7 | Funcionamiento LDS3000
7.8.8 Ajustar el factor máquina y de muestreo
7.8.8.1 Ajuste manualmente el factor máquina y de muestreo
Ajustar el factor
máquina
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Protocolo LD
Comando 520
Protocolo ASCII
Comando *FACtor:CALVac
La calibración interna calibra únicamente el sistema de medición del módulo de
espectrómetro de masas que se encuentra desacoplado de la instalación de
comprobación. En cambio, si, después de una calibración interna, el sistema de
medición se utiliza paralelamente a un sistema de bomba adicional (según el principio
de flujo parcial), el sistema de medición indica una tasa de fuga demasiado pequeña,
conforme a la proporción de flujo parcial. Con la ayuda de un factor máquina corrector
para el modo de vacío y un factor de muestreo para el modo de muestreo, el sistema
de medición indica la tasa de fuga efectiva. Con los factores se considera, por lo
tanto, la relación de la capacidad de aspiración efectiva del sistema de medición en
comparación en la capacidad de aspiración del sistema de medición en la instalación
de comprobación.
ü Módulo de espectrómetro de masas calibrado internamente.
1
Mida la fuga calibrada externa con la instalación de comprobación.
ð El aparato indica una tasa de fuga demasiado pequeña, conforme a la
proporción de flujo parcial.
2
Ajustar el factor máquina o de muestreo, ver abajo.
ð El aparato indica la tasa de fuga efectiva.
Aparatos en el modo AQ:
El factor máquina "1" viene por defecto. Este ajusta no se puede modificar.
Corrige una posible desviación entre el calibrado interno y externo en el modo de
vacío.
Sin la opción de fuga calibrada interna debería ajustarse al valor 1,00. Al cambiar el
valor se indica la tasa de fuga resultante del cambio. De este modo se facilita el
ajuste.
Rango de valores 1E-4...1E+5
Unidad de manejo Ajustes > Configurar > Modos de servicio > Vacío > Factor
máquina > Masa 2 (3, 4) > Factor máquina VAC H2 (M3, He)
Protocolo LD
Comando 522
Protocolo ASCII
Comando *FACtor:FACMachine
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es1-13-(2211)
INFICON