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Turbo-V 81-M
Models:
87-900-983-01(B)
MAY 2006
969-8901
969-8902
969-8903
969-8904
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
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Manuales relacionados para Varian Turbo-V 81-M
Resumen de contenidos para Varian Turbo-V 81-M
- Página 1 Turbo-V 81-M MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Models: NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES 969-8901 MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8902 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8903 (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8904 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL (FIN) OHJEKÄSIKIRJA (GR) ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
- Página 2 Turbo-V 81-M...
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Página 3: Tabla De Contenido
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M..................52 Pump Description ......................52 TURBO-V 81-M OUTLINE ......................54 INLET SCREEN INSTALLATION ....................58 HEATER BAND INSTALLATION....................59 AIR COOLING KIT INSTALLATION ....................59 WATER COOLING KIT INSTALLATION ..................60... -
Página 4: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Página 5: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva- ta velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-M è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richie- dono un vuoto "pulito". - Página 6 La Turbo-V 81-M può essere installata in qualsiasi posizione. Fis- tipiche di ciascun gas. sare la Turbo-V 81-M in posizione stabile collegando la flangia di Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di MANUTENZIONE resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
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Página 7: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Página 8: Allgemeine Informationen
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden An- weisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht... - Página 9 Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Modell Turbo-V 81-M kann in jeder beliebigen Position installiert Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen werden. Modell Turbo-V 81-M ist stabil zu befestigen, indem der Gasen verwendet werden. Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen- flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
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Página 10: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Página 11: Indications Generales
Les pompes de la série Turbo-V 81-M sont des pompes turbo- moléculaires pour des applications de vide poussé et ultra- poussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé... - Página 12 (comme le modèle Varian IC 63250 DCMZ). Le tableau suivant indique, pour chaque dimension de flasque, Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entre- le nombre de brides nécessaires et le couple de fixation tien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel correspondant.
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Página 13: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Página 14: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-M no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’... -
Página 15: Mantenimiento
PCB 24 V 969-9538 El Turbo-V 81-M puede instalarse en cualquier posición. Fijar el apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Turbo-V 81-M en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. -
Página 16: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Página 17: Instalação
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-M é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". - Página 18 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 PERIGO! PCB 24 V 969-9538 O Turbo-V 81-M pode ser instalado em qualquer posição. Fixar Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, o Turbo-V 81-M em posição estável ligando o flange de entrada inflamáveis radioactivos, seguir procedimentos da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um adequados típicos para cada gás.
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Página 19: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Página 20: Algemene Informatie
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-M Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. - Página 21 De Turbo-V 81-M kan in alle standen worden geïnstalleerd. explosieve gassen. Bevestig de Turbo-V 81-M in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De...
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Página 22: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Página 23 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske skader, der kan være opstået under transporten. felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for Sørg for, at Turbo-V 81-M ikke tabes eller udsættes for stød yderligere oplysninger. ved udpakningen. De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-M må kun benyttes med en af de specielle Varian controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet under "Technical...
- Página 24 Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Turbo-V 81-M kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 81-M i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et VEDLIGEHOLDELSE moment på...
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Página 25: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Página 26: Allmän Information
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen... - Página 27 Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel.
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Página 28: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Página 29: Klargjøre Til Installasjon
0 - 95% (uten kondens) transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 81-M pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. - Página 30 BRUKERVEILEDNING Turbo-V 81-M pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Varian-styreenhetene og den må koples til en ADVARSEL! hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller...
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Página 31: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-983-01(B) -
Página 32: Yleisiä Tietoja
YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä... - Página 33 Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990 HUOLTO PCB 24 V 969-9538 Sarjan Turbo-V 81-M pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Turbo-V 81-M voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön Kiinnittäkää Turbo-V 81-M vakaaseen asentoon liittämällä...
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Página 34: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Página 35 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 81-M øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissÒterej leptom◊reiej. Οι αντλίες στροβιλομοριακές της σηράς Turbo-V 81-M πρέπει να...
- Página 36 ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej PCB 24 V 969-9538 carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou. Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. To Turbo-V 81-M mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh. Stereèste to Turbo-V 81-M se staqerˇ q◊sh enènontaj th SUNTHRHSH fl£ntza eisÒdou...
