ISTRUZIONI PER L’USO ....................GEBRAUCHSANLEITUNG ................... MODE D’EMPLOI......................ISTRUCCIONES DE USO .................... ISTRUÇÕES PARA O USO ..................GEBRUIKSAANWIJZINGEN..................BRUGSANVISNING...................... BRUKSANVISNING ...................... BRUKERVEILEDNING....................KÄYTTÖOHJEET......................ODHGIES CRHSEWS...................... INSTRUCTIONS FOR USE ..................TECHNICAL INFORMATION..................TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION ................CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... Line Voltage Change Over ....................
Página 4
USE ..............................General..........................Startup........................... FRONT / REMOTE / 232 Selection..................Monitor Relay Programming....................Reset Command ........................Starting the Pump........................Operating the Pump ......................Low Speed Operation......................Pump Shutdown ........................Power Failure ........................Remote Control Mode Operation ..................RS 232 Control Mode Operation ................... ERROR MESSAGES........................
Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice "Technical Information". Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: Imballo dei controller 969-9405 e 969-9505 Ogni controller giunge dalla Varian predisposto per una PERICOLO! certa tensione di alimentazione: messaggi pericolo attirano...
ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE PERICOLO! Per evitare danni alle persone ed all'apparato, nel caso in cui la PERICOLO! pompa sia appoggiata su di un tavolo assicurarsi che sia stabile. Non far funzionare mai la pompa se la flangia di Il controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre fili ingresso non è...
ISTRUZIONI PER L’USO 1. Connettore di ingresso dei segnali logici (il connettore di accoppiamento viene fornito con l’apposito ponticello di richiusura). 2. Connettore di uscita dei segnali logici e di verifica della corrente della pompa. 3. Connettore di uscita di potenza (24 Vcc per il ventilatore di raffreddamento pompa).
ISTRUZIONI PER L’USO In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di Qualora un controller dovesse essere rottamato, riparazione Varian o del "Varian advance exchange procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle service", che permette di ottenere un controller normative nazionali specifiche.
Mißachtung Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Controller Serie Turbo-V sind EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.
Página 10
GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION GEFAHR! Steht die Pumpe auf einem Tisch, muß auf den stabilen Stand GEFAHR! geachtet werden, da sonst die Gefahr von Personen- und Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 Geräteschäden besteht. Die Pumpe nie einschalten, wenn der Drähte enthält und mit einem den internationalen Eingangsflansch nicht am System angeschlossen bzw.
GEBRAUCHSANLEITUNG 1. Eingangsverbinder logischen Signale (der Kupplungsverbinder wird mit einer Wiederverschließbrücke geliefert). 2. Ausgangsverbinder logischen Pumpenstromkontrollsignale. 3. Leistungsausgangsverbinder (24 VGs für den Pumpen- kühlventilator). 4. Pumpenkabel. 5. Versorgungseingangsmodul für den Controller. Umfaßt die Schutzsicherung, Spannungswandler, Leistungsanschlußbuchse und den EMC-Filter. 6. Leistungsausgangsbuchse (120 VWs) für die Versorgung des Zubehörs (vent device, Einschaltrelais für die Primärpumpe, etc.).
GEBRAUCHSANLEITUNG Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung bzw. der "Varian advanced exchange service" in der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter Controller sorgt. FEHLERMELDUNGEN einigen Störungsfällen zeigt GEFAHR!
Varian, avant transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. l'utilisation de l'appareil. Varian décline par conséquent Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou tout particulièrement à...
Página 14
MODE D'EMPLOI INSTALLATION DANGER! Pour éviter tous dommages aux personnes et à l'appareil, si la DANGER! pompe est placée sur un plateau d'appui s'assurer que ce Le contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois dernier est stable. Ne jamais faire fonctionner la pompe si la fils avec une fiche du type approuvé...
