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Contenido
Sección
1
Introducción ....................................................................................... 1
1.1
Ámbito y definiciones ................................................................................................... 1
1.2
Descripción ............................................................................................................... 1
1.3
Dependencia del gas .................................................................................................... 2
2
Datos técnicos ..................................................................................... 5
2.1
Datos mecánicos ......................................................................................................... 5
2.2
Rendimiento y condiciones de funcionamiento y almacenamiento .............................................. 5
2.3
Datos eléctricos .......................................................................................................... 5
2.4
Materiales expuestos al vacío .......................................................................................... 6
3
Instalación ....................................................................................... 11
3.1
Desembalaje e inspección .............................................................................................11
3.2
Colocación del WRG en el sistema de vacío ........................................................................ 11
3.3
Conexiones eléctricas ..................................................................................................11
3.3.1
Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD .....................................................11
3.3.2
Conexión a los suministros del cliente y al equipo de control ...................................................12
4
Funcionamiento ................................................................................. 13
4.1
Seguridad ................................................................................................................ 13
4.2
Medición de la presión .................................................................................................14
4.3
Ajuste de la atmósfera .................................................................................................14
4.4
Ajuste de vacío ..........................................................................................................15
4.5
Punto de ajuste .........................................................................................................15
4.6
Supervisión de errores .................................................................................................16
5
Mantenimiento .................................................................................. 17
5.1
Introducción ............................................................................................................. 17
5.2
Sustitución del barrilete ...............................................................................................17
5.3
Sustitución de los conjuntos del electrodo y el manómetro Pirani ............................................. 18
5.4
Sustitución del alojamiento del imán y de los componentes electrónicos ..................................... 19
5.5
Limpieza de los componentes internos .............................................................................. 19
6
Almacenamiento y desecho ................................................................... 21
6.1
Almacenamiento ........................................................................................................21
6.2
Desecho .................................................................................................................. 21
7
Mantenimiento, recambios y accesorios .................................................... 23
7.1
Introducción ............................................................................................................. 23
7.2
Mantenimiento ..........................................................................................................23
7.2.1
Devolución de equipos o componentes para su reparación o mantenimiento ................................. 23
7.3
Recambios ............................................................................................................... 24
7.4
Accesorios ................................................................................................................ 24
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D14701888 Issue L
Página
Página i
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