INFICON
Detección de
Realizar la detección de fugas
fugas
con He en el módulo de
módulo de
espectrómetro de masas
espectrómetro
de masas
12.4 Trabajos de mantenimiento
12.4.1 Sustituir el depósito de lubricante de la bomba
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
X: al cabo de horas de servicio o período de tiempo
X1: al cabo de horas de servicio
X2: al cabo de período de tiempo
1: en función del entorno y uso
turbomolecular
Kit de repuestos Depósito de lubricante de servicio
Volumen de suministro: Depósito de lubricante con junta
tórica pequeña (1 pieza), varillas Porex (8 piezas), junta
tórica para sellar la cubierta (1 pieza)
Llave de espigas
La bomba turbomolecular está llenada con un aceite para la lubricación de los
rodamientos de bolas. El cambio del depósito de lubricante se tiene que realizar,
como máximo, cada 2 años. Bajo condiciones extremas de uso de la bomba o en
procesos impuros es necesario cambiar el depósito de lubricante más a menudo.
La tapa de cierre del depósito de lubricante solo se puede desenroscar cuando la
bomba turbomolecular está inundada.
Inundar bomba turbomolecular
1
Ponga fuera de servicio el módulo de espectrómetro de masas, véase "Puesta
fuera de servicio [} 136]".
2
Espere hasta que la bomba turbomolecular se haya parado por inercia (mín. 1
min.).
3
Separe la fuente de alimentación de 24 V de la caja MSB.
4
En su caso, deje que se enfríe la bomba turbomolecular.
5
Desmonte la bomba turbomolecular.
6
Abra lentamente el tornillo de ventilación (1).
ð La bomba turbomolecular se inunda hasta la presión atmosférica.
X
Mantenimiento | 12
III
P/N: 200003801
P/N: 551-200
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