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D14641888 Issue L
Tabla 2 – Características de presión y voltaje de nitrógeno y aire seco: manómetros AIM-S y AIM-SL
Tensión de
Presión (mbar)
salida (V)
–8
1,0 × 10
–8
2,4 × 10
–8
5,8 × 10
–8
8,1 × 10
–7
1,1 × 10
–7
1,5 × 10
–7
2,1 × 10
–7
2,9 × 10
–7
4,0 × 10
–7
5,4 × 10
–7
7,3 × 10
–7
9,8 × 10
–6
1,3 × 10
–6
1,7 × 10
–6
2,2 × 10
–6
2,8 × 10
–6
3,6 × 10
–6
4,5 × 10
–6
5,6 × 10
4.4
Punto de ajuste
Nota:
Si conecta el manómetro AIM a un controlador AGC o un indicador AGD de Edwards, no se usará el punto
de ajuste.
Para ajustar la tensión a la que se activa la señal de salida del punto de ajuste, gire el potenciómetro del punto de
ajuste, al que se puede acceder a través de un orificio de acceso situado en la cofia del manómetro: consulte la
Figura
1. Gire el potenciómetro en sentido horario para aumentar la tensión o en sentido antihorario para reducirla.
Consulte la
Sección 4.3
para ver qué tensión de funcionamiento corresponde a cada presión.
El manómetro AIM dispone de una función de supervisión de errores que se asegura de que la señal de salida del punto
de ajuste esté desactivada:
cuando el manómetro está apagado (es decir, no activado);
durante los 0,5 segundos inmediatamente siguientes al encendido del manómetro AIM;
cuando la señal de salida de presión está fuera del intervalo admitido, posiblemente porque el manómetro
no se haya encendido (no haya arrancado).
Si es necesario, puede ajustar el potenciómetro de manera que la tensión de funcionamiento del punto de ajuste sea
< 1,8 V (es decir, girar el potenciómetro en sentido antihorario hasta llegar al límite). De este modo, la señal de
salida del punto de ajuste estará desactivada permanentemente.
Si es necesario, puede usar la señal de salida del punto de ajuste para saber cuándo está funcionando correctamente
el manómetro: ajuste el potenciómetro de manera que la tensión de funcionamiento del punto de ajuste sea > 10 V
(es decir, gire el potenciómetro en sentido horario hasta llegar al límite). Una vez hecho esto, siempre que el
manómetro esté funcionando con normalidad, se activará la señal de salida del punto de ajuste.
Nota:
Si configura la tensión de funcionamiento del punto de ajuste a > 9,5 V, la tensión de histéresis será > 10 V
y es posible que la señal de salida del punto de ajuste no se apague al aumentar la presión; en ese caso, la
señal de salida del punto de ajuste solamente se desactivará cuando se apague (se desactive) el manómetro.
Página 14
Presión (Torr)
–9
2,00
7,5 × 10
–8
2,50
1,8 × 10
–8
3,00
4,4 × 10
–8
3,20
6,1 × 10
–8
3,40
8,3 × 10
–7
3,60
1,1 × 10
–7
3,80
1,6 × 10
–7
4,00
2,2 × 10
–7
4,20
3,0 × 10
–7
4,40
4,1 × 10
–7
4,60
5,5 × 10
–7
4,80
7,4 × 10
–7
5,00
9,8 × 10
–6
5,20
1,3 × 10
–6
5,40
1,7 × 10
–6
5,60
2,1 × 10
–6
5,80
2,7 × 10
–6
6,00
3,4 × 10
–6
6,20
4,2 × 10
Tensión de
Presión (mbar)
salida (V)
–6
6,9 × 10
–6
8,4 × 10
–5
1,0 × 10
–5
1,2 × 10
–5
1,4 × 10
–5
1,7 × 10
–5
2,0 × 10
–5
2,4 × 10
–5
2,9 × 10
–5
3,5 × 10
–5
4,3 × 10
–5
5,7 × 10
–5
7,9 × 10
–4
1,2 × 10
–4
1,9 × 10
–4
3,3 × 10
–4
6,7 × 10
–3
1,7 × 10
–3
3,6 × 10
–2
1,0 × 10
© Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
Presión (Torr)
–6
6,40
5,2 × 10
–6
6,60
6,3 × 10
–6
6,80
7,5 × 10
–6
7,00
9,0 × 10
–5
7,20
1,1 × 10
–5
7,40
1,3 × 10
–5
7,60
1,5 × 10
–5
7,80
1,8 × 10
–5
8,00
2,2 × 10
–5
8,20
2,6 × 10
–5
8,40
3,2 × 10
–5
8,60
4,3 × 10
–5
8,80
5,9 × 10
–5
9,00
9,0 × 10
–4
9,20
1,4 × 10
–4
9,40
2,5 × 10
–4
9,60
5,0 × 10
–3
9,80
1,3 × 10
–3
9,90
2,7 × 10
–3
10,00
7,5 × 10
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