Página 1 Traducción del manual de instrucciones original LDS3000, LDS3000 AQ Módulo Espectrómetro de masas 560-300, 560-600 Versión del software igual o superior a MS-Modul 3.14 jiqa54es1-13-(2211)
Página 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Colonia, Alemania...
Página 3 4 Descripción.............................. 17 4.1 Función .............................. 17 4.2 Estructura del aparato.......................... 18 4.2.1 Aparato completo (LDS3000) ..................... 18 4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ) .................... 19 4.2.3 Bloque de conexión ........................ 23 4.2.4 Caja MSB............................ 23 4.2.5 Identificativos en el aparato ...................... 26 4.3 Datos técnicos............................
Página 4 Índice INFICON 6.4 Establecer las conexiones eléctricas ..................... 44 7 Funcionamiento LDS3000 ........................... 45 7.1 Conectar el aparato.......................... 45 7.2 Ajustes previos............................ 46 7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga .................... 47 7.4 Seleccionar la unidad para la presión .................... 48 7.5 Seleccionar modo de compatibilidad .....................
Página 5 8.20 Selección del cátodo .......................... 98 8.21 Resetear los ajustes.......................... 98 9 Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) ................ 100 9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación .................. 100 9.2 Ajustes para el módulo I/O IO1000 ...................... 100...
Página 6 Asignar las salidas digitales del módulo I/O .............. 110 9.3 Ajustes para el módulo de bus BM1000 .................... 112 10 Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) .............. 113 10.1 Representación del código de error con la ayuda de los LED de estado .......... 123 10.2 Mostrar advertencias como errores .....................
Página 7 12.3.5 Insertar el depósito de lubricante nuevo ................... 160 12.3.6 Confirmar el trabajo de mantenimiento.................. 163 12.4 LDS3000 AQ – componentes relevantes para el mantenimiento ............ 164 12.5 Plan de mantenimiento ........................ 165 13 Puesta fuera de servicio .......................... 167 13.1 Parar el detector de fugas........................
Página 8 Las presentes instrucciones de servicio describen el montaje y el manejo del módulo espectrómetro de masas LDS3000. Está disponible en dos variantes diferentes: • LDS3000 • LDS3000 AQ (acumulación), también conmutable para todos los demás modos de funcionamiento. 1.1 Otros documentos aplicables...
Página 9 La presión en el objeto de ensayo es mayor que la presión ambiente. FINE FINE designa la conexión a la bomba turbomolecular para presiones de entrada de hasta 0,4 mbar. Este también se emplea para el modo de servicio "Aspiración". LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 9 / 174...
Página 10 La cantidad de helio o hidrógeno presente en el aire de forma natural crea así un límite inferior constante. Presión de vacío previo La presión de vacío previo entre la bomba turbomolecular y la bomba de vacío previo. 10 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 11 Crea una señal de medición que baja lentamente. En caso de que desee ocultar este límite inferior o también la visualización de una fuga existente, puede ajustar la función ZERO. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 11 / 174...
Página 12 El LDS3000 AQ sirve para medir los gases de prueba para su enriquecimiento en una cámara de medición externa, pero también se puede remodelar para todos los demás fines.
Página 13 • No deje trabajar con el aparato o en él más que a personal instruido. El personal instruido deberá haber recibido formación práctica en el uso del aparato. • Cerciórese de que, antes de iniciar el trabajo, el personal encargado haya leído y comprendido estas instrucciones y todos los demás documentos aplicables. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 13 / 174...
Página 14 Si esto no se consigue, el módulo de espectrómetro de masas se rompe y se pueden causar daños materiales y personales. • Asegúrese de que la fijación del módulo de espectrómetro de masas pueda absorber un par de frenado de 820 Nm. 14 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 15 • Tome medidas de protección adecuadas. Peligro derivado de la Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con implosión de una aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se cámara de medición...
Página 16 Instrucción breve Lápiz USB con instrucciones, planos en 3D y vídeos 1º) Incluye o bien el AQ LDS3000 560-300 o bien el 560-600 LDS3000 (acumulación). 2º) Véase «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 39]». ► A la recepción del aparato, compruebe si el volumen de suministro está completo.
Página 17 El módulo de espectrómetro de masas forma parte del sistema de prueba de estanqueidad LDS3000 y LDS3000 AQ. Se puede utilizar en una instalación de comprobación junto con un módulo de bus o un módulo I/O y un cable de datos sin accesorios INFICON adicionales.
Página 18 INFICON 4.2 Estructura del aparato 4.2.1 Aparato completo (LDS3000) Fig. 1: Módulo de espectrómetro de masas LDS3000 Bloque de conexión. Conexiones para instalación de comprobación, bomba de vacío previo, sensor de presión PSG500, fuga calibrada interna y conducto de aspiración, consulte también "Bloque de conexión [} 23]".
Página 19 INFICON Descripción | 4 4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ) En la ejecución de acumulación, el módulo del espectrómetro de masas se integra en un procedimiento de medición particular a través del hardware y el software. Fig. 2: LDS3000 AQ (representación esquemática) 1 Sistema de ventiladores 2 Cámara de medición con presión atmosférica...
Página 20 1 Sensor de presión PSG500 para la medición de la presión de entrada 2 Brida de regulación GROSS con manguera de conexión a la bomba de vacío previo 3 Tubo flexible a la cámara de medición 4 Módulo de entrada 5 Conexiones ULTRA brida ciega 20 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 21 ZERO se encuentran en la unidad de manejo CU1000 de INFICON. Véase también «Seleccionar los componentes y establecer las conexiones [} 39]». Accesorio opcional Con la excepción de la cámara de medición, INFICON también oferta las piezas de INFICON necesarias.
Página 22 • Conexiones ISO-KF (p. ej. brida roscada), disponibles en la página web de INFICON en "Componentes de vacío". • Anillos de centrado ISO-K y juntas, disponibles en la página web de INFICON en "Componentes de vacío". • Fuente de alimentación en carril DIN 24 V, 10 A de INFICON (código 560-324) para bomba de vacío previa seca de INFICON.
