Inficon LDS3000 Traduccion Del Manual De Instrucciones Originale página 19

INFICON
4.2.2 Aparato completo (LDS3000 AQ)
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
En la ejecución de acumulación, el módulo del espectrómetro de masas se integra en
un procedimiento de medición particular a través del hardware y el software.
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Fig. 2: LDS3000 AQ (representación esquemática)
1 Sistema de ventiladores
2 Cámara de medición con presión atmosférica
3 Objeto de ensayo que se va a controlar
4 Conexión
5 Flujo de gas de medición (≈ 50 sccm)
6 LDS3000 AQ
7 Bomba previa
Para obtener detalles del procedimiento de medición consulte "Seleccionar los
componentes y establecer las conexiones [} 39]".
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