Cómo Trabaja El Instrumento; Descripción De Las Funciones - Inficon Ecotec E3000 Manual Tecnico

2 Cómo trabaja el instrumento
2.1 Descripción de las funciones
El Ecotec E3000 es capaz de detectar y cuantificar el refrigerante succionado a
través del conducto del sorbedor por medio de un espectrómetro de masa selectivo.
El Ecotec E3000 está compuesto por los siguientes subconjuntos principales:
• un espectrómetro de masa cuadrupolo como el sistema de detección
• un sistema de bomba de alto vacío
• un sistema de entrada para el flujo de gas
• los correspondientes subconjuntos eléctricos y electrónicos para el suministro de
energía y para acondicionamiento de señales.
Sniffer probe
external
internal
particle
particle
filter
filter
Transpector
TPD 021
pv
ECOTEC E3000
Fig. 2-1 Diagrama de vacío del Ecotec E3000
El espectrómetro de masa opera sólo bajo condiciones de alto vacío, p.ej. la presión
en el espectrómetro de masa debe estar siempre por debajo de 10
vacío es generado por la bomba turbo molecular con el apoyo de una bomba de
diafragma. La presión pV entre las dos bombas se mide con un sistema de medición
piezo resistivo y esta presión cae en el rango de 4 a 10 mbar mientras está en el
modo medición. Esta presión no debe exceder el valor de 10 mbar ya que de lo
contrario la bomba turbo molecular no sería capaz de mantener el vacío en el
espectrómetro de masa.
flow divider 1
flow
limiter 1
flow divider 2
flow
limiter 2
1
2
MVP 015
flow meter
Cómo trabaja el instrumento
-4
mbar. Este
2-1