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Sistema de
Unidad de enfoque:
enfoque
Ajuste de precisión, recorrido por giro: 0,1 mm
Ajuste aproximado, recorrido por giro: 17,8 mm
Equipado con un mecanismo para ajustar la suavidad de la rueda y con un
mecanismo de tope superior
Accionamiento
MFD-2
de enfoque
motorizado
Platina del
Exploración
microscopio
130 x 85
OLYMPUS Cleanliness Inspector CIX100
Resolución
0,002 μm (valor típico),
en función de la reducción
del correspondiente accionamiento
de enfoque
Motor
Motor paso a paso de dos fases
Núm. máx. de
60 rpm
revoluciones
Material
Aluminio
Superficie
Capa de anodizado, lacado en
negro
Área de desplazamiento
Velocidad de desplaza-
miento
Precisión de repetición
Precisión
Resolución
Ortogonalidad
Tipo de motor
Interruptor de fin de
carrera
Material / Superficie
31
Instrucciones de montaje del sistema
13 Datos técnicos
Máx. 130 mm × 85 mm
Máx. 120 mm/s (con
2 mm de paso del husillo)
Máx. 240 mm/s (con 4
mm de paso del husillo)
< 1 μm (bidireccional)
±3 μm
0,01 μm (paso más
pequeño)
< 10"
Motor paso a paso de dos
fases
Barreras de luz ajustables
de forma continua
Aluminio / Capa de
anodizado, lacado en
negro
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