Configuración De Vacío Lds3000 Para El Modo De Servicio Fine Con El Módulo De Bomba - Inficon LDS Retrofit Kit Traducción Del Manual De Instrucciones Original

5 | Instalación
5.8.6.4 Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio FINE
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con el módulo de bomba
Fig. 10: Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio FINE con el módulo de
bomba
1 Fuga calibrada interna (opción)
2 Espectrómetro de masas
3 Bomba turbomolecular
4 Punto de medición de presión pv
5 Módulo de bomba (opción)
6 Punto de medición de presión de
la cámara de inspección
7 Conexión ULTRA
8 Cámara de inspección
9 Suministro de gas de prueba
10 Válvula de entrada
11 Objeto de prueba
12 Válvula de la bomba
13 Bomba previa
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
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