Configuración Del Lds3000; Conexiones Lds3000; Especificaciones Del Lds3000 - Inficon LDS Retrofit Kit Traducción Del Manual De Instrucciones Original

5 | Instalación
5.8.6 Configuración del LDS3000

5.8.6.1 Conexiones LDS3000

5.8.6.2 Especificaciones del LDS3000

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Fig. 8: Conexiones LDS3000
1 ULTRA (DN1 6 KF)
2 FINE (DN 16 KF)
3 GROSS (DN 16 KF)
Modo de servicio
ULTRA KnL:
Pmax
S:
FINE KnL:
Pmax
S:
GROSS KnL:
Pmax
S:
Tab. 6: Especificaciones del LDS3000
KnL = Tasa de fuga mínima detectable
S = Rendimiento de aspiración
Las especificaciones indicadas en la tabla solo se alcanzan con una bomba rotativa
de paletas de dos niveles con las siguientes especificaciones:
4 GROSS (DN 16 KF)
5 FINE (DN 16 KF)
6 ULTRA (DN 25 KF)
Número de revoluciones de la
turbobomba
1000 Hz
5·10-12mbar· l/s
0,2 mbar
5 l/s
1·10-11mbar· l/s
0,9 mbar
1,8 l/s
1·10-9mbar· l/s
18 mbar
en función de la bomba de vacío previo
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
INFICON
1500 Hz
1·10-11mbar· l/s
0,2 mbar
6 l/s
5·10-11mbar· l/s
0,4 mbar
2,5 l/s
2·10-8mbar· l/s
15 mbar