasfluss betrieben wird.
Hierdurch würde der im Betrieb nötige Zufluss von Kühlmedium unterbrochen werden.
- Schalten Sie auf keinen Fall die Plasmaerzeugung ein, bevor der Gasvorlauf
(2 Sekunden) eingeschaltet ist.
Der Plasmaerzeuger kann beschädigt werden, wenn sich elektrisch leitfähige
Gegenstände näher als 60 mm im Bereich des vorderen Drittels des Plasmaerzeugers
befinden. Ausnahme: Substrate vor der Düse bei Einsatz der Nearfield-Düse.
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