Configuración De Vacío Lds3000 Para El Modo De Servicio Ultra Con El Módulo De Bomba - Inficon LDS Retrofit Kit Traducción Del Manual De Instrucciones Original

INFICON
5.8.6.5 Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio ULTRA
LDS-Retrofit-Kit-manual-de-instrucciones-jinb10es1-02-(1901)
con el módulo de bomba
Fig. 11: Configuración de vacío LDS3000 para el modo de servicio ULTRA con el módulo de
bomba
1 Fuga calibrada interna (opción)
2 Espectrómetro de masas
3 Bomba turbomolecular
4 Punto de medición de presión pv
5 Módulo de bomba (opción)
6 Punto de medición de presión de
la cámara de inspección
7 Válvula de entrada
8 Cámara de inspección
9 Suministro de gas de prueba
10 Objeto de prueba
11 Conexión ULTRA
12 Conexión FINE
13 Válvula de la bomba
14 Bomba previa
Instalación | 5
27 / 37