Tabla de contenido
Publicidad
Idiomas disponibles
Idiomas disponibles
Enlaces rápidos
Turbo Cart
969-8400
969-8402
969-8404
969-8406
969-8408
969-8410
969-8412
969-8414
87-900-887-01(C)
OCTOBER 2004
Models
969-8401
969-8403
969-8405
969-8407
969-8409
969-8411
969-8413
969-8415
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Publicidad
Tabla de contenido
Manuales relacionados para Varian Turbo Cart
Resumen de contenidos para Varian Turbo Cart
- Página 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo Cart MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models 969-8400 969-8401 BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8402 969-8403 INSTRUKSTIONSBOG 969-8404 969-8405 BRUKSANVISNING 969-8406 969-8407 INSTRUKSJON MANUAL 969-8408 969-8409 OHJEKÄSIKIRJA 969-8410 969-8411 ODHGIES CRHSEWS 969-8412 969-8413 FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV...
- Página 2 Turbo Cart...
-
Página 5: Tabla De Contenido
ISTRUZIONI PER L’USO ....................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ....................6 MODE D’EMPLOI ......................11 INSTRUCCIONES DE USO ....................16 INSTRUÇÕES PARA O USO .................... 21 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ..................... 26 BRUGSANVISNING ......................31 BRUKSANVISNING......................36 BRUKERVEILEDNING ...................... 41 KÄYTTÖOHJEET ......................46 PDHGIES CRHSEWS ......................51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................... -
Página 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L’USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 7: Informazioni Generali
Elevazione NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. DESCRIZIONE Il Turbo Cart è un gruppo di pompaggio che comprende i Larghezza: 395 [15,5] seguenti elementi: Dimensioni: mm [pollici] − una pompa Turbo con i relativi accessori; Turbo Cart −... -
Página 8: Preparazione Per L'installazione
ISTRUZIONI PER L’USO IMMAGAZZINAMENTO MOD. POS. COMPONENTE Durante il trasporto e l'immagazzinamento del Cart devo- no essere soddisfatte le seguenti condizioni ambientali: 969-8404 Pompa Turbo-V550 CFF 8" − temperatura: da -20 °C a +70 °C Pompa Diaframma MD60 − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante) Controller Turbo-V550 969-8405 Pompa Turbo-V550 ISO 160... - Página 9 0,9 Nm (nel caso di viti M4), o di 3,1 Nm (nel caso di viti M6). Prima di effettuare qualsiasi intervento sulle apparec- chiature contenute nel Turbo Cart scollegare il cavo di alimentazione. ...
- Página 10 ISTRUZIONI PER L’USO 1. Connettore di interlock (collegato al connettore P1 del controller) 2. Contattore 3. Relè di sovraccarico 4. Spina di alimentazione della rete 5. Alimentazione della pompa primaria (collegato al connettore J7 del controller) 6. Alimentazione del controller (collegato al connettore FUSE-MAINS del controller) 7.
-
Página 11: Sicherheitshinweise
BEDIENUNGSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. - Página 12 In der nachstehenden Tabelle sind unter Bezugnahme auf die Zahlen der Abbildung die Komponenten der eine Steuereinheit; verschiedenen Grundausführungen aufgeführt. eine Multigauge-oder senTorr-Einheit (Sonderzubehör). Die Pumpeinheit Turbo Cart wird im Werk mit den MOD. POS. KOMPONENTE Zubehörkomponenten und den erforderlichen Pumpen 969-8400 Pumpe Turbo-V250 CFF 6"...
-
Página 13: Vor Der Installation
BEDIENUNGSANLEITUNG LAGERUNG MOD. POS. KOMPONENTE Beim Transport und bei der Lagerung der Turbo Cart- Einheit müssen folgende klimatische Verhältnisse 969-8405 Pumpe Turbo-V550 ISO 160 eingehalten werden: Dia-Pumpe MD60 Temperatur: von -20 °C bis +70 °C Controller Turbo-V550 Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95... - Página 14 • Relative Luftfeuchtigkeit: (nicht kondensierend). ANWENDUNG GEFAHR! Halten Sie sich bei einem Betrieb der Turbo Cart-Einheit mit giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen an die für das jeweilige Gas geltenden Radfeststellbremsen Betriebsvorschriften. Einstellung der Betriebshöhe der Turbopumpe GEFAHR! Während des Betriebs müssen die Bremsen der...
