20
Especifi cación
4.1.4
Repetibilidad de cambio de palpador
Cambio automático con SCR200 1,0 µm máx.
Cambio manual
4.2
Fuerzas de sobrerrecorrido
4.2.1
Módulo de fuerza estándar
Longitud del palpador
20 mm con
sobrerrecorrido normal
50 mm con
sobrerrecorrido normal
50 mm con
sobrerrecorrido máximo
4.2.2
Módulo de fuerza baja
Longitud del palpador
20 mm con
sobrerrecorrido normal
50 mm con
sobrerrecorrido normal
50 mm con
sobrerrecorrido máximo
normal 2 µm
Ejes XY
Fuerza baja (g)
45
20
25
Ejes XY
Fuerza baja (g)
20
10
15
Ejes XY
Fuerza alta (g)
70
40
50
Ejes XY
Fuerza alta (g)
30
15
25
Eje Z+
(g)
490
490
1500
Eje Z+
(g)
160
160
450