Página 23 Conexión eléctrica para el conducto de aspiración GAUGES, EXT Conexión para puntos de medición de presión externos opcionales (0 ... 10 V/0 … 20 mA) para el servicio técnico de INFICON Asignación de conectores Salida de +24 V, máx. 200 mA Entrada para punto de medición de presión del servicio técnico P3, 0...
Página 24 CONTROL UNIT, I/O / ANYBUS Conexión para módulo I/O o módulo de bus o unidad de manejo.Longitud del cable de datos INFICON < 30 m. Para evitar que se muestren valores de medición erróneos se deberán respetar las longitudes de cable máximas mencionadas.
Página 25 Tensión de alimentación > 26,4 V deprisa Verde, parpadea Se está actualizando el software Verde Verde, parpadea Se está actualizando el software 3 (véase también la imagen caja MSB) Conexión para el preamplificador ION SOURCE Conexión para la fuente iónica LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 25 / 174...
Página 26 A Tensión de servicio 24 V +/-5% Grado de protección IP EN 60529 IP30 UL 50E tipo 1 Datos físicos 560-300, 560-600 Tiempo de respuesta modo de muestreo Gross: < 5 s, Fine/Ultra: < 1 s 26 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 27 40 °C Humedad máx. 31°C Temperatura de almacenamiento -20 °C ... 60 °C Grado de contaminación 4.4 Ajustes de fábrica Parámetros Ajuste de fábrica Exponente límite superior 1 x 10 Modo de servicio Vacío AQ Mode 1 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 27 / 174...
Página 28 Factor de calibración VAC/SNIF Mx (para vacío, aspiración y todas las masas) Selección de cátodos Auto Cat1 Modo de compatibilidad LDS3000 Config. salida analógica 1 Mantisa tasa de fuga Config. salida analógica 2 Exponente tasa de fuga Config. Salida analógica escala 0,5V / década...
Página 29 Detección del conducto de aspiración Punta de muestreo tecla ZERO Idioma Inglés Número de revoluciones TMP 1500 1000 Nivel de disparo 1 (2, 3, 4) 1 x 10 mbar l/s 5 x 10 (1 x 10 ) mbar l/s LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 29 / 174...
Página 30 4 | Descripción INFICON Parámetros Ajuste de fábrica Comprobación del preamplificador en Mostrar advertencia como error (1 - 8) Ninguna entrada Mensaje de mantenimiento ZERO al iniciar Modo ZERO Suprimir todo 1) en el modo AQ 30 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 31 INFICON Montaje LDS3000 | 5 5 Montaje LDS3000 5.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje Seleccionar la ubicación Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de medición. Para obtener mediciones fiables con el aparato, el contenido de helio en el aire debe ser menor que 10 ppm.
Página 32 5 | Montaje LDS3000 INFICON 5.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones. Fig. 9: Componentes de un elemento de fijación Tornillo Allen M8 x 50...
Página 33 Los siguientes datos son válidos en caso de uso de helio como gas de prueba. Para alcanzar la KnL se tienen que cumplir las siguientes condiciones: • El LDS3000 debe estar en funcionamiento desde hace 20 minutos, como mínimo. • Las condiciones ambientales deben ser estables (temperatura, ausencia de...
Página 34 5 | Montaje LDS3000 INFICON • El objeto de ensayo tiene que funcionar con ZERO desconectado hasta que la base sea estable. Solo después se permite activar la función ZERO. Conexión Número de revoluciones bomba turbomolecular 1000 Hz 1500 Hz...
Página 35 24 V +/-5%, corriente máxima admisible: mín. 10 A ► Prever un cortocircuito de 15 A para el suministro del LDS3000. ► Utilice un cable de alimentación eléctrica con una sección transversal suficiente.
Página 36 6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 6 Montaje LDS3000 AQ (acumulación) 6.1 Adaptar la posición de las conexiones a las condiciones de montaje Seleccionar la ubicación Escoja un entorno a ser posible libre de helio para llevar a cabo el procedimiento de medición.
Página 37 INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 6.2 Montar el módulo de espectrómetro de masas en la instalación de comprobación El módulo de espectrómetro de masas se puede montar en todas las posiciones. Fig. 11: Componentes de un elemento de fijación...
Página 38 6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación) INFICON En el estado de entrega, los cojinetes están fijados en el bastidor base con la ayuda de los tornillos Allen y las tuercas de transporte. Para el montaje del módulo de espectrómetro de masas, utilice las tuercas autobloqueantes adjuntas, no las tuercas de transporte.
Página 39 Bomba de vacío previa seca con alimentación eléctrica separada. No se incluye en la entrega. La "Bomba de membrana LDS AQ" se puede pedir a INFICON con el número de pedido 560-630 y el "DIN Rail Power Supply 24 V, 10 A" con el número de pedido 560-324.
Página 40 Puede utilizar todas las bombas de vacío secas con un caudal de gas de más de 60 sccm con una presión base de menos de 5 mbar. En estas instrucciones se describe cómo utilizar la bomba de vacío previa seca de INFICON (número de catálogo 560-630).
Página 41 INFICON Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 ð En caso contrario, conecte los cables Plus y Minus con virolas 8 mm AWG 18 con aislamiento rojo en los bornes y después conecte los cables con una fuente de corriente continua, 24 V +/- 10 %, 5 A.
Página 42 Bomba de vacío previa seca con alimentación eléctrica separada. No se incluye en la entrega. La "Bomba de membrana LDS AQ" se puede pedir a INFICON con el número de pedido 560-630 y el "DIN Rail Power Supply 24 V, 10 A" con el número de pedido 560-324.