- Página 15 BEDIENUNGSANLEITUNG Steckverbinder Schaltglied Überlastungsschutzrelais Netzstecker Versorgung Primärpumpe (angeschlossen Steckverbinder J7 der Steuereinheit) Versorgung Steuereinheit (angeschlossen Steckverbinder FUSE-MAINS Steuereinheit) Klemmenleiste zur Verbindung mit dem Relais Hintere Tafel des Controller-Gestells Controller Turbo-V Entlüftungsventil (Sonderzubehör) Speisenetz (220 V, 50 Hz, 1 Phase) Mechanische Pumpe Gebläse mit niedriger Leistung Gebläse mit hoher Leistung Karte Set-Point...
-
Página 16: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Página 17: Indications Generales
Dimensions: mm (pouces) DESCRIPTION Le Turbo Cart est un groupe de pompage qui comprend Turbo Cart les éléments suivants: Le tableau qui suit se réfère à la figure susdite et une pompe Turbo avec les accessoires correspondants;... -
Página 18: Preparation Pour L'installation
Pompe Turbo-V700HT CFF 10" Pompe Diaphragme MD60 PREPARATION POUR L'INSTALLATION Contrôleur Turbo-V700HT Le Turbo Cart est fourni dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de 969-8407 Pompe Turbo-V700HT ISO 200 dommages pouvant s'être produits pendant le transport, Pompe Diaphragme MD60 contacter aussitôt le bureau de vente local. -
Página 19: Normes D'utilisation
DANGER! ENTRETIEN Lors de l'utilisation d'un Cart équipé d'une pompe turbo- Le Turbo Cart n'exige aucun entretien. Toute opération moléculaire d'un débit inférieur ou égal à la TV 300, en doit être effectuée par un personnel agréé. cas de retrait et de réinstallation de cette dernière, pour En cas de panne de l'un des appareils montés sur le... - Página 20 MODE D’EMPLOI Connecteur d’interlock (branché au connecteur P1 du contrôleur) Contacteur Relais de surcharge Fiche d’alimentation du réseau Alimentation de la pompe primaire (branchée au connecteur J7 du contrôleur) Alimentation du contrôleur (branché au connecteur FUSE-MAINS du contrôleur) Bornier de connexion au réseau Tableau arrière du panier du contrôleur.
-
Página 21: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 22: Información General
NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. Anchura: 395 [15,5] Dimensiones: DESCRIPCIÓN mm [pulgadas] El Turbo Cart es un gran sistema de bombeo que incluye los elementos siguientes: bomba Turbo accesorios Turbo Cart correspondientes; tabla... -
Página 23: Almacenamiento
INSTRUCCIONES DE USO ALMACENAMIENTO MOD. POS. COMPONENTE Durante el transporte y el almacenamiento del Cart han de cumplirse las condiciones ambientales siguientes: 969-8405 Bomba Turbo-V550 ISO 160 temperatura : de - 20 ºC a +70 ºC Bomba Diafragma MD60 Controller Turbo-V550 humedad relativa: 0 -95% (no condensadora) 969-8406 Bomba Turbo-V700HT CFF 10"... -
Página 24: Procedimientos De Uso
M4) o de 3,1 Nm (en el caso de ¡PELIGRO! tornillos M6). Antes de realizar cualquier operación sobre los equipos contenidos en el Turbo Cart desconectar el cable de alimentación. ¡PELIGRO! Cuando se está utilizando un Cart equipado con bomba Para acceder a los conectores del controler habrá... - Página 25 INSTRUCCIONES DE USO ¡PELIGRO! En caso de que el grupo de bombeo se hubiera utilizado con gases tóxicos, inflamables o radiactivos y tuviera que desguazarse, cumplir con los procedimientos oportunos para el tratamiento de este tipo de gases. 1. Conector de Interlock (emplamado al conector P1 del controler) 2.
