4 | Descripción
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Fig. 3: Módulo del espectrómetro de masas (ejecución de acumulación)
1 Sensor de presión PSG500 para la medición de la presión de entrada
2 Brida de regulación GROSS con manguera de conexión a la bomba de vacío
previo
3 Tubo flexible a la cámara de medición
4 Módulo de entrada
5 Conexiones ULTRA brida ciega
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON
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