Página 43 Montaje LDS3000 AQ (acumulación) | 6 ü Dispone de una cámara de medición apropiada. La información sobre la cámara de medición se puede obtener de INFICON. Tenga en cuenta que una cámara de medición que sea estanca, pero que no sea resistente al vacío puede implosionar si continúa drenándose sobrepasando el...
Página 44 24 V +/-5%, corriente máxima admisible: mín. 10 A ► Prever un cortocircuito de 15 A para el suministro del LDS3000 AQ. ► Utilice un cable de alimentación eléctrica con una sección transversal suficiente.
Página 45 (funcionamiento en "High Flow"). Los aparatos LDS3000 AQ también se pueden usar si no se operan en el modo AQ. Más información sobre la unidad de manejo, los módulos y el XL Sniffer Adapter se encuentran en los documentos: •...
Página 46 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON ð El sistema arranca automáticamente. ð Si un XL Sniffer Adapter y el CU1000 están conectados, después del arranque se le preguntará si desea ajustar el modo de servicio "XL Sniffer Adapter". Esto no se aplica en los aparatos en el modo AQ.
Página 47 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 7.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga Indicación unidad Selección de la unidad de tasa de fuga en el display para vacío y muestreo de tasa de fuga mbar l/s (Ajustes de fábrica)
Página 48 Se muestra el idioma según los ajustes de fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 46]“. Si posteriormente desea volver a utilizar el LDS3000 en el modo normal, guarde antes sus parámetros en una memoria USB, consulte "Guardar y cargar parámetros [} 64]".
Página 49 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 La siguiente tabla muestra las diferencias funcionales y los puntos en común de LDS2010 y LDS3000: LDS2010 LDS3000 Salidas de disparador sin referencia común con referencia común Otras salidas con referencia común con referencia común Disparador 1 (LED de muestreo, Activación LED de muestreo, salida...
Página 50 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON LDS2010 LDS3000 Número de revoluciones de la solo 2 números de revoluciones ajustable mediante puertos en serie bomba turbomolecular de 750 Hz hasta 1500 Hz, mediante panel de mando 1000 Hz y 1500 Hz Dirección RS485 sí, apto para bus...
Página 51 Comando 401 Protocolo ASCII Comando *CONFig:MODE En el LDS3000 AQ, el modo de servicio se indica con el texto «AQ» o los valores «3» o «4». ► Para cambiar el modo de servicio en el LDS3000 AQ, modifique el «modo de compatibilidad», véase «Seleccionar modo de compatibilidad [} 81]».
Página 52 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON 7.8 Calibrar el aparato 7.8.1 Momento y ajustes previos generales INDICACIÓN Calibración incorrecta debido a una temperatura de funcionamiento demasiado baja Si se calibra el aparato cuando está frío, puede suministrar resultados de medición incorrectos.
Página 53 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Solicitud de calibrado O bien Ajustes > Configurar > Notificaciones > Solic. CAL > Solicitud de calibrado Protocolo LD Comando 419 Protocolo ASCII...
Página 54 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON externa – Modo de vacío: con fuga calibrada externa en una instalación de comprobación – Modo de muestreo: con fuga calibrada externa – Consideración de las características de la instalación de comprobación (presión, proporción de flujo parcial) –...
Página 55 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Abierto Unidad de manejo Funciones > Válvulas > Abrir fuga calibrada interna Protocolo LD Comando 12 Protocolo ASCII Comando *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF) ► Iniciar la calibración Unidad de manejo: Funciones > CAL > interna Protocolo LD: 4, Parámetro 0 Protocolo ASCII: *CAL:INT IO1000: CAL interna, consulte "Ajustes para el módulo I/O IO1000 [} 100]"...
Página 56 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Fuga cal. ext. > Masa 2 (3, 4) > Fuga calibrada externa SNIF H2 (M3, He) O bien Funciones > CAL > Ajustes > Fuga cal. ext. (para la masa...
Página 57 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Fig. 14: Calibración externa con IO1000 en el ejemplo del conducto de aspiración SL3000XL, descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas y salidas [} 100]" 7.8.4 Iniciar la calibración dinámica externa Para tener en cuenta condiciones de tiempo y presión especiales en un sistema de prueba, se puede efectuar una calibración dinámica.
Página 58 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Abra la fuga calibrada externa o coloque el conducto de aspiración junto a la fuga calibrada. Inicie la medición. Espere hasta el momento en el que la señal de la tasa de fuga se ajuste de forma óptima al procedimiento de medición normal de la instalación.
Página 59 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Fig. 15: Fig. 7 Calibración externa dinámica con IO1000 en el ejemplo del conducto de aspiración SL3000XL, descripción de las entradas y salidas de PCL, consulte "Asignar entradas y salidas [} 100]" 7.8.5 Calibración externa con el conducto de aspiración SL3000XL El procedimiento corresponde al de una calibración externa o externa dinámica en el...
Página 60 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Para la calibración recomendamos nuestra fuga calibrada con el número de catálogo 12322. 7.8.6 Comprobar calibración Para comprobar si una calibración es necesaria, puede comprobar las existentes. 7.8.6.1 Comprobar calibración con fuga calibrada interna Esta prueba solamente es posible con el ajuste "Masa 4".
Página 61 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 ð La prueba está terminada cuando: Unidad de manejo: Se muestra el resultado de la prueba Protocolo LD: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo Protocolo ASCII: Como en los otros pasos, se tiene que consultar el desarrollo IO1000 compare la imagen en "Configurar e iniciar calibración externa [} 55]".
Página 62 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Protocolo LD Comando 520 Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALVac 7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo La calibración interna calibra únicamente el sistema de medición del módulo de espectrómetro de masas que se encuentra desacoplado de la instalación de comprobación.
Página 63 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Ajustar el factor de Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de muestreo muestreo Rango de valores 1E-4...1E+4 Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear >...