-
Página 26: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Página 27: Informações Gerais
A tabela a seguir, relativamente à figura acima, relaciona os componentes que estão montados nos DESCRIÇÃO modelos básicos do Cart em diferentes posições. O Turbo Cart é um grupo de bombas que compreende os seguintes elementos: MOD. POS. COMPONENTE uma bomba Turbo com os respectivos acessórios;... -
Página 28: Preparação Para A Instalação
INSTRUÇÕES PARA O USO ARMAZENAGEM MOD. POS. COMPONENTE Durante o transporte e a armazenagem do Cart, devem ser satisfeitas as seguintes condições ambientais: 969-8407 Bomba Turbo-V700HT ISO 200 temperatura: de -20 ºC a + 70 ºC Bomba Diafragma MD60 humidade relativa: 0 - 95% (não condensadora) Controller Turbo-V700HT 969-8408 Bomba Turbo-V70 CFF 4.5"... -
Página 29: Manutenção
0,9 Nm (em caso de parafusos M4), ou de 3,1 Nm (em caso de Antes de efectuar qualquer operação nas aparelhagens parafusos M6). contidas no Turbo Cart, desligar o cabo de alimentação. Para ter acesso aos conectores do controller, é PERIGO! necessário efectuar o seguinte procedimento:... - Página 30 INSTRUÇÕES PARA O USO Conector interlock (ligado conector P1 do controller) Caixa de contactos Relê de sobrecarga Ficha de alimentação da rede Alimentação da bomba primária (ligado ao conector J7 do controller) Alimentação do controller (ligado ao conector FUSE-MAINS do controller) Caixa de bornes de ligação com a rede.
-
Página 31: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Página 32: Algemene Informatie
969-8400 Turbo-V250 Pomp CFF 6" een Multigauge of senTorr unit (optional). Mechanische pomp SD40 De Turbo Cart wordt in de fabriek van de verlangde Controller Turbo-V250 accessoires en pompen voorzien. 969-8401 Turbo-V250 Pomp ISO 100... -
Página 33: Installatie
GEBRUIKSAANWIJZINGEN OPSLAG MOD. POS. COMPONENT Tijdens het transport en de opslag van de Cart moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: 969-8406 Turbo-V700HT Pomp CFF 10" temperatuur: van -20°C tot +70°C Diafragmapomp MD60 relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend) Controller Turbo-V700HT 969-8407 Turbo-V700HT Pomp ISO 200 UITPAKKEN... - Página 34 Cart is verwijderd en opnieuw geïnstalleerd moet worden, moet, om gevaar te voorkomen in het geval dat Turbo Cart te verrichten, de voedingskabel afkoppelen. de pomp onverwachts mocht blokkeren, de pomp aan de Cart bevestigd worden met de oorspronkelijke...
- Página 35 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Interlock connector (aangesloten op connector P1 van de controller). Contactor. Overbelastingsrelais. Stekker voor netvoeding. Voeding primaire pomp (aangesloten op connector J7 van de controller) Voeding van de controller (aangesloten op de FUSE-MAINS connector van de controller). Klemmenbord voor aansluiting op net. Achterpaneel van de controllerbak 1.
-
Página 36: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. -
Página 37: Generel Information
Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden 4,5" CFF flange; yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som Model 969-8411: Cart med pumpe Turbo V70D med følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, forkert brug ISO 63 flange;... -
Página 38: Forberedelser Før Installation
BRUGSANVISNING OPBEVARING MODEL POS. KOMPONENT Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved transport og opbevaring af Cart: 969-8406 Pumpe Turbo-V700HT CF10" temperatur: fra -20ºC til +70ºC Membranpumpe MD60 relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Styreenhed Turbo-V700HT 969-8407 Pumpe Turbo-V700HT ISO200 FORBEREDELSER FØR INSTALLATION Membranpumpe MD60 Cart leveres i en speciel beskyttende emballage. - Página 39 ADVARSEL! fastgørelsesanordninger, hvis pumpen er blevet fjernet fra Cart og skal geninstalleres. Dette for at undgå fare, Inden foretagelse af indgreb i Turbo Cart apparater skal hvis pumpen pludselig går i stå. Benyt skruer med forsyningskablet frakobles. strækgrænse på 500 N/mm og fastspænd dem med et...
- Página 40 BRUGSANVISNING Interlock-kontakt (samlet til styreenhedens kontakt P1). Kontaktor Overbelastningsrelæ Elnettets kontakt Primærpumpens strømforsyning (samlet til styreenhedens kontakt J7) Styreenhedens strømforsyning (samlet til styreenhedens kontakt FUSE- MAINS) Forbindelse til elnettet Det bageste panel til styreenhedens kasse Styreenhed Turbo V Udluftningsventil (tilbehør) Elnet (220 V, 50 Hz, enfaset) Mekanisk pumpe Laveffektventilator...