MODE D'EMPLOI 1. Connecteur d'entrée des signaux logiques (le connecteur d'enclenchement doté barrette réenclenchement spéciale). 2. Connecteur de sortie des signaux logiques et de vérification du courant de la pompe. 3. Connecteur de sortie de puissance (24 Vcc pour le ventilateur de refroidissement de la pompe).
MODE D'EMPLOI En cas de panne, il est possible de s'adresser au En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son Service de réparation Varian ou bien au "Varian élimination conformément réglementations advance exchange service" qui permet d'obtenir un nationales en la matière.
Varian antes de utilizar el equipo. Varian se ponerse en contacto con la oficina de venta más considera libre de cualquier responsabilidad debida al cercana.
INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN ¡PELIGRO! ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a las personas y al aparato, si la bomba está apoyada sobre una mesa cerciorarse que El controler va dotado de un cable de alimentación de es estable. No poner en marcha nunca la bomba si la tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel brida de entrada no está...
INSTRUCCIONES DE USO 1. Conector de entrada de las señales lógicas (el conector de acoplamiento se suministra con el conector puente específico de cierre). 2. Conector de salida de las señales lógicas y de comprobación de la corriente de la bomba. 3.
INSTRUCCIONES DE USO En caso de avería es posible utilizar el servicio de En caso de que un controler se tenga que desguazar, reparación Varian o del “Varian advance exchange efectuar eliminación respetando normas service”, que permite obtener un controler regenerado nacionales específicas.
Varian antes de utilizar a aparelhagem. contacto com o escritório de vendas local. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte...
INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO PERIGO! Para evitar danos às pessoas e à aparelhagem, caso a PERIGO! bomba esteja apoiada numa mesa, certificar-se que esteja estável. Nunca activar a bomba se o flange de O controller é fornecido com um cabo de alimentação entrada não está...
INSTRUÇÕES PARA O USO 1. Conector de entrada dos sinais lógicos (o conector de acoplamento é fornecido com ponte específica fecho). 2. Conector de saída dos sinais lógicos e de verificao da corrente da bomba. 3. Conector de saída de potência (24 Vcc para o ventilador de refrigeração da bomba).
INSTRUÇÕES PARA O USO Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de Caso um controller deva ser destruído, proceder à sua reparação Varian ou o "Varian advanced exchange eliminação respeitando normas nacionais service", que permite obter um controller regenerado específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE GEVAAR! GEVAAR! Indien de pomp op een tafel is geplaatst, controleren of deze stabiel staat om letsel aan personen en schade De controller is voorzien van een voedingskabel met aan het apparaat te voorkomen. Laat de pomp nooit drie draden en een stekker van het internationaal werken zonder dat de ingangsflens aan het systeem is goedgekeurde type.
Página 27
GEBRUIKSAANWIJZINGEN 1. Connector voor ingang logische signalen (de te koppelen connector wordt met de speciale sluitklem geleverd). 2. Connector voor uitgang logische signalen en controle pompstroom. 3. Connector voor stroomuitgang voor koelventilator van de pomp). 4. Pompkabel. 5. Ingangsmodule van de voeding voor de controller. Omvat zekering, spanningswisseling, krachtcontact-stop en EMC filter.
Página 28
Mocht controller gesloopt worden, reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een werk. ruilcontroller ter vervanging van de defecte controller. FOUTMELDINGEN In geval van storingen wekt het zelfdiagnose-circuit van...
Varian, før udstyret anvendes. emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som under transporten. Sørg for at styreenheden ikke tabes følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig eller udsættes for stød ved udpakningen.
Página 30
BRUGSANVISNING INSTALLATION ADVARSEL ! Sørg for, at pumpen står fast, hvis den er installeret på ADVARSEL ! et bord. Dette er for at forebygge skader på apparatet Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere og personer. Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet og godkendt stik efter internationale standarder.
