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Alternativamente, si se usa un medidor de flujo de masa que no está aceptado por el
software del detector de fugas (cualquier otro que no sea el medidor de flujo de masa de
la marca Alicat Scientific):
1. Conecte el medidor de flujo de masa en serie por encima de la pistola de aspirado de
la sonda eléctrica de Agilent (número de parte Agilent K9565306).
2. Conecte el medidor de flujo de masa a la pistola de aspirado utilizando un adaptador
de KF a puerto de compresión, 1/8" a NW25 (número de parte de Agilent
KCP250125), si se utiliza la sonda eléctrica como válvula de medición (Figura 5-22).
3. Realice una calibración interna.
4. Realice una calibración externa utilizando la sonda de aspirado al:
a. Seleccionar Calibration > Calibrate With > External Leak.
b. Introducir el valor de la fuga calibrada externa. Mantenga la sonda en la entrada
c. Presionar Calibrate.
5. Seleccione Test Configurations > Applications Setup.
6. Seleccione PPM Sniff Method > Application Setup.
7. Asegúrese de que el sistema está en Test y que la presión del puerto de pruebas
está ajustada entre 5E-1 Torr 1 Torr.
8. Seleccione la opción MFM.
9. Introduzca la tasa de flujo - SCCM mostrado del controlador MFM/MFC.
El detectar de fugas ahora está listo para medir la concentración de Helio en PPM.
Para realizar la conexión entre la pistola de aspirado de la sonda eléctrica y el medidor de
flujo de masa:
1. Ajuste el medidor de flujo de masa en el extremo de presión baja con un acoplador de
vacío NW25. (Figura 5-23).
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Detector de fugas de helio de Agilent
Technologies
El medidor de flujo de masa más pequeño que se puede
NOTA
utilizar, aunque funciona. Puede ser tan pequeño como 300
SCCM, aunque esta tasa de flujo no pueda ser capaz de leer
el flujo de masa cuando mida flujos de detectores de fugas
de unidades móviles (unidades con bombas de vacío más
grandes).
de la fuga estándar.
Figura 5-22 Ajuste de Calibración Aspirado Externa
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