-
Página 41: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Página 42: Allmän Information
ISO 100. utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Följande bild visar hela Turbo Cart. De olika delarnas installationslägen framgår. VIKTIGT! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att undvika skador på... -
Página 43: Förberedelser För Installation
BRUKSANVISNING FÖRVARING MODELL POS. KOMPONENT Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport och förvaring av Cart: 969-8405 Pump-V550 ISO 160 temperatur: från -20ºC till + 70 ºC Membranpump MD60 relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Styrenet-V550 969-8406 Pump-V700HT CFF 10" FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATION Membranpump MD60 Cart levereras i ett särskilt skyddande emballage. - Página 44 VARNING! åt dem med ett åtdragningsmoment på 0,9 Nm (skruvar M4) eller 3,1 Nm (skruvar M6). Innan något arbete utförs på apparaturen i Turbo Cart måste strömförsörjningen brytas. VARNING! För att komma åt styrenhetens kontakter ska följande procedurer följas:...
- Página 45 BRUKSANVISNING Interlock-kontakt (ansluten till styrenhetens kontakt P1) Kontaktor Överbelastningsrelä Elnätets kontakt Primärpumpens strömförsörjning (ansluten till styrenhetens kontakt J7) Styrenhetens strömförsörjning (ansluten till styrenhetens kontakt FUSE-MAINS) Kopplingssplint till elnätet Bakpanel av styrenhetens korg Styrenhet Turbo V Avluftningsventil (tillbehör) Elnät (220 V, 50 Hz, enfas) Mekanisk pump Lågeffektfläkt Högeffektfläkt...
-
Página 46: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Página 47: Generell Informasjon
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledning og Modell 969-8410: Cart med pumpe Turbo V70D med all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. flens CFF 4,5”; Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer Modell 969-8411: Cart med pumpe Turbo V70D med på... - Página 48 BRUKERVEILEDNING LAGRING MODELL POS. KOMPONENT Når Cart transporteres eller lagres, må følgende forhold være oppfylt: 969-8406 Pumpe Turbo-V700HT CFF 10" temperatur: fra -20ºC til +70ºC Membranpumpe MD60 relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Styreenhet Turbo-V700HT 969-8407 Pumpe Turbo-V700HT ISO 200 FORBEREDE INSTALLASJONEN Membranpumpe MD60 Cart leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
- Página 49 Carten og den må installeres igjen. Dette for å unngå fare i tilfellet den blokkeres Før noe arbeid utføres på apparatene i Turbo Cart må plutselig. Bruk skruer med bruddgrense på 500 N/mm den frakoples strømnettet.
- Página 50 BRUKERVEILEDNING 1. Interlock-klemme (koplet til styreenhetens klemme P1) 2. Kontaktor 3. Overbelastningsrelé 4. Elnettets kontakt 5. Primærpumpens strømforsyning (koplet til styreenhetens klemme J7) 6. Styreenhetens strømforsyning (koplet til styreenhetens klemme FUSE-MAINS) 7. Koplingsklemme til elnettet Det bakre panelet til styreenhetens kasse 1.
-
Página 51: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-887-01(C) -
Página 52: Yleisiä Tietoja
HUOM Mitat: mm [tuumaa] Huomiot sisältävät tärkeätä tekstistä otettua tietoa. Turbo Cart KUVAUS Seuraava luettelo, joka viittaa ylhäällä mainittuun kuvaan, Turbo Cart on pumppuyksikkö, joka koostuu seuraavista luettelee perusmallien osat, jotka on asetettu Cartille. osista: Turbopumppu osineen MALLI esityhjiöpumppu 969-8400 Turbopumppu-V250 CFF 6”... -
Página 53: Valmistelut Asennusta Varten
KÄYTTÖOHJEET VARASTOINTI MALLI Valvojan kuljetuksen ja varastoinnin aikana tulevat seuraavat ympäristövaatimukset olla täytettyinä: 969-8407 Turbopumppu-V700HT ISO 200 lämpötila: -20 °C ja +70 °C asteen välillä Kalvopumppu MD60 suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ilman lauhdetta) Turbovalvoja-V700HT 969-8408 Turbopumppu-V70 CFF 4.5" VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Mekaaninen pumppu SD40 Valvoja toimitetaan... - Página 54 VAARA! nämä jälleen asianmukaisesti. Älä koskaan käytä pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty järjestelmään. HUOLTO Turbo Cart ei vaadi huoltoa. Valtuutettu henkilökunnan tulee suorittaa kaikki toimenpiteet. VAARA! Mikäli koneistoon liitetty laitteisto vaurioituu, katsokaa Jos TV 300 -mallia pienemmällä tai yhtä suurella kyseisen laitteiston käyttöohjeita.