Página 64 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON ð Se ha determinado el factor máquina o de muestreo. 7.9 Iniciar y parar la medición Conmuta entre los modos de medición y Standby START = Standby --> Medición STOP = Medición --> Standby Unidad de manejo Funciones >...
Página 65 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 ü El modo de compatibilidad ajustado debe coincidir con el modo de compatibilidad en el archivo de parámetros. Véase también Seleccionar modo de compatibilidad [} 48]. ► "Funciones > Datos > Parámetro > Cargar > Cargar parámetros"...
Página 66 7.13 Suprimir límites inferiores de gas con I·ZERO 3.0 Beta I·ZERO 3.0 Beta está solo disponible para LDS3000 en el modo de servicio vacío con helio como gas de prueba, no para LDS3000 AQ. I·ZERO 3.0 Beta se encuentra en un estado de desarrollo temprano.
Página 67 Bombee la cámara de vacío con la máxima presión de entrada del conector de LDS3000 seleccionado. Abra la válvula hacia el LDS3000. Espere tres segundos para activar después ZERO de la siguiente forma. Unidad de manejo: a través de una tecla de favoritos correctamente configurada, ver arriba.
Página 68 • el límite inferior definitivo para la cámara de vacío se muestra como fuga. • Con un límite inferior prácticamente estable, la supresión de ZERO solo alcanza el factor 3. En este caso emplee la función ZERO estándar del LDS3000. Véase también «Suprimir límites inferiores de gas con las funciones ZERO [} 65]».
Página 69 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 • Si la capacidad de aspiración desciende fuertemente tras la activación de ZERO, se mostrará una fuga. No emplee I·ZERO 3.0 Beta cerca la presión final de la bomba previa empleada. • No desconecte la posible bomba adicional empleada para la cámara de medición después de haber activado I·ZERO 3.0 Beta.
Página 70 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON 1E-11 ... 9.9E-3 Unidad de manejo Ajustes > ZERO/filtro > Ajustes filtro > 2 niveles Protocolo LD Comando 403 Protocolo ASCII Comando *CONFig:LRFilter Ajustar el tiempo Intervalo de actualización para el valor de offset con señal de tasa de fuga negativa de filtro ZERO (salvo para el filtro I•CAL).
Página 71 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Indicación: En la unidad de manejo se muestran los límites de indicación actuales al ajustar entre ambos parámetros de ajuste. Mediante el protocolo LD se pueden leer los límites de indicación actuales con el comando 399.
Página 72 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Valor de presión Para detectar una interrupción del capilar de 25/300 sccm, se ajusta un valor de capilar presión máxima. Si se supera este valor, el sistema emite el mensaje de advertencia roto 542. 1E-3 ... 18 mbar Unidad de Ajustes >...
Página 73 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Protocolo LD Protocolo ASCII *CONFig:SPEEDTMP 7.20 Selección del cátodo Selección de un El espectrómetro de masas tiene dos cátodos. En los ajustes de fábrica el aparato cátodo usa el cátodo 1. Si este está defectuoso, el aparato cambia automáticamente a otro cátodo.
Página 74 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON • Función Search conectada y funcionamiento en High Flow: Alarma, cuando se supera el Valor de disparo 2. Unidad de Ajustes > Disparador > Search manejo Protocolo LD Comando 380 Protocolo ASCII Comando *CONFig:SEARch En el SL3000XL la barra de la tasa de fuga, el cambio de la iluminación de fondo, el zumbador y el cambio de la iluminación de la punta de aspiración dependen del...
Página 75 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Protocolo LD Comando 417 Protocolo ASCII Comando *CONFig:BEEP Indicación de la En el muestreo con formigas se utiliza hidrógeno. Con este dato se tiene en cuenta proporción de la proporción de hidrógeno. De esta manera, la tasa de fuga indicada se incrementa hidrógeno...
Página 76 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Husmear > Capilar > manejo Roto XL > Presión capilar roto XL Protocolo LD Comando 456 Protocolo ASCII Comando *CONFig:PRESSXLHigh Seleccionar flujo Seleccione Low Flow o High Flow. Nota: La selección se puede realizar con la tecla derecha de la punta de muestreo o asignar a una de las teclas de favoritos en la unidad de manejo.
Página 77 INFICON Funcionamiento LDS3000 | 7 Presión absoluta del gas de prueba en el objeto de ensayo (en bar) Presión absoluta del gas de equivalencia en el objeto de ensayo (en bar) Ejemplo Se debe revisar un sistema de aire acondicionado para comprobar si hay fugas.
Página 78 7 | Funcionamiento LDS3000 INFICON ð Si el factor de equivalencia no es igual a 1 o la masa molar no se ha ajustado en fábrica, el factor de equivalencia se muestra tanto en el resultado de la calibración como en la pantalla de medición.
Página 79 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 8 Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) 8.1 Conectar el aparato Conecte la bomba de vacío previo. Establezca la alimentación de tensión hacia el módulo de espectrómetro de masas. ð El sistema arranca automáticamente.
Página 80 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Ajustar la hora Formato hh:mm Unidad de manejo Ajustes > Fecha/hora > Hora Protocolo LD Comando 450 Protocolo ASCII *HOUR:TIME 8.3 Seleccionar la unidad para la tasa de fuga Indicación unidad Selección de la unidad de tasa de fuga en el display para vacío y muestreo...
Página 81 Se muestra el idioma según los ajustes de fábrica. Para modificar el idioma, consulte “Ajustes previos [} 79]“. Si desea poner el LDS3000 ahora en otro modo y más tarde volver al modo ajustado anteriormente, guarde primero los parámetros en una memoria USB, véase «Guardar y cargar parámetros [} 95]».
Página 82 «Realizar los ajustes básicos con el asistente [} 84]». Para el modo de medición, véase «Realizar la medición [} 94]». • LDS1000: Modo de compatibilidad para reequipar con un LDS3000 un sistema de prueba de estanqueidad LDS1000 ya existente. • LDS2010: Modo de compatibilidad para reequipar con un LDS3000 un sistema de prueba de estanqueidad LDS2010 ya existente.
