注意 - 排出ガス!
装置の動作中は、危険な量のオゾン( O
性があります。
オゾン濃度が 0.2 mg/m³ を超える場合もあります。
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装置を使用する際は必ず、各国の労働安全衛生法に従ってください。
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装置は必ず適切な排気装置を接続した上で使用してください。
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装置の動作中は、本製品から目を離さないでください。
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動作中の装置を人に向けないでください。
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排気装置の故障時に危険な量のオゾンや窒素酸化物が発生する可能性を排除するた
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め、プロセス中は排気出力を監視し、排気装置が作動している時にのみプラズマ生
成を許可することを推奨いたします。
オゾンには腐食作用があるため、オゾンとの接触による他の機器や表面の腐食・損
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傷を避けるため、適切な排気装置をノズル出口にできるだけ近い位置に設置するこ
とを推奨したします。
注意 - 装置の損傷!
プラズマジェネレータは、ガス供給なしで作動させると損傷する恐れがあり、それ
により動作中に必要な冷却媒体の流れが中断されることになります。
ガス流を監視し、ガス流が少なすぎたり途切れたりした場合は、直ちに装置を
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停止してください。
装置先端のピエゾ素子は、決して鋭利な物体と接触させないでください。このコンポー
ネントは不適切な作業により損傷する場合があります。
電子機器やピエゾ素子を損傷させる可能性のある落下や、その他の強い打撃からプラズ
マジェネレータを保護してください。
注意!産業環境での使用向け装置
発生する伝導妨害および放射妨害により、本装置については場合によって他の環境での
電磁適合性の確保に困難が生じることがあります。
注意 - 表面高温!
交換モジュールは動作中に高温になることがあります。冷めるまで触らないようにし、
交換モジュールを使用して作業する時は、熱に敏感な表面を傷つけないように注意して
ください。
また、プロセスパラメーターによっては、処理するワークピースがプラズマプロセスに
より熱くなることもあります。必要に応じて、ワークピースが冷めるまで触れるのを待
ってください。
事業者への注意事項と義務
1.2
原則として騒音放射を考慮に入れてください。
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BA-PZ3_i_ML / F0354902
) 窒素酸化物といった反応ガスが発生する可能
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