- Página 55 KÄYTTÖOHJEET 1. Interlock-liitin (liitetty valvojan P1 liittimeen). 2. Kontaktori 3. Ylikuormitusrele. 4. Verkon sähköpistokytkin. 5. Esipumpun sähkönsaanti (liitetty valvojan J7 liittimeen). 6. Valvojan sähkönsaanti (liitetty valvojan FUSE-MAINS liittimeen). 7. Verkon liitäntärima. Valvojarasian takapaneeli 1. Turbo-V -valvoja 2. Tuuletinläppä (valinnainen) 3. Sähköverkko (220V, 50 Hz, 1 vaihe) 4.
-
Página 56: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 57 Anuvywsh SHMEIWSH Oi shmeiwvseiÇ perievcoun shmantikevÇ plhroforiveÇ pou evcoun apospasteiv apov to keivmeno. PERIGRAFH To Turbo Cart eivnai evna gkrouvp avnlhshÇ to opoivo PlavtoÇ 395 á15,5í DiastavseiÇ¿ perilambavnei ta akovlouqa stoiceiva¿ mm áivntseÇí miva antliva Turbo me ta scetikav axesouavr:...
- Página 58 ODHGIES CRHSHS sucnovthta 50/60 Hz. H aporrofouvsa iscuv diafevrei, anavloga me th diamovrfwsh, apov evna elavcisto 400 MONT. QESH SUSTATIKO MEROS wÇ evna mevgisto1305 VA. 969-8403 Antliva Turbo-V300HT ISO 100 APOQHKEUSH Antliva Diavfragma MD60 Katav th diavrkeia metaforavÇ kai apoqhvkeushÇ tou ElegkthvÇ...
- Página 59 Μην θέτετε ποτέ σε λειτουργία την αντλία εάν η φλάντζα εισόδου δεν είναι συνδεµένη στο σύστηµα. SUNTHRHSH To Turbo Cart den epizhteiv kamiva sunthvrhsh. Opoiadhvpote epevmbash prevpei na ekteleivtai apov KINDUNOS! exousiodothmevno proswpikov.
- Página 60 ODHGIES CRHSHS 1. Suvndesh tou interlock (sundemevno sth suvndesh R1 tou elegkthv). 2. MetrhthvÇ. 3. Relev uperfovrtwshÇ. 4. ReumatolhvpthÇ trofodovthshÇ tou diktuvou. 5. Trofodovthsh thÇ prwteuvousaÇ antlivaÇ (sundemevnh sth suvndesh J7 tou elegkthv). 6. Trofodovthsh tou elegkthv (sundemevnh sth suvndesh FUSE- MAINS tou elegkthv) Mevggenh suvndeshÇ...
-
Página 61: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... -
Página 62: Általános Információ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése − 969-8408-es típus: Cart Turbo-V70 szivattyúval, CFF előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által 4,5” bemeneti karimával; biztosított bármely információt. A Varian nem vonható − 969-8409-es típus: Cart Turbo-V70 szivattyúval, ISO felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen... - Página 63 HASZNÁLATI UTASÍTÁS TÍP. POZ. RÉSZEGYSÉG TÁROLÁS 969-8404 Turbo-V550 szivattyú, CFF 8" karima A turbókocsi szállításakor a következő környezeti feltételeknek kell teljesülniük: MD60 membránszivattyú − hőmérséklet: -20 °C-tól +70 °C-ig Turbo-V550 vezérlő − relatív páratartalom: 0 – 95% (kondenzáló nélkül) 969-8405 Turbo-V550 szivattyú, karima...
- Página 64 Húzza ki a hátsó panelt. eszközzel rögzíteni kell. • Húzza ki a vezérlő csatlakozóit. Minden esetben tilos üzembe helyezni a szivattyút ezzel a rögzítéssel. A következő két ábra a Turbo Cart dobozának hátsó paneljét és elvi kapcsolását mutatja. következő bekezdés ismerteti alapvető...