Página 83 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 LDS2010 LDS3000 Gas de traza (3 ajustes) OFF: Desconecta la válvula de gas 0 = OFF, traza del módulo de bombeo. 1 = on, pero gobernable mediante ON: Conecta la válvula de gas entrada digital en IO1000 traza del módulo de bombeo hasta...
Página 84 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON LDS2010 LDS3000 Margen de ajuste factor máquina/ Factor máquina: 1E-3...9.9E+3 Factor máquina: 1E-4...1E+5 muestreo Factor de muestreo: 1E-3...9.9E+3 Factor de muestreo: 1E-4...1E+4 Presión: Control del capilar 20 presente, presión ajustable Salida analógica Características fijas...
Página 85 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 2. Nivel de disparo 1 (Protocolo LD / ASCII: Véase «Ajustar valores de disparo [} 71]») 3. Masa (elección entre helio o formigás) (Protocolo LD/ASCII: Véase «Seleccionar tipo de gas (masa) [} 51]»...
Página 86 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Confirme con “OK”. ð Se abre la ventana "Peak CAL". Extraiga la fuga calibrada de la cámara. Si ha ajustado el modo de compatibilidad «AQ Mode 1», espere hasta que el límite inferior sea estable y a continuación inicie el ajuste con «OK».
Página 87 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Registre el gas deseado y la tasa de fugas correspondiente. (Protocolo LD: Comando 390 Protocolo ASCII: *CONFig:CALleak:EXTVac) 8.9 Calibrar el aparato 8.9.1 Momento y ajustes previos generales INDICACIÓN Calibración incorrecta debido a una temperatura de funcionamiento demasiado baja Si se calibra el aparato cuando está...
Página 88 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON Unidad de manejo Funciones > CAL > Ajustes > Solic CAL > Solicitud de calibrado O bien Ajustes > Configurar > Notificaciones > Solic. CAL > Solicitud de calibrado Protocolo LD...
Página 89 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Fac.calib. >Masa 2 (3, 4) > Factor de calibrado VAC H2 (M3, He) Protocolo LD Comando 520 Protocolo ASCII Comando *FACtor:CALVac 8.9.4 Calibrar...
Página 90 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON ð Espere hasta que alcance este estado: Protocolo LD: Comando 260 Estado 75 "WAIT_ZERO_AQ" Protocolo ASCII: *STATus:CAL? en“CLOSE“ IO1000: Entrada "CAL estable", ver también la siguiente imagen Elimine la fuga calibrada de la cámara de medición y cierre la cámara de medición.
Página 91 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Fig. 17: Calibrado externo con IO1000 en un aparato para el modo AQ. Para la descripción de las entradas y salidas PLC, véase «Asignar entradas y salidas [} 100]». 8.10 Iniciar y detener la medición (modo AQ 2) Válido solo para el «AQ Mode 2».
Página 92 2 Realizar la medición [} 94] 8.11 Ejecutar ZERO Después del arranque del LDS3000 AQ y la elección del formigás como tipo de gas, el hidrógeno existente del sistema de vacío se ocupa inicialmente de que en la pantalla se pueda ver una curva ascendente (AQ Mode 1). Esta indicación se puede malinterpretar como la indicación de una fuga.
Página 93 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 de flujo parcial), el sistema de medición indica una tasa de fuga demasiado pequeña, conforme a la proporción de flujo parcial. Con la ayuda de un factor máquina corrector para el modo de vacío y un factor de muestreo para el modo de muestreo, el sistema de medición indica la tasa de fuga efectiva.
Página 94 ADVERTENCIA Peligro derivado de la implosión de una cámara de medición Una cámara de medición externa que se conecta a un LDS3000 AQ se drena con aprox. 60 sccm. Si se respeta el tiempo de medición habitual (2 - 30 segundos), no se genera una presión negativa peligrosa.
Página 95 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Si ha ajustado el modo de compatibilidad «AQ Mode 1», deje pasar el tiempo de medición ajustado. En el «AQ Mode 1» no se utilizan las teclas Start y Stop. ð La tasa de fugas de calcula y se muestra. Debido a la medición continua sin fin, el tiempo necesario para obtener el resultado de un ciclo de medición...
Página 96 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 8.16 Adaptar el "Factor tiempo Zero AQ" Válido solo para el «AQ Mode 1». Véase también «Seleccionar modo de compatibilidad [} 81]». Para evitar tasas de fuga aparentemente negativas en la medición con formigas, después de cierto tiempo (factor tiempo zero AQ x tiempo de medición) la indicación...
Página 97 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Unidad de Ajustes > Configurar > Modos de servicio > AQ > Límites de manejo presión > Presión mín. > Presión mín. modo AQ Protocolo LD Comando 532 Protocolo ASCII Orden *CONFig:PRESSACCULow Presión máx.
Página 98 8 | Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) INFICON 8.20 Selección del cátodo Selección de un El espectrómetro de masas tiene dos cátodos. En los ajustes de fábrica el aparato cátodo usa el cátodo 1. Si este está defectuoso, el aparato cambia automáticamente a otro cátodo.
Página 99 INFICON Modo de servicio LDS3000 AQ (acumulación) | 8 Para la unidad de manejo se aplica lo siguiente: En función del modo ajustado en cada momento, se elige automáticamente el valor correspondiente para el restablecimiento de los ajustes de ese modo.
Página 100 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON 9 Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) 9.1 Seleccionar el tipo del módulo de ampliación Seleccionar el Seleccione el tipo del módulo conectado a la conexión I/O módulo de...
Página 101 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Unidad de Ajustes > Configurar > Interfaces > Módulo I/O > Salida an. > manejo Config. Salida analógica 1/2 Protocolo LD Comando 222, 223, 224 Protocolo ASCII Comando *CONFig:RECorder:LINK1...
