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取扱説明書
4UHV 操作停止
HVチャンネルをオフにするには：
HV-x (3, 4, 5, 6) ボタンを押しながら HV ON/OFF (2) ボタンを押したままにし
ます。ここで、x はオン/オフを切り替えるチャンネルの番号です。
コントローラーの使用方法とディスプレイに表示される情報の説明については、
「Technical Information - 技術情報」のセクションを参照してください。
緊急停止
緊急時にユニットとすべての高電圧チャンネルをオフにするには、フロント
警告
パネルにある主電源スイッチ (1) をオフにします。
メインスイッチをオフにすると、HV ユニットがオフになります。
メンテナンス
4UHV オンボードはいかなるメンテナンスも必要としません。システムになされ
るいかなる作業も、認可された担当者により実行されなければなりません。
システムにいかなる操作を実行する前には、必ず電源を切断してください。もし
故障が発生した場合は、Agilentの修理サービスを利用することもできます。 交換
用コントローラーは、Agilentを通じてアドバンスエクスチェンジをもとに入手で
きます。
もしポンプを廃棄する場合には、特定の国の規定に基づき廃棄されなければなり
ません。
コントローラー上にいかなる作業を実行する前には、電源から接続を断っ
警告
てください。
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Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
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