Medios Bombeados; Tabla 17: Datos De Rendimiento De La Bomba Next85D - Edwards T‑STATION 85 Manual De Instrucciones

Tipo de bomba turbomolecular
con bomba previa rotativa de
paletas
con bomba previa de diafragma
* Presión máxima 48 horas después del desgaseado por calentamiento con una bomba previa rotativa de paletas
bifásica.
Presión final 48 horas después del desgaseado por calentamiento con presión de salida <5 mbar (500 Pa).
§
Tabla 17 Datos de rendimiento de la bomba nEXT85D
Tipo de bomba turbomolecular
Velocidad de bombeo de entrada:
Nitrógeno
Helio
Hidrógeno
Argón
Relación de compresión de
entrada:
Nitrógeno
Helio
Hidrógeno
Argón
Presión máxima:
con bomba previa rotativa de
paletas
con bomba de diafragma
Presión máxima 48 horas después del desgaseado por calentamiento con una bomba previa rotativa de paletas
*
bifásica.
§ Presión final 48 horas después del desgaseado por calentamiento con presión de salida <5 mbar (500 Pa).

Medios bombeados

ADVERTENCIA:
La ventilación de gases y mezclas de gases peligrosos debe realizarse de forma segura.
Evite la exposición de las personas a estos gases. Si se van a bombear gases o vapores
peligrosos, siga las recomendaciones de seguridad del proveedor del gas o del vapor.
ADVERTENCIA:
No utilice la bomba para el bombeo de mezclas de gases pirofóricas o explosivas, puesto
que no se ha diseñado para este fin. Tanto las bombas como sus conexiones no están
diseñadas para contener una explosión.
D395-94-888A - Referencia técnica
*
*
§
nEXT85H ISO63
<5 E-09 mbar
§
<5 E-08 mbar
nEXT85D ISO63
-1
84 ls
-1
78 ls
-1
60 ls
-1
80 ls
>1 E+11
8 E+06
2 E+05
>1 E+11
<5 E-09 mbar
<5 E-08 mbar
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nEXT85H CF63 nEXT85H NW40
<5 E-10 mbar <5 E-09 mbar
<5 E-09 mbar <5 E-08 mbar
nEXT85D CF63 nEXT85D NW40
-1
84 ls 47 ls
-1
78 ls 61 ls
-1
60 ls 49 ls
-1
80 ls 44 ls
>1 E+11 >1 E+11
8 E+06 8 E+06
2 E+05 2 E+05
>1 E+11 >1 E+11
<5 E-10 mbar <5 E-09 mbar
<5 E-09 mbar <5 E-08 mbar
-1
-1
-1
-1