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Scansys TA517 Manual de usuario
Z2, ±2 astigmatismo
Z3, ±1 coma
Z3, ±3 trilobal
Z4, 0 aberración esférica
Z4, ±2 alto orden (4) astigmatismo
Z4, ±4 defecto de cuatro hojas
Z5, ±1 alto orden (5) coma
Z5, ±3 alto orden (5) trilobal
Z5, ±5 defecto de cinco hojas
Z6, 0 alto orden (6) aberración esférica
Z6, ±2 alto orden (6) astigmatismo
Z6, ±4 alto orden (6) defecto de cuatro hojas
Z6, ±6 defecto de seis hojas
6.10.2 Análisis de aberraciones
Haga clic en la sección de la izquierda para iniciar la función de análisis de "Aberration" de Scansys
TA517. Como sigue,
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