Varian E-series Manuales

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Varian E-series Manual De Instrucciones

Varian E-series Manual De Instrucciones (44 páginas)

Marca: Varian | Categoría: Bombas | Tamaño: 3.46 MB

Tabla de contenido

Tabla de Contenido
5
Informazioni Generali
6
Preparazione Per L'installazione
6
Istruzioni Per L'uso
6
Vor der Installation
8
Gebrauchsanleitung
8
Indications Generales
10
Preparation pour L'installation
10
Mode D'emploi
10
Informacion General
12
Almacenamiento
12
Preparacion para la Instalacion
12
Instrucciones de Uso
12
Mantenimiento
13
Utilizacion
13
Instalação
14
Instruções para O Uso
14
Gebruiksaanwijzingen
16
Brugsanvisning
18
Bruksanvisning
20
Brukerveiledning
22
Yleisiä Tietoja
24
Käyttöohjeet
24
Pdhgies Crhsews
26
General Information
28
Preparation for Installation
28
Instructions for Use
28
Technical Information
30
Description of the Turbopump
30
Technical Specification
31
Inlet Screen Installation
33
Heating Jacket Installation
34
Water Cooling Kit Installation
34
Vent Device Installation
36
Vent Valve Installation
36
Solid State Flowmeter Installation
37
Pump Used with Corrosive Gases
37
Typical Layout Diagram
38
Connection a - HIGH VACUUM FLANGE
39
Connection Configurations
39
Connection B - FORE-VACUUM PUMP
39
Connection C - ELECTRICAL
39
Suggested Pump Installation
40
Roughing Operation
40
Pump and Chamber at Atmosphere
40
Pump under Vacuum, Chamber at Atmosphere (Chamber Cleaning)
40
Pump Used in Presence of Magnetic Fields
41
Accessories
41
Customer Information
42
Product Identification
42

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