4-32
Ajustes del equipo
Ítem del menú
Barra gráfica
Flujo sujeto a calibración
Página 6: Datos puerto I/O
Registro A
Registro B
Reposo
Cero
Gas a/b/selección
Entrada reservada
Fuga/listo/Error
Relé fuga
Relé listo
Salida reservada
Página 7: Datos analógicos
AIN3 longitud del sorbedor
AIN4 +5V II Fuga
AIN5 +24V III ext.
AIN6 +5V I Sorbedor
AIN8 –15V MC50
AIN8 +15V MC50
AIN10 +24V MC50
AIN11 +24V I TSP
AIN12 +24V II TMP
Página 8: Datos analógicos
AIN0
AIN0 offset
Presión del vacío previo
AIN1
Formato
sccm
V
V
Bajo / Alto
Bajo / Alto
bajo / bajo / bajo
alto / alto / alto
Bajo / Alto
bajo / bajo / bajo
alto / alto / alto
Bajo / Alto
Bajo / Alto
Bajo / Alto
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
V
mbar
V
Descripción