- Página 65 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Összekötő csatlakozó Védőkapcsoló tekercse Felső relé Tápdugó Előszivattyú tápdugó vezérlő csatlakozójához csatlakoztatva) Vezérlő tápellátásának foglalata vezérlő FUSE MAINS csatlakozójához csatlakoztatva) 7. Tápfeszültség-kapocsléc Turbó Cart vezérlő doboz hátsó panelja Turbo-V vezérlő Ventillátorszelep (opcionális) Tápfeszültség (220 V, 50 Hz, 1 fázis) Mechanikai szivattyú...
-
Página 66: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... -
Página 67: Ogólne Informacje
− sterownik- kontroler pilotowania pomp; Niniejsza tabela, w nawiązaniu do rysunku, przedstawia elementy zamontowane w różnych pozycjach zespołu − jednostkę Multigauge lub senTorr (opcja). Cart dla podstawowych modeli. Turbo Cart jest przygotowany już w fabryce z wymaganymi akcesoriami i pompami. MOD. POZ. KOMPONENT Podstawowe modele są... - Página 68 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA MAGAZYNOWANIE MOD. POZ. KOMPONENT Podczas transportu i magazynowania zespołu Cart muszą być spełnione następujące warunki otoczenia: 969-8404 Pompa Turbo-V550 CFF 8" − temperatura: od -20 °C do +70 °C Pompa Przegrodowa MD60 − względna wilgoć 0 -95% (bez opar). Kontroler Turbo –...
- Página 69 NIEBEZPIECZEŃSTWO! dokręcić odpowiednio nakrętki. Jeżeli kołnierz wejściowy nie jest połączony do systemu nie należy w żadnym przypadku uruchamiać systemu. KONSERWACJA Zespół Turbo Cart nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez NIEBEZPIECZEŃSTWO! upoważniony personel. Stosując system Cart wyposażony...
- Página 70 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA 1. Konektor interlock (podłączony do konektora P1 kontrolera) 2. Stycznik 3. Przekaźnik przeciążenia 4. Gniazdo zasilania sieci 5. Zasilanie pompy głównej (połączone do konektora J7 kontrolera) 6. Zasilanie kontrolera ( połączone do konektora FUSE-MAINS kontrolera) 7. Listwa zaciskowa połączenia z siecią Tylny Panel Obudowy Kontrolera 1.
-
Página 71: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Página 72: Všeobecné Informace
činnosti, které by v případě Následující obrázek ukazuje celkový pohled na mobilní nedodržení mohly způsobit vážný úraz. zařízení Turbo Cart s označením polohy jeho částí. VAROVÁNÍ Výška zvednutí Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě... -
Página 73: Příprava K Instalaci
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ USKLADNĚNÍ POZ. POLOŽKA Při přepravě a uskladnění vývěvy typu Cart by se měly dodržovat tyto požadavky: 969-8404 Turbo-V550 s přírubou CFF 8" − teplota: od -20 °C do +70 °C Membránové čerpadlo MD60 − relativní vlhkost: 0 - 95% (bez orosení) Regulátor Turbo-V550 969-8405 Turbo-V550 s přírubou ISO 100... - Página 74 VÝSTRAHA! V následujících odstavcích se popisují základní postupy Pokud by se zařízení Turbo Cart mělo používat při obsluze. Podrobné informace a postupy při obsluze, k čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů které popisují další připojení nebo možnosti, jsou a tyto se pak mají...
- Página 75 6. zásuvka pro napájení regulátoru (připojená ke konektoru sítě a síťové pojistky) 7. síťová svorkovnice Zadní panel skříně regulátoru zařízení Turbo Cart 1. regulátor Turbo-V 2. odvzdušňovací ventil (doplňkovýl 3. síť (220 V, 50 Hz, 1 fáze) 4. mechanické čerpadlo 5.
-
Página 76: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... -
Página 77: Všeobecné Informácie
− Podpornej vývevy; − Kontrolného modulu Turbo vývevy; − Multiventilovej alebo senTorr jednotky (voliteľne) Šírka 395 [15,5] Systém vývev Turbo Cart je skompletizovaný vo výrobnom Rozmery mm [palce] závode z potrebných vývev a príslušenstva. K základným modelom patria nasledovné: − Model 969-8400: Vákuová jednotka s Turbo-V250 vývevou opatrenou plochou 6-palcovou vstupnou... - Página 78 Membránová výveva MD60 spínač, vypínač prietoku vody a pod.) sú k dispozícii cez prídavné konektory Kontrolnej jednotky. Kontrolný modul Turbo-V300HT Turbo Cart je napájaný napätím 200 až 240 V, so 969-8403 Výveva Turbo-V300HT , príruba sieťovou frekvenciou 50/60 Hz. Podľa konfigurácie ISO 100 vývevového systému sa spotreba pohybuje v rozmedzí...
- Página 79 Pre zlepšenie funkcie molekulovej vývevy možno montážnu plošinu vývevy posunúť vyššie. Ak chcete nastaviť novú polohu plošiny, treba povoliť VAROVANIE! krídlové matky, posunúť plošinu do želanej výšky a Ak je Turbo Cart v prevádzke, vždy zablokujte kolieska matky opätovne utiahnuť. brzdou. ÚDRŽBA VAROVANIE! Zariadenie Turbo Cart nevyžaduje žiadnu údržbu.
- Página 80 NÁVOD K POUŽITIU 1. Prepájací konektor 2. Cievka stykača 3. Preťažovacie relé 4. Zásuvka napájania 5. Zástrčka napájania vývevy primárneho vákua (pripojená ku konektoru J7 kontrolnej jednotky) 6. Zásuvka napájania kontrolnej jednotky (pripojená ku konektoru HLAVNÁ POISTKA) 7. Doska s napájacou zásuvkou Zadný...
-
Página 81: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. -
Página 82: Splošne Informacije
OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. Širina: 395 [15,5] OPIS Dimenzije: mm [palci] Turbo Cart je celota za črpanje, ki je sestavljena iz naslednjih enot: Turbo Cart − Turbo črpalka s pripadajočimi pripomočki; − Pomožna črpalka V naslednji tabeli je seznam osnovnih enot Cart. -
Página 83: Priprava Za Montažo
NAVODILA ZA UPORABO SHRANJEVANJE MOD. POL. ENOTA Pri prevozu ali shranjevanju Cart je treba upoštevati naslednje okoljske zahteve: Turbo-V550 črpalka, 8" 969-8404 prirobnica − temperatura: od -20 °C od +70 °C Opnasta črpalka MD60 − relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza) Upravljalec Turbo-V550 Turbo-V550 črpalka,... - Página 84 Nm (za M4 vijake) ali 3.1 Nm (za M6 vijake). Za dostop do upravljalskih povezav sledite naslednjim korakom: • Odvijte štiri vijake, ki držijo Turbo Cart škatlo zadnje OPOZORILO! plošče. Cart, opremljen s turbomolekularno črpalko TV 550 ali •...
- Página 85 (povezan na J7 priključek upravljalca) 6. Dovod napetosti za upravljalec (povezan na FUSE-MAINS priključek) 7. Glavna terminalna plošča Turbo Cart zadnja plošča za upravljalec 1. Turbo-V upravljalec 2. Odprtina (opcijsko) 3. Napetost (220 V, 50 Hz, 1 faza) 4. Mehanska črpalka 5.
-
Página 86: Safety Guideline
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 87: General Information
The notes contain important information taken from the text. Width: 395 [15,5] Dimensions: mm [inches] DESCRIPTION The Turbo Cart is a pumping group and is composed of the following units: Turbo Cart − a Turbo pump with relevant accessories; − a backing pump;... -
Página 88: Preparation For Installation
INSTRUCTIONS FOR USE STORAGE MOD. POS. ITEM When transporting and storing the Cart, the following environmental requirements should be satisfied: 969-8404 Turbo-V550 pump, CFF 8" flange − temperature: from -20 °C to +70 °C Diaphragm pump MD60 − relative humidity: 0 - 95% (without condensation) Controller Turbo-V550 969-8405 Turbo-V550 pump, ISO 160 flange... - Página 89 550 or TV 700, when the pump must be reinstalled due • Unscrew the four screws that fix the Turbo Cart box to a Cart transportation, the pump must be fixed by rear panel. means of the original screw set or by means of a fixing •...
- Página 90 J7 connector of controller) 6. Controller power supply socket (con- nected to FUSE-MAINS connector) 7. Mains terminal board Turbo Cart Controller box rear panel 1. Turbo-V Controller 2. Vent valve (optional) 3. Mains (220 V, 50 Hz, 1 phase) 4.
- Página 91 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Página 92 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
-
Página 93: Sales And Service Offices
Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.