Página 31
BRUGSANVISNING 1. Indgangskontakt til logiske signaler (tilslutningskontakten leveres med specielt forbindelsesbro). 2. Udgangskontakten til logiske signaler og kontrol af ø pumpens str 3. Udgangskontakt til effekt (24 V jævnstr ø m til pumpens ø leventilator). 4. Kabel til tilslutning af pumpen. 5.
Página 32
Tryk to gange på START-knappen for at starte OVERVOLTAGE fødespænding eller styreenheden har fået et pumpen igen. falsk signal. Hvis meddelelsen kommer igen tag kontakt med Varian for nødvendig vedligeholdelse. CONTROLLER FAILURE Afbrydelse sikring sekundært Ret henvendelse til Varian vedrørende effektkredsløb.
Varian före användning emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt under transporten. eller delvis orsakats av åsidosättande av instruktionerna, Se till att styrenheten inte tappas eller utsätts för stötar olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap,...
Página 34
BRUKSANVISNING INSTALLATION VARNING! VARNING! Försäkra dig att pumpen står stadigt, om den är installerad på ett bord, detta för att förebygga skador på Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare apparaten och personer. Sätt aldrig igång pumpen, om godkänd stickpropp enligt internationella intagsflänsen varken är kopplad till systemet eller är...
BRUKSANVISNING 1. Ingångskontakt för logiska signaler (anslutningskontakten levereras med speciell stängningsbrygga). 2. Utgångskontakt för logiska signaler och kontroll av pumpens ström. 3. Utgångskontakt för effekt (24 V likström för pumpens kylfläkt). 4. Kabel för anslutning av pumpen. 5. Spänningsingångsmodul för styrenheten.
Página 36
BRUKSANVISNING styrenheten havererar, kontakta Varian Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som lagstiftning. kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. FELMEDDELANDEN När vissa uppstår visar styrenhetens VARNING! självdiagnoskrets aktuellt felmeddelande på displayen. De möjliga meddelandena listas i följande tabell.
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Styreenheten leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan transporten, må kontakt lokale ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
Página 38
BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON ADVARSEL! Dersom pumpen er installert på et bord må du ADVARSEL! kontroller at pumpen står støtt. Dette er viktig for å Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere forhindre skader på apparatet og på personer. Dersom og godkjent støpsel i henhold til internasjonale inngangsflensen hverken er tilkoplet systemet eller standarder.
BRUKERVEILEDNING 1. Inngangskontakt for logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres med spesiell lukkebrygge). 2. Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm. 3. Utgangskontakt for effekt (24 V likestrøm til pumpens kjølevifte). 4. Kabel for tilkopling av pumpen. 5. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter.
Página 40
Det har oppstått en feil i styreenhetens OVERVOLTAGE starte pumpen igjen. Vises feilmeldingen matedel, eller så har styreenheten fått et om igjen, må du ta kontakt med Varian for falskt signal. nødvendig vedlikehold. Avbrudd i sikringen til det sekundæra Kontakt Varian for vedlikehold.
Mikäli havaitsette mahdollisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muut Varianin kuljetuksen aikana sattuneita vaurioita, ottakaa yhteys toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa seurauksista, jotka paikalliseen myyntitoimistoon. johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta Pakkauksen purkamisen yhteydessä huolehtikaa, että laiminlyömisestä, ammattitaidottomien henkilöiden valvoja eipääse putoamaan ja välttäkää...
Página 42
KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! VAARA! Mikäli pumppu on asetettu pöydälle, varmistakaa että se on vakaa. Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä itse koneelle. Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Älkää myöskään käyttäkö pumppua, mikäli sisääntulon jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää laippaa ei ole kytketty järjestelmään tai mikäli sitä ei ole suljettu aina tätä...
KÄYTTÖOHJEET Toimintahäiriön sattuessa on mahdollista käyttää Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa Varianin korjauspalvelua tai "Varian advance exchange hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien service" -palvelua, jolloin on mahdollista vaihtaa määräävällä tavalla. rikkoontunut valvoja ladattuun valvojaan. VIANETSINTÄ Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan VAARA! itsemäärittelypiiri...