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Página 37: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Página 38 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
- Página 39 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak. KARBANTARTÁS Például az ISO 63 karima rögzíthető nagy teherbírású A Turbo-V 81-M típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A acélkapcsokkal (mint az IC 63250 DCMZ Varian típus). rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek A következő táblázat mindegyik karimamérethez megmutatja kell elvégeznie.
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Página 40: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... -
Página 41: Ogólne Informacje
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. dodatek “Informacje Techniczne”. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 81-M ani 87-900-983-01(B) - Página 42 Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. obciążenie 1000 Nm wokół własnej osi. Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z KONSERWACJA zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji. Varian IC 63250 DCMZ). Jakakolwiek interwencja musi być...
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Página 43: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Página 44: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Čerpadlo řady Turbo-V 81-M je turbomolekulární čerpadlo pro vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je schopné čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo sloučeniny plynů. - Página 45 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí VÝSTRAHA! být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo Technické informace).
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Página 46: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Página 47 PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU − teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom v dodatku “Technické Informácie”) balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad −...
- Página 48 Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení UPOZORNENIE Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom.
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Página 49: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! - Página 50 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do naprave Turbo-V 81-M. Kljub temu je priporočljivo, da je enota poškodbe opreme. zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
- Página 51 »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni. Pred Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-M v skupino za pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema. drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
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Página 52: Safety Guideline
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Página 53: General Information
The Turbo-V 81-M is a turbo-molecular pump for high and ultra- high vacuum applications which can pumps any type of non- corrosive gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles. - Página 54 INSTRUCTIONS FOR USE The Turbo-V 81-M pumps must be used in conjunction with one of the suitable Varian controller and they must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). WARNING! The available controllers are the following: When employing the pump for pumping toxic, flammable, or...
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Página 55: Technical Information
Proceeding from the high vacuum to the forevac- DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-M uum region, the turbine stages sequence is: The Turbo-V 81-M pump is available in four ver- sions. The difference among the four versions lies • 1st stage with a blade angle of 40°, purely in the high vacuum connection. -
Página 56: Technical Specification
2 to 4 bar (30 to 60 Psi) Operating ambient +5 °C to +25 °C NOTE temperature with When the Turbo-V 81-M has been stored at a tem- natural air convec- tion perature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. -
Página 57: Turbo-V 81-M Outline
TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 81-M OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]). Turbo-V 81-M outline 87-900-983-01(B) - Página 58 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m /h mechanical pump Graph of compression ratio vs foreline pressure 87-900-983-01(B)
- Página 59 TECHNICAL INFORMATION Nitrogen throughput and power curves Helium throughput and power curves 87-900-983-01(B)
- Página 60 TECHNICAL INFORMATION Argon throughput and power curves 87-900-983-01(B)
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Página 61: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- The following figure shows the overall flange di- ing speed by about 10%. -
Página 62: Heater Band Installation
The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different posi- tions. To fix the fan to the Turbo-V 81-M case execute the following procedure (see the following figure): 1. Fix the fan to the suitable bracket by means of Switch on the heater while the turbopump is in op- the furnished screws;... -
Página 63: Water Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9823 (me- tallic model), and 969-9824 (plastic model). -
Página 64: Vent Accessories
TECHNICAL INFORMATION 2. Assemble the metal or the plastic kit as shown. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or us- ing a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +15 °C and +35 °C, with an inlet pressure between 2 and 4 bar. -
Página 65: Vibration Isolator Installation
− model 969-9375 for ISO 63 flange; 15. Flexible connection − model 969-9376 for CFF 4.5” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V 81-M to the system by a factor of Please refer to the relevant instruction manual. 87-900-983-01(B) -
Página 66: With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION With Standard Rack Controller Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the clamps or claws Turbo-V standard rack controller as shown in the figure. -
Página 67: Connection Configurations
Connection C - ELECTRICAL A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. -
Página 68: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
As a matter of fact, in case of high magnetic fields, For a complete overview of Varian's extensive also important forces might be generated and ap- product lines, please refer to the Varian catalog. plied to the rotor. VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE...