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Plan de mantenimiento
La siguiente tabla muestra los programas de mantenimiento periódico que
garantizan un funcionamiento óptimo del instrumento.
Programa de mantenimiento:
Procedimiento
Limpiar la superficie exterior
del instrumento.
Vaciar la botella trampa de la
salida de nitrógeno.
Mantener las bombas de
pre-vacío Oerlikon Leybold.
Realizar el "gas-ballast" de las
bombas de pre-vacío Oerlikon
Leybold.
Cambiar el aceite de la bomba
de pre-vacío Oerlikon Leybold
y los dispositivos de
eliminación de vapores del
aceite.
Realizar el "gas-ballast" de la
bomba de pre-vacío Edwards.
Sustituir las juntas de la
bomba (espiroidal) sin aceite.
Limpiar los componentes de la
fuente.
Frecuencia
Cuando sea necesario.
Comprobar
diariamente; vaciar
cuando sea necesario.
Cuando sea necesario.
El período mínimo es
mensual.
Cuando sea necesario.
El período mínimo es
mensual.
Una vez al año.
Cuando sea necesario.
El período mínimo es
mensual.
Una vez al año.
Cuando disminuya la
sensibilidad a niveles
inaceptables.
6 de septiembre de 2013, 715004159ES Rev. A
Plan de mantenimiento
Para obtener
información...
Consultar el
página
112.
Consultar el
página
247.
Consultar el
página
249.
Consultar el
página
250.
Consultar el
página
254.
Consultar el
página
262.
Consultar el
documento de
Edwards XDS46i
Instruction
Manual
A730-01-880 .
Consultar el
página
112.
95
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Capítulos