Varian, prin apov th pwlhv s ewn. crhsimopoiv h sh thÇ suskeuhv Ç . H Varian den fev r ei kamiv a Katav th diav r keia tou anoiv g matoÇ thÇ suskeuasiv a Ç, dwv s te...
Página 46
ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH KINDUNOS KINDUNOS Gia na apofuv g ete blav b eÇ se av t oma hv sth suskeuhv , se periv p twsh pou h antliv a eiv n ai topoqethmev n h se ev n a trapev z i O ruqmisthv Ç...
Página 47
ODHGIES CRHSEWS 1. Buv s ma eisov d ou twv n logikwv n shmav t wn (to buv s ma zeugarwv m atoÇ promhqeuv e tai me to eidikov gefurav k i kleisiv m atoÇ). 2. Buv s ma exov d ou twn logikwv n shmav t wn kai epalhv q eushÇ tou reuv m atoÇ...
Página 48
Se periv p twsh blav b hÇ mporeiv t e na crhsimopoihv s ete thn Gia th diav l ush tou ruqmisthv thrhv s te tiÇ iscuv o useÇ uphresiv a episkeuwv n thÇ Varian hv to "Varian advance eqnikev Ç diatav x eiÇ.
If this shows signs of damage which may have other additional information supplied by Varian before occurred during transport, contact your local sales operating the equipment. Varian will not be held office. When unpacking the controller, ensure that it is responsible for any events occurring due to non- not dropped or subjected to any form of impact.
INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! WARNING! To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is laying on a table make sure it The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power is steady. Never operate the Turbo-V pump if the pump cord and plug (internationally approved) for user's inlet is not connected to the system or blanked off.
INSTRUCTIONS FOR USE 1. Logic input signals connectors (mating connector supplied with link). 2. Logic output signals connector and pump current monitor. 3. Power output connector (24 Vdc for pump cooling fan). 4. Pump cord. 5. Controller power entry module consisting of mains fuses, voltage change over, mains socket and EMC filter.
When a fault has occurred it is possible to use the If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in Varian repair service. Replacement controllers are accordance with the specific national standards. available on an advance exchange basis through Varian.
TECHNICAL INFORMATION power supply converts single phase TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low The controller is available in two versions which differ voltage, medium frequency output which is required to only in the factory-set input voltage: power the Turbo-V pump.
TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Radio interference EN 55011 class A group 1 suppression EN 61010-1 Input: IEC1000-4-2, Voltage 100, 120, 220, 240 Vac 1000-4-3, 1000 4-4 ±10%, P6 output fan 100 mA (24 Vdc) 1-phase Frequency J7 output 120 Vac, 1 A 47 to 63 Hz Power (forepump coil, etc.)
TECHNICAL INFORMATION Inspect the controller for any shipping damage. POWER INTERCONNECTIONS The Turbo-V 70 controller model 969-9405 is factory- Connection J7 - 120 Vac Connector operation model The 120 Vac, 1A maximum (independent of line 969-9505 is factory-set for 120 Vac operation. voltage) output voltage is present after START pushbutton is pressed and will remain present until a fault condition is displayed on the front panel display or...
TECHNICAL INFORMATION Connection P6 - 24 Vdc Connector DESCRIPTION The 24 Vdc, 100 mA maximum output voltage is present after START pushbutton is pressed and will Remote START/STOP optically isolated from remain present until a fault condition is displayed on the internal circuit, requires a permanently front panel display or the turbopump is stopped.
TECHNICAL INFORMATION Connection J2 - Logic Output Interconnections DESCRIPTION 7-14 R2 signal 24 V, 60 mA, optically isolated output (pin 14 positive, pin 7 negative). The output Voltage will be present upon the programmed condition delay YES or delay NO (see the cycle diagram in the following pages).
