Condiciones De Funcionamiento Habituales - Agilent Technologies 8355 Manual Del Usuario

Funcionamiento
4

Condiciones de funcionamiento habituales

52
La Tabla 6 enumera las condiciones iniciales recomendadas
para los métodos del SCD y NCD. Estas condiciones deberían
ofrecer resultados aceptables para una amplia variedad de
aplicaciones. Sin embargo, debería optimizar estas condiciones
según sea necesario para mejorar el rendimiento de la
aplicación específica.
Tabla 6 Condiciones de funcionamiento típicas, SCD y NCD
Parámetro
Temperatura base, °C
Temperatura del quemador, °C
Temperatura del refrigerador
Flujo superior de H , mL/min
2
Flujo inferior de H , mL/min
2
Flujo oxidante, mL/min
Flujo de generador O3, mL/min
Alto voltaje del generador O3
Bomba de vacío
Presión del quemador, Torr, lectura típica
Presión del reactor, Torr (solo lectura)
Los métodos de comprobación para el SCD y el NCD también
ofrecen parámetros de ejemplo para encontrar un equilibrio de
un buen límite de detección, una buena selectividad y una vida
útil razonable del tubo de cerámica. En cualquier método XCD:
• Mantenga siempre el gas oxidante fluyendo a través del
quemador.
• El firmware no dejará que el hidrógeno fluya en el quemador
mientras no haya oxidante para proteger el sistema.
Durante el inicio y el apagado, encienda siempre la bomba
primero y apague la bomba al final para evitar que se contamine
o se dañe.
SCD NCD
250 250
800 900
No Activado
40 No
10 3
50, Aire 8, Oxígeno
Activado Activado
Activado Activado
Activado Activado
< 425 Torr < 120 Torr
Debería estar por Debería estar por
debajo de 7 Torr debajo de 5 Torr
Manual de usuario de SCD y NCD