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5. Ponga el sistema en Prueba (Test) y asegúrese de que la presión del puerto de
pruebas está ajustada entre 5E-1 Torr 1 Torr (750 mTorr preferido).
6. Realice una calibración interna.
7. Realice una calibración externa utilizando la sonda de aspirado (Figura 5-18) al:
a. Seleccionar Calibration > Calibrate With > External Leak.
b. Introducir el valor de la fuga calibrada externa. Mantenga la sonda en la entrada
de la fuga estándar.
c. Presionar Calibrate. El sistema realiza una calibración instantánea en 2
segundos.
8. Seleccione Test Configurations > Applications Setup.
9. Seleccione PPM Sniff Method > Application Setup.
10. Seleccione la opción MFM.
11. Seleccione Serial Port - Esto establece la comunicación RS232 entre el MFM y el
detector de fugas.
El detectar de fugas ahora está listo para medir la concentración de Helio en PPM.
5.1.3.10.5 Configuración de Ajustes del Medidor de Flujo de Masa
La Figura 5-19 muestra la conexión necesaria para utilizar el medidor de flujo de masa
de Alicat en una condición de prueba. Este ajuste conecta desde el puerto de pruebas
del detector de fugas al conjunto de válvula de medición fina, al medidor de flujo de
masa (ajustada en ambos extremos con acoplador 1/4" NPT NW25 - número de parte
de Agilent KAMP250250S), a la manguera. Es importante que se fije esta serie para
asegurar un tiempo de respuesta de helio óptimo. En vez de utilizar la válvula de
medición adquirida, en este ajuste el operario podría escoger utilizar el ajuste mostrado
en la Figura 5-20, aunque esa configuración puede resultar incómoda de sujetar como
sonda. El medidor de flujo de masa debe mantenerse por encima de la válvula de
medición, ya sea la sonda de aspirado o la válvula de medición precisa descrita. Esto
mantiene el medidor de flujo cerca de la presión atmosférica, asegurando máxima
exactitud.
Detector de fugas de helio de Agilent
Technologies
Figura 5-18 Ajuste de Calibración Aspirado Externa
El botón Calibration en la aplicación de Aspirado PPM es solo
NOTA
para calibración usando una mezcla PPM conocida.
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