Install and tighten the connector screws. connections. • Replace the cover. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the 0-subconnector. The cable should be secured to the connector with screws.
TECHNICAL INFORMATION RS 232 Communication Descriptions CHARACTER ASCII CONVERTED ASCII Communication format: FOR CRC CALCULATION • 8 data bit • no parity "A" • 1 stop bit • The baud rate is programmable via front panel from "B" 600 to 9600 baud. The controller is factory-set for 9600 baud operation.
Página 60
Request string a string with 9 characters of the following type: Cycle time Pump life "H" + ..data ..+ CRC 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Varian. 87-900-868-01 (C)
TECHNICAL INFORMATION Startup • Plug the controller power cable into a suitable General power source. • Make all vacuum manifold and electrical connections and The display lights, and shows: refer to Turbo-V pump instruction manual before to operating the Turbo-V controller. R E A D Y F O R L O C A L...
TECHNICAL INFORMATION • • Press the CURRENT push-button and the display Press the CYCLE NUMBER twice and the display shows: shows: 0 0 A X X X X C Y C L E X X X X X m K R P M X X °...
Página 63
TECHNICAL INFORMATION The display shows: NOTE R S 2 3 2 The Soft Start mode may be deselected/selected only when the pump is stopped. B A U D R A T E X X X X If necessary press CYCLE NUMBER to select YES or NO, then enter the selection by pressing the PUMP CURRENT pushbutton.
TECHNICAL INFORMATION With connected, bidirectional Monitor Relay Programming communication is established by selecting HOST. Data • The display shows: are sent to an external computer every time the external computer asks for the values. S P E E D T H R E S H O L D The data available are: S E L E C T I O N : X X K R P M...
Página 65
TECHNICAL INFORMATION Cycle diagram where: D E L A Y E V E N A F T E R XXX = YES or NO. T H R E S H O L D : Y E S By pressing the CYCLE NUMBER push-button, select YES if relay R2 must operate only after the run-up time or select NO when the R2 operation is needed right from start of the turbopump and after...
TECHNICAL INFORMATION • Reset Command Press the START push-button (or use the remote or RS 232 start signal), and the display shows: • The display shows: S O F T S T A R T P U M P X X X X X h R E S E T ? X X X where:...
TECHNICAL INFORMATION • Operating the Pump If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: After the starting period, if the system has a vacuum leak or the pressure in the pump/chamber is high (from P U M P S T A R T 1 mbar to atmosphere), the pump continues to operate...
TECHNICAL INFORMATION Or twice if the display shows other parameters, either If the LOW SPEED mode is selected after normal before starting the pump or after it is operating. operating condition is reached, the display shows: If LOW SPEED is selected before starting the pump, the display shows: A P P R O A C H K R P M...
TECHNICAL INFORMATION Remote Control Mode Operation RS 232 Control Mode Operation If remote signals are used to operate the controller, it If the RS 232 option is installed and the controller has must be programmed for remote operation (see been programmed for RS 232 operation, the controller paragraph "FRONT/REMOTE/232 Selection")
TECHNICAL INFORMATION ERROR MESSAGES NOTE For a certain type of failure, the controller will self- diagnose the error and the following messages will be If the upper bearing/pump temperature exceeds displayed. 60 °C, the pump is shut off, and the display will be as shown in the following figure.
− 54 Vdc ±10% between TP4(-) and TP6(+) − 24 Vdc ±15% on the fan connector. Since no operation can be carried out, contact VARIAN. b) AC three-phase output voltage test On the pump connector connect the DVM in turn between: pins B and C, B and D, C and D.
TECHNICAL INFORMATION Test with Dummy Load Pump over-Temperature Test − Connect the 48Ω or the 78Ω dummy loads to the − Disconnect the potentiometer, set it to 5KΩ, and pump connector pins B, C, D, as shown in the then reconnect it. −...