Agilent SureScan G4900DA Guia Del Usuario página 90

Uniformidad 5% de CV global sin uniformidad, la media local sin uniformidad es generalmente un 1%
basándose en funciones de 100 um.
Tiempo de
Tabla 13 Tiempo de barrido en barridos de uno y dos pasos para la región de barrido HD
barrido
de Agilent de 61 x 21,6 mm
Resolución
Un solo paso de 2 micras
Un solo paso de 3 micras
Un solo paso de 5 micras
Un solo paso de 10 micras
Dos pasos de 2 micras
Dos pasos de 3 micras
Dos pasos de 5 micras
Alta sensibilidad de 2 micras
Alta sensibilidad de 3 micras
Alta sensibilidad de 5 micras
Alta sensibilidad de 10 micras
Intervalo Intervalo dinámico de 16 bits de un barrido >10
dinámico
Intervalo dinámico de 20 bits de un barrido >10
Intervalo dinámico ampliado (XDR) de dos barridos >10
Guía del usuario del Sistema SureScan
Tiempo de
barrido, min.
24
16
10
10
46
31
19
36
24
15
15
4
5
6
90