Página 102 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON El límite superior (=10 V) se ajusta a través del parámetro «Exponente valor límite superior». El valor inferior siempre es 0 (tasa de fuga), lo cual se corresponde con una tensión de salida de 0 V. El exponente del valor límite superior puede ajustarse en décadas enteras, p.
Página 103 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Fig. 18: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log. 1 V/década Fig. 19: Tensión de salida analógica Tasa de fuga log. 5 V/década Tensiones de salida En caso de error se encuentran las siguientes tensiones en las salidas analógicas:...
Página 104 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 10 V LDS3000 10,237 V Configuración Para la transmisión de los ajustes de LDS2010 a LDS3000 se puede utilizar la (compatible con siguiente tabla. LDS2010) LDS2010 Salida Función LDS2010 Función...
Página 105 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite Ajus. analógica LDS3000 tasa de fuga superior Punto del del canal (10 V = ...) menú 22 Tasa de fuga log. en Pa m³/s Tasa de 1 V/déc.
Página 106 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite Ajus. analógica LDS3000 tasa de fuga superior Punto del del canal (10 V = ...) menú 22 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 2 V/déc.
Página 107 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite Ajus. analógica LDS3000 tasa de fuga superior Punto del del canal (10 V = ...) menú 22 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 1 V/déc.
Página 108 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON LDS2010 Salida Función LDS2010 Función Escala de la Límite Ajus. analógica LDS3000 tasa de fuga superior Punto del del canal (10 V = ...) menú 22 Tasa de fuga log. en mbar l/s Tasa de 1 V/déc.
Página 109 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Función Flanco/ Descripción estado: CAL externa inactivo → activo: Iniciar la calibración externa. activo → inactivo: Aplicar el valor para el límite inferior y terminar la calibración. CAL interno inactivo →...
Página 110 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Función Flanco/ Descripción estado: Actualizar ZERO inactivo → activo: Actualizar o activar ZERO activo → inactivo: Sin función Abrir fuga inactivo → activo: Abrir fuga calibrada interna calibrada activo → inactivo:...
Página 111 INFICON Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) | 9 Función Estado: Descripción Trigger 3 cerrado: Se ha sobrepasado el valor umbral de tasa de fuga disparo 3 abierto: Se ha pasado por debajo del valor umbral de tasa de fuga disparo 3...
Página 112 9 | Usar el módulo de ampliación (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Función Estado: Descripción Error o cerrado: Error o advertencia advertencia abierto: Sin error o advertencia Gas de traza cerrado: El gas de traza está activo abierto: El gas de traza no está activo...
Página 113 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 10 Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) El aparato está dotado de funciones de autodiagnóstico muy completas. Mensajes de error Los errores son incidencias que el aparato no puede subsanar por sí mismo y obligan a interrumpir el funcionamiento.
Página 114 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn122 El módulo de bus no Conexión con el módulo de bus...
Página 115 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn204 Tensión 24V_PWR34 20 V Cortocircuito en la válvula 3 o...
Página 116 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 3xx sistema de detección (offset preamplificador, comprobación del preamplificador, emisión, comprobación del cátodo)
Página 117 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn332 Sistema contaminado con Tasa de fuga muy negativa (p.
Página 118 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn361 Offset preamplificador >+/-50 mV...
Página 119 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Err420 Tensión TMP demasiado Fuente de alimentación...
Página 120 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn522 Aumento de presión, caída <...
Página 121 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn601 Factor de calibrado 10000 Fuga de calibración o factor...
Página 122 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn630 Solicitud de calibrado Entre otros con variación de la...
Página 123 INFICON Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10 Adverten Indicación de error Número de error Valores Causa cia (Wrn) LDS3000 límite LDS1000 Binario o Protocol ASCII Error Protocolo (Err) Modo de compatibil idad LDS1000/ LDS2010 Wrn710 Temperatura MSB 55 °C...
Página 124 10 | Mensajes de advertencia y error (LDS3000, LDS3000 AQ) INFICON Ejemplo: La presión es demasiado alta. -> Código de error = Advertencia 520 -> Código parpadeante del LED de estado: blanco (prolongado), 5·naranja, azul, 2·naranja, azul 10.2 Mostrar advertencias como errores Es posible pasar hasta 8 mensajes de advertencia aleatorios a la categoría de mensajes de error.
Página 125 Tasa de fuga con la función Peak Hold 10 Representación gráfica de la tasa 11 Eje del tiempo 12 Presión de vacío previo de fuga y de la función Peak Hold 13 Tecla "Favorito 2" 14 Tecla "Favorito 1" 15 Menú LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 125 / 174...
Página 126 En el aparato están guardados unos mensajes de advertencia activos. Los mensajes de advertencia activos se pueden visualizar a través del menú «Información > Historial > Advertencias activas». 7 - Gas de prueba Gas de prueba ajustado y concentración del gas de prueba en %. 126 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 127 Bajo esta tecla se pueden guardar los parámetros favoritos, véase “Ajustes de la pantalla táctil [} 129]“. En la figura de "Elementos de la pantalla de medición [} 125]", la tecla "Favorito 1" tiene asignada la función "Volumen" como ejemplo. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 127 / 174...
Página 128 También encontrará una vista general de los posibles errores u advertencias en las instrucciones de servicio para el LDS3000 (módulo del espectrómetro de masas), capítulo "Mensajes de advertencia y de error". 128 / 174...
Página 129 A continuación se explican los ajustes y las funciones de la unidad de manejo. Los ajustes y las funciones del módulo de espectrómetro de masas LDS3000 que se ajustan a través de la unidad de manejo están listados en las instrucciones de servicio del módulo de espectrómetro de masas.
