6 | Montaje LDS3000 AQ (acumulación)
6.3.2 Variante 2
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Brida ciega
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Sensor de presión PSG500 para la medición de la presión de entrada
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Anillo de centrado ISO-KF sin filtro
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Elemento regulador
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En la ilustración se muestra el diseño con cámara de medición individual. No se incluye en la entrega.
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Unidad de filtro 0,45 µm Pall
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Manguera de envío original (2 mm)
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Adaptador Festo
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Brida de regulación
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Brida de regulación GROSS
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Bomba de vacío previa seca con alimentación eléctrica separada. No se incluye en la entrega. La
"Bomba de membrana LDS AQ" se puede pedir a INFICON con el número de pedido 560-630 y el "DIN
Rail Power Supply 24 V, 10 A" con el número de pedido 560-324.
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Fuente de alimentación de 24 V. No se incluye en el volumen de suministro.
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Esta variante es adecuada para aplicaciones en las que la extracción de pruebas de
la cámara se debe realizar en un lugar definido, por ejemplo, especialmente cerca del
objeto de ensayo.
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1
2
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ü Dispone de un módulo del espectrómetro de masas (acumulación) de INFICON.
ü Dispone de una bomba de vacío previo seca con su propia alimentación eléctrica.
Puede utilizar todas las bombas de vacío secas con un caudal de gas de más de
60 sccm con una presión base de menos de 5 mbar. En estas instrucciones se
describe cómo utilizar la bomba de vacío previa seca de INFICON (número de
catálogo 560-630).
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LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON
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