ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TV 801 NAVIGATOR BOLTED FLANGE ..........52...
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
Per ogni informazio- ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia signifi- ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. cativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg- ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
(Regen, Frost und Schnee), Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist oder die explosionsfähig oder mit einer LAGERUNG erhöhten Brandgefahr sind. Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein- Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden gehalten werden: Anweisungen zu beachten: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck...
Página 11
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf- tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum...
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui ATTENTION! décline par conséquent toute responsabilité en cas de non respect Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à...
DANGER! ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures...
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles ¡ATENCIÓN! responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las...
(Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el bomba sea inferior a 50ºC. anexo “Technical Information”). En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado. ¡PELIGRO! NOTA Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,...
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância ATENÇÃO! total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de...
Página 20
Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens EEG milieurichtlijn 85/399. het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik...
Página 23
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort Varian of de "Varian advanced exchange service" in te moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen.
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Página 25
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af handsker eller anden lignende beskyttelse.
Página 26
50°C. nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”) I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, der udskifter systemet med et repareret system.
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Página 28
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen...
Página 29
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan renoverat system.
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Página 31
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr.
Página 32
BRUKERVEILEDNING Følgende tabell viser det nødvendige antall skruer og de Starte og bruke TV 801 Navigator Bolted Flange korresponderende torque fester. TV 801 ISO F startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. innebygde styreenheten kjenner FLENS ANT. STRAMME- MOMENT automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter 160 Bolted 5 Nm pumpen.
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-980-01(B)
HUOMIO! laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä muuta sopivaa suojausta.
Página 35
50ºC:en. Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioa- ktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin kaasulle sopivaa menettelytapaa. korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" - Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. vaihtopalvelua, jonka kautta...
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
£llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kenÒ. kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn odhgièn, Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ...
Página 38
Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ÿ Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ÿ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikÿj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar ÿ...
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely EEC 85/399-es direktívának. információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Página 41
5 Nm indítás” mód nélkül történnek. A „lágy indítás” mód újbóli engedélyezéséhez azt aktiválni kell a megfelelő szoftver A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian paranccsal (lásd „RS 232/485 KOMMUNIKÁCIÓ LEÍRÁSA”) a hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes „Műszaki információ” függelékben.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Página 43
System TV 801 Navigator Bolted Flange jest dostarczany w Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian przed uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od jakiejkolwiek należy skontaktować...
Página 44
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być Navigator Bolted Flange wskazuje z częstotliwością własnego zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiedni migania, stan operacyjny systemu: hardware Varian. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, • zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych należy zapoznać się z „Technical Information”.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...
VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací UPEVNĚNÍ VÝVĚVY lhůty, vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. VÝSTRAHA! PŘÍPRAVA K INSTALACI Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou...
Página 47
(viz odstavec “POPIS KOMUNIKACE připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu RS 232/485” v příloze “Technické informace”). firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy informace". TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou přírubou Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou...
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky normy EEC 85/399. použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani UPOZORNENIE v čiastočnom...
Página 50
50 ºC. plynu (napríklad N , Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“). V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia. VAROVANIE! POZNÁMKA Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých Skôr než...
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
Página 53
črpalke pade pod 50 °C. OPOZORILO! V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
Varian before operating the equipment. hands to handle components which will be exposed to vacuum. Varian will not be held responsible for any events occurring due Always use gloves or other appropriate protection. to non-compliance, even partial, with these instructions, im-...
50 °C. WARNING! In the case of breakdown, contact your local Varian service When employing the pump for pumping toxic, flammable, or center who can supply a reconditioned system to replace that radioactive gases, please follow the required procedures for broken down.
The TV 801 Navigator Bolted Flange is composed The Macrotorr stages are in the form of four discs. by a pump (869-8933) with an envelope with fins and a shroud with two fans and a dedicated navi- The turbine rotor is supported by permanently lu- gator controller (SQ 337).
TECHNICAL INFORMATION Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency Noise level <55 dB(A) at 1 meter converter which is driven by a single chip micro- Power supply: computer and is composed of two PCBs which in- Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz...
TECHNICAL INFORMATION TV 801 NAVIGATOR BOLTED FLANGE OUTLINE The following figure shows the TV 801 Navigator Bolted Flange outlines (dimensions are in mm [inches]). 87-900-980-01(B)
TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure INTERCONNECTIONS P3 - Vent The following figure shows the TV 801 Bolted Flange interconnections. This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. 87-900-980-01(B)
TECHNICAL INFORMATION P4 – External fan PIN N. SIGNAL NAME INPUT/ OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the +24 Vdc optional external fan.
Página 62
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% • ampitude: 24 V max • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to an output frequency from 272 Hz to 646 Hz linearly.
Página 63
TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of SQ 337 to an external sys- tem. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller P2 - Serial The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
TECHNICAL INFORMATION In this way, you will be sure to reduce the influ- Communication Protocol ence of the external noise and to accomplish the The communication protocol is a MASTER/SLAVE EMC requests. In picture d is showed the cable type where: assembled.
Página 66
TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an AN- Command: STOP Source: PC SWER whose structure depends from the MESSAGE Destination: Controller type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
2 = Time valve on/off Off = 0 (on = closed) (default = 0) (default = 1) Set Point (default = 582) Reserved to Varian service threshold (expressed Set the vent Automatic = 0 in Hz, mA or valve (see note 1.)
− input voltage: 24 Vdc − dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.) Reserved to Varian service − power: 4.6 W To supply the fan it is necessary to connect the fan QE8XXXX...
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Varian’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and ap- plied to the rotor.