Página 130 Favorito 1: Botón central (vea la figura en “Elementos de la pantalla de medición [} 125]“). Favorito 2: Tecla derecha Favorito 3: Tecla abajo a la derecha en el menú principal. Volumen Conmutación del flujo Ajustes de pantalla Comprobar CAL 130 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 131 El intervalo de frecuencia va de 300 Hz hasta 3300 Setpoint: La altura del sonido es proporcional a la tasa de fuga. Se emite el tono cuando la tasa de fuga ha superado el disparador seleccionado. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 131 / 174...
Página 132 (0000 ... 9999). Desde la fábrica, se ha asignado "0000" a todos los operadores. Si un operador conserva el PIN "0000", se inicia siempre la sesión con este operador al iniciar el sistema (sin pedir el PIN). 132 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 133 Introducir el desarrollo del mantenimiento El menú "Service" solo es accesible para el Servicio técnico INFICON. Cargar parámetros Los parámetros guardados/salvados del panel de mando CU1000 y del módulo de espectrómetro de masas se pueden cargar desde un lápiz USB.
Página 134 • Sello horario (la medición indica el offset en segundos frente a la hora de inicio) • Nombre de archivo • Sello horario (offset en segundos frente a la hora de inicio) • Tasa de fuga (en la unidad de indicación seleccionada) • Presión p1 (en la unidad de indicación seleccionada) 134 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 135 • Electronic • TMP Energía y horas de • Energy values: información sobre los valores de consumo servicio • Operation hours: indicación de las horas de servicio • Supply voltages: información sobre las tensiones de alimentación internas LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 135 / 174...
Página 136 • Preamplifier: información sobre el preamplificador • Preamplifier test: información sobre la prueba del preamplificador. Interfaces • Módulo I/O (1): Información de la versión de software, entradas y salidas • Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales 136 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 137 Funcionamiento CU1000 (opcional) | 11 Fig. 21: Módulo I/O (2): Información visualizada de las entradas digitales Estado de la señal de entrada Función configurada (INV = la función está invertida) Estado de la función (activo o inactivo) LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 137 / 174...
Página 138 Las explicaciones sobre la tasa de equivalencia hacen referencia únicamente al modo de muestreo. Si mide helio o hidrógeno con los gases de prueba, pero desea mostrar otro gas con su tasa de fuga, utilice un factor de corrección para el gas de prueba utilizado. 138 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 139 11.3.6.1 Selección de equivalente de gas Unidad de manejo: Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Tasa de fuga equivalente > Equi. gas». En la ventana «Selección de equivalente de gas» puede reaccionar a diferentes situaciones: LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 139 / 174...
Página 140 «Nombre gas de equivalencia» y confirme la elección. A continuación introduzca la masa molar y el factor de viscosidad del gas de equivalencia. Póngase en contacto con INFICON para cualquier gas que no se encuentre en la biblioteca de gases.
Página 141 Presión absoluta del gas de prueba en el objeto de ensayo (en bar) Presión absoluta del gas de equivalencia en el objeto de ensayo (en bar) Ejemplo Se debe revisar un sistema de aire acondicionado para comprobar si hay fugas. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 141 / 174...
Página 142 Como en el caso anterior, seleccione «Masa 2», «Masa 3» o «Masa 4» para que coincida con su gas de prueba. ð Si el gas de prueba es helio, se abrirá la ventana «Masa molar del gas de equivalencia He». Ajuste su masa molar. Ejemplo para 102: 142 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 143 La biblioteca del aparato tiene el siguiente contenido definido de fábrica: Nombre del gas Otros nombres Masa molecular Factor de Factor de (máx. 8 caracteres) (uma) viscosidad helio viscosidad hidrógeno o masa 3 CFCl 137,4 0,515 1,15 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 143 / 174...
Página 144 1,036 R142b 100,5 0,494 1,103 R143a 0,561 1,252 R152a 66,1 0,515 1,15 R170 30,1 0,479 1,069 Etano R218 0,627 R227ea 0,627 R236fa 0,55 1,228 R245fa 0,52 1,161 R290 44,1 0,433 0,967 Propano R356 166,1 0,561 1,252 144 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 145 Mezcla de 103,3 0,647 1,444 56 % R22 39 % R218 5 % R290 R404A Mezcla de 97,6 0,607 1,355 44 % R125 52 % R143a 4 % R134a R405A Mezcla de 111,9 0,622 1,388 45 % R22 7 % R152a 5,5 % 142b 42,5 % RC318 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 145 / 174...
Página 146 30 % R32 R408A Mezcla de 0,602 1,344 7 % R125 46 % R143a 47 % R22 R409A Mezcla de 97,4 0,607 1,355 60 % R22 25 % R124 15 % R142b R409B Mezcla de 96,7 0,612 1,366 65 % R22 25 % R124 10 % R142b 146 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 147 R414A Mezcla de 96,9 0,586 1,308 51 % R22 28,5 % R124 4 % R600a 16,5 % R142 R415A Mezcla de 81,7 0,622 1,388 82 % R22 18 % R152a R416A Mezcla de 111,9 0,576 1,286 59 % R134a 39,5 % R124 1,5 % R600 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 147 / 174...
Página 148 99,3 0,625 1,395 26 % R32 26 % R125 21 % R134a 20 % R1234yf 7 % R1234ze R449A Mezcla de 87,2 0,622 1,388 25,7 % R134 25,3 % R1234yf 24,7 % R125 24,3 % R32 R450A Mezcla de 0,592 1,321 58 % R1234ze 42 % R134a 148 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 149 0,612 1,366 78 % R12 22 % R31 R506 Mezcla de 93,7 0,561 1,252 55 % R31 45 % R114 R507 Mezcla de 98,9 0,612 1,366 50 % R125 50 % R143a R508A Mezcla de 100,1 0,729 1,627 39 % R23 61 % R116 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 149 / 174...
