Vor Der Installation; Gebrauchsanleitung - Varian E-series Manual De Instrucciones

ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch
sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen
Nichtbeachtung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen
einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen
übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V1000 ICE E-series handelt
es sich um Turbomolekularpumpen
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich insbesonders
für den Einsatz in den verschiedenen
Halbleiterindustrie und zur Förderung von jeder Art von Gasen
oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von
Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine
(max. 38000 Upm) erzielt,
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die Turbo-
V1000 ICE-E series-Pumpen
unweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch
für Anwendungszwecke, die
vorschreiben.
In den folgenden Abschnitten
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang
enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
! ! ! !
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken
Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei
unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
können.
! ! ! !
ACHTUNG!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam,
Schäden an der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus
dem Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Beim Transport und bei der Lagerung der Pumpen müssen
folgende klimatische Verhältnisse vorliegen:
−
Temperatur: von -20°C bis +70°C
−
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95%
Nach extrem langer Lagerung
Inbetriebsetzung im SOFT START-Modus gestartet werden
(siehe Handbuch der Steuereinheit).

VOR DER INSTALLATION

Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht
fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399
für Umweltschutz.
! ! ! !
ACHTUNG!
Um Entgasungsprobleme zu
Komponenten, die in Berührung mit dem Vakuum kommen,
nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe
oder einen anderen geeigneten Schutz tragen.
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genau lesen. Bei
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GEBRAUCHSANLEITUNG

ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Athmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
! ! ! !
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe ausschließlich
mittels entsprechend geeigneten
Versetzungsgeräten transportiert bzw. angehoben werden.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die
ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und
aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen
eingehalten werden:
−
Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
− Temperatur: von +5°C bis +35°C
− Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend).
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über
Einsatz eines entsprechend
geschützt werden.
! ! ! !
ACHTUNG!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage.
Hebe- bzw.
geeigneten Schutzschirms
87-900-942-01(A)