8.1
Información de pedido de sensores
Sustancia / sensor
3MS
Trimetilsilano
AsH3
Arsina (3 El.)
AsH3
Arsina (2 El.)
AsH3
Arsina (2 El.)
B2H6
Diborano
Br2
Bromo
C4F6
Hexafluorobutadieno
C5F8
Octofluorociclopenteno
CH3F
Fluoruro de metilo
Cl2
Cloro
ClF3
Trifluoruro de cloro
ClO2
Dióxido de cloro
CO
Monóxido de carbono
COCl2
Fosgeno
DCE
1,2 dicloroetileno
1,2
F2
Flúor
F2
Flúor
GeH4
Germano
H2
Hidrógeno (1%)
H2
Hidrógeno (4 %)
H2S
Sulfuro de hidrógeno
Sulfuro de hidrógeno
H2S
(org.)
H2Se
Seleniuro de hidrógeno
HBr
Bromuro de hidrógeno
HCl
Cloruro de hidrógeno
Cloruro de hidrógeno
HCl
(tropical)
HCN
Cianuro de hidrógeno
HF
Fluoruro de hidrógeno
HMDS
Hexametildisilazano
HMDS
Hexametildisilazano
N2H4
Hidracina
NF3
Trifluoruro de nitrógeno
NH3
Amoniaco (100 ppm)
NH3
Amoniaco (1000 ppm)
NO
Óxido nítrico
NO2
Dióxido de nitrógeno
O2
Oxígeno
O3
Ozono
O3
Ozono
Versión R del Satellite XT
Información de referencia - Sección 8
N.º de
Rango
referencia
nominal
del sensor
9602-6210
0 ...
20.0
9602-6001
0 ...
1.00
9602-6000
0 ...
1.00
9602-6002
0 ...
10.0
9602-6200
0 ...
1.00
9602-6800
0 ...
5.00
9602-9732
0 ...
50.0
9602-9730
0 ...
20.0
9602-9720
0 ...
0.500
9602-5300
0 ...
5.00
9602-7410
0 ...
1.00
9602-7400
0 ...
1.00
9602-5400
0 ...
500
9602-6600
0 ...
1.00
9602-9600
0 ...
1000
9602-6400
0 ...
5.00
9602-6401
0 ...
30
9602-6900
0 ...
5.0
9602-5100
0 ...
1.000
9602-5101
0 ...
4.00
9602-5200
0 ...
100
9602-5201
0 ...
30.0
9602-5600
0 ...
1.00
9602-7000
0 ...
30.0
9602-5800
0 ...
30.0
9602-5801
0 ...
30.0
9602-5700
0 ...
30.0
9602-6500
0 ...
10.0
9602-6714
0 ...
500
9602-6715
0 ...
0.500
9602-7600
0 ...
1.00
9602-9700
0 ...
50.0
9602-6704
0 ...
100
9602-6705
0 ...
1000
9602-7200
0 ...
250
9602-7300
0 ...
25.0
9602-5500
0 ...
25.0
9602-7100
0 ...
1.00
9602-7101
0 ...
1.00
Continúa en la pág. siguiente
Unidad
Nota
ppm
ppm
ppm
1)
ppm
1)
ppm
ppm
ppm
3)
ppm
3)
% vol.
3)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
3)
ppm
ppm
ppm
% vol.
% vol.
2)
ppm
ppm
1)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
% vol.
ppm
ppm
3)
ppm
ppm
2)
ppm
ppm
% vol.
ppm
ppm
1)
Filtro de
polvo
permitido
No
Sí
Sí
Sí
Sí
No
Sin datos
Sin datos
Sin datos
Sí
No
No
Sí
Sí
Sin datos
No
No
Sí
Sí
Sí
Sí
Sí
No
No
No
No
No
No
Sí
Sí
No
Sin datos
No
No
Sí
Sí
Sí
No
No
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