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Contenido
Sección
1
Introducción ....................................................................................... 1
1.1
Ámbito y definiciones ................................................................................................... 1
1.2
Descripción ............................................................................................................... 1
1.3
Dependencia del gas .................................................................................................... 2
2
Datos técnicos ..................................................................................... 5
2.1
Datos mecánicos ......................................................................................................... 5
2.2
Rendimiento y condiciones de funcionamiento y almacenamiento .............................................. 5
2.3
Datos eléctricos .......................................................................................................... 7
2.4
Supervisión de errores .................................................................................................. 7
2.5
Materiales expuestos al vacío .......................................................................................... 8
3
Instalación ......................................................................................... 9
3.1
Desembalaje e inspección .............................................................................................. 9
3.2
Colocación del manómetro AIM en el sistema de vacío ............................................................ 9
3.3
Conexiones eléctricas ................................................................................................... 9
3.3.1
Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD ...................................................... 9
3.3.2
Conexión con sus propios equipos de alimentación y control ....................................................10
4
Funcionamiento ................................................................................. 13
4.1
Seguridad ................................................................................................................ 13
4.2
Activación y desactivación del manómetro AIM .................................................................... 13
4.3
Medición de la presión .................................................................................................13
4.4
Punto de ajuste .........................................................................................................14
5
Mantenimiento .................................................................................. 15
5.1
Introducción ............................................................................................................. 15
5.2
Sustitución del barrilete ...............................................................................................15
5.2.1
Retirada del manómetro AIM del sistema de vacío ................................................................15
5.2.2
Colocación del nuevo barrilete ....................................................................................... 15
5.2.3
Recolocación del manómetro AIM en el sistema de vacío ........................................................15
5.3
Sustitución del conjunto del electrodo .............................................................................. 17
5.4
Sustitución de los componentes electrónicos y el alojamiento del imán ...................................... 17
5.5
Limpieza de los componentes internos .............................................................................. 17
5.6
Localización de averías ................................................................................................18
6
Almacenamiento y desecho ................................................................... 19
6.1
Almacenamiento ........................................................................................................19
6.2
Desecho .................................................................................................................. 19
6.3
Devolución de equipos o componentes para su reparación o mantenimiento ................................. 19
7
Recambios y accesorios ........................................................................ 21
7.1
Introducción ............................................................................................................. 21
7.2
Recambios ............................................................................................................... 21
7.3
Accesorios ................................................................................................................ 21
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D14641888 Issue L
Página
Página i
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