Página 150 HT135 Galden HT135 2,232 Criptón 1,275 2,846 Nitrógeno 0,892 1,991 Neón 20,2 1,586 3,54 R717 0,505 1,127 Oxígeno 1,03 2,299 146,1 0,765 1,708 Xenón 131,3 1,153 2,574 ZT130 Galden ZT130 2,232 Tab. 1: Biblioteca de gases V3.24 150 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 151 INFICON Funcionamiento CU1000 (opcional) | 11 11.3.8 Actualizar el software Las actualización de software de INFICON serán reproducidas con la ayuda de un lápiz USB. Encontrará la función de actualización del aparato en "Funciones > Datos > Actualización". Es posible una actualización, •...
Página 152 ð Tras pulsar la tecla «Start» en la pantalla táctil, aparecerán las siguientes instrucciones: • Conectar y encender el IO1000. • Activar el modo de inicialización (encender y apagar DIP S2.3 una vez). • Cuando el LED de estado parpadea de color verde, pulse OK. 152 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 153 INFICON Funcionamiento CU1000 (opcional) | 11 Fig. 25: Interruptores DIP en el módulo I/O LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 153 / 174...
Página 154 El mantenimiento del módulo de espectrómetro de masas se limita a la sustitución del depósito de lubricante de la bomba turbomolecular y la comprobación del ventilador en la bomba turbomolecular. Recomendamos firmar un contrato de mantenimiento con INFICON o una delegación de servicio técnico autorizada por INFICON. 12.1 Mantenimiento por INFICON...
Página 155 El módulo de espectrómetro de masas es un aparato de medición de precisión. Incluso un leve ensuciamiento puede dañar el equipo. ► Al ejecutar cualquier trabajo de mantenimiento, preste atención a la limpieza del entorno y utilice herramientas limpias. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 155 / 174...
Página 156 Separe la fuente de alimentación de 24 V de la caja MSB. En su caso, deje que se enfríe la bomba turbomolecular. Desmonte la bomba turbomolecular. Abra lentamente el tornillo de aireación. ð La bomba turbomolecular se inunda hasta la presión atmosférica. 156 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 157 ü La tapa de cierre corresponde al modelo A; véase la imagen de la bomba turbomolecular SplitFlow 80 en "Inundar bomba turbomolecular [} 156]". ü Llave de espigas, P/N: 551-200 ü Dos destornilladores ü Espectrómetro de masas y la bomba turbomolecular inundados. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 157 / 174...
Página 158 Despegue el sello de garantía que va pegado. Saque los 3 tornillos (M4) de la tapa de cierre con la llave Allen. Enrosque un perno roscado (M5) varias vueltas en el orificio roscado vacío del centro de la tapa de aluminio. 158 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 159 Con ayuda de los dos destornilladores saque la junta tórica y el depósito de lubricante. ð ¡Tenga cuidado de no rayar las superficies de sellado! ð No afloje más tornillos alrededor del depósito de lubricante para no dañar la bomba turbomolecular. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 159 / 174...
Página 160 Daños materiales por montaje incorrecto de la junta tórica En caso de un montaje incorrecto de la junta tórica se pueden producir fugas. El aparato muestra un funcionamiento erróneo y sufre daños. ► Inserte cuidadosamente la junta tórica de la tapa de cierre. 160 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 161 Retire la junta tórica antigua (3) de la tapa de cierre. Inserte una nueva junta tórica (3) para la tapa de cierre. Enrosque la tapa de cierre (1) con la llave de espigas sin aplicar fuerza. LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 161 / 174...
Página 162 ð El nuevo depósito de lubricante se posiciona correctamente al enroscar la tapa de cierre. Inserte una nueva junta tórica para la tapa de cierre. Vuelva a colocar la tapa de cierre con ayuda de un perno roscado (M5). 162 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 163 Ponga el módulo de espectrómetro de masas en servicio. 12.3.6 Confirmar el trabajo de mantenimiento ü Unidad de manejo instalada ü Autorización = Integrator ► Confirmar el trabajo de mantenimiento en la unidad de manejo: "Autorización > Integrator > Mantenimiento > Trabajo de mantenimiento" LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 163 / 174...
Página 164 12 | Mantenimiento INFICON 12.4 LDS3000 AQ – componentes relevantes para el mantenimiento Fig. 29: Regulador para AQ Denominación Cantidad Número de pedido 1 Anillo de centrado ISO-KF sin filtro. 211-059 Emplear solo con conexión según variante 2 (con unidad de filtro 0,45 µm Pall, pos. n.° 5).
Página 165 Leyenda del plan de mantenimiento: • I Cliente o nivel superior • II Cliente con formación o nivel superior • III Técnico de mantenimiento de INFICON • X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio o la duración • X Trabajos de mantenimiento según las horas de servicio, no según la duración...
Página 166 AQ empleado a menos de 8000 horas o 1 año. Dependiendo del tipo de montaje se emplean diferentes filtros AQ, consulte "LDS3000 AQ – componentes relevantes para el mantenimiento [} 164]".
Página 167 Espere hasta que la bomba turbomolecular se haya parado. 13.2 Eliminar el módulo de espectrómetro de masas El aparato puede ser desechado por la empresa gestora o enviado a INFICON. El aparato está compuesto por materiales que pueden ser reutilizados. Para evitar la generación de residuos y proteger al medio ambiente, se debería hacer uso de esta...
Página 168 14 | Anexo INFICON 14 Anexo 14.1 Conformidad CE 168 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 169 INFICON Anexo | 14 14.2 Declaración de incorporación LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 169 / 174...
Página 170 14 | Anexo INFICON 14.3 Declaración de contaminación 170 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
Página 171 INFICON Anexo | 14 14.4 RoHS LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211) 171 / 174...
Página 172 Tiempo de medición y modo de compatibilidad 85 Datos técnicos 26 Declaración de contaminación 167 Definiciones de los términos 9 Envío 167 Factor de equivalencia 76, 138 Funciones ZERO 65 I·ZERO 3.0 Beta 67 I•ZERO 3.0 Beta 112 Límite inferior 10 172 / 174 LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)

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