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NEIN!
! ! ! !
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird
empfohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzube-
hˆr). Bei Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder
eines flexiblen Metallbalges auf der Einlaflˆffnung mufl die
Turbopumpe immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 250SF d¸r-
fen ausschliefllich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen
betrieben werden (Baureihen 969-9423, 969-9504, 969-9523,
969-9425 oder 969-9866) und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe
angeschlossen werden (siehe Schema ìTechnical Informati-
onî).
Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, in-
dem Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Ge-
genflansch anschlieflen, der um die eigene Achse einem
Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse aush‰lt,
oder den als Option erh‰ltlichen Bausatz f¸r die Befestigung
am Sockelteil benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels doppel-
ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer an-
geschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die
Anzahl der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jewei-
lige Anzugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 100
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang
ìTechnical Informationî.
Wenn die Pumpen ¸ber ihr Unterteil installiert werden sollen,
m¸ssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben ein-
gesetzt werden. Die Schrauben m¸ssen eine Dehngrenze von
2
500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm an-
gezogen werden.
Installation Sonderzubehˆr: siehe Anhang ìTechnical Informa-
tionî.
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
geh‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den.
ANZAHL ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
8
11 Nm
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120[C
nicht ¸berschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsys-
temen die TP mit Wasserk¸hlung arbeiten.
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W‰hrend des Ausheizens d¸rfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
! ! ! !
F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar sein.
! ! ! !
W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager besch‰digt werden kˆnnten.
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Zum Pumpen von aggressiven Gasen d¸rfen nur Sonderaus-
f¸hrungen der Pumpe Turbo-V 250SF benutzt werden. Diese
Pumpen haben einen Anschlufl, durch die ein Edelgasstrom
von 0,4 bis 1 mbar ltr/sec flieflen mufl.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 250SF sind wartungsfrei.
Eventuelle Eingriffe d¸rfen nur von autorisierten Fachkr‰ften
vorgenommen werden.
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Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
87-